碳化硅襯底材料是新的一代半導體材料,其應用領域具有較強的戰(zhàn)略意義。中國正逐步成長為全球?qū)捊麕О雽w材料生產(chǎn)的主要競爭市場之一。碳化硅襯底短期內(nèi)依然會面臨制備難度大、成本高昂的挑戰(zhàn),目前碳化硅功率器件的價格仍數(shù)倍于硅基器件,下游應用領域仍需平衡碳化硅器件的高價格與因碳化硅器件的優(yōu)越性能帶來的綜合成本下降之間的關系。碳化硅半導體主要應用于以5G通信、**、航空航天為的射頻領域和以新能源汽車、“新基建”為的電力電子領域,在民用、領域均具有明確且可觀的市場前景作者:見微數(shù)據(jù)鏈接:源:雪球著作權歸作者所有。商業(yè)轉(zhuǎn)載請聯(lián)系作者獲得授權,非商業(yè)轉(zhuǎn)載請注明出處。風險提示:本文所提到的觀點只個人的意見,所涉及標的不作推薦,據(jù)此買賣,風險自負。 口碑好的碳化硅襯底的公司聯(lián)系方式。杭州6寸碳化硅襯底
那氮化鎵外延層為啥也要在碳化硅單晶襯底上長呢?理論上講,氮化鎵外延層比較好當然用本身氮化鎵的單晶襯底,不過在之前的文章中也有提到,氮化鎵的單晶實在是太難做了點,不僅反應過程難以控制、長得特別慢,而且面積較小、價格昂貴,商業(yè)化很是困難,而碳化硅和氮化鎵有著超過95%的晶格適配度,性能指標遠超其他襯底材料(如藍寶石、硅、砷化鎵等),因此碳化硅基氮化鎵外延片成為比較好選擇。綜上所述,很容易理解為何碳化硅在業(yè)內(nèi)會有“黃金賽道”這樣的美稱。對于碳化硅器件而言,其價值鏈可分為襯底—外延—晶圓—器件,其中襯底所占的成本比較高為50%——主要原因單晶生長緩慢且品質(zhì)不夠穩(wěn)定,這也是早年時SiC沒能得到的推廣的主要原因。不過如今隨著技術缺陷不斷得到補足,碳化硅單晶襯底的成本正不斷下降,可預期未來會是“錢”景無限。以下是國內(nèi)部分碳化硅襯底供應商名單。 青島碳化硅襯底進口4寸sic蘇州質(zhì)量好的碳化硅襯底的公司。
降低碳化硅襯底的成本的三個方法:1)做大尺寸:襯底的尺寸越大,邊緣的浪費就越小,有利于進一步降低芯片的成本。6英寸襯底面積為4英寸襯底的,相同的晶體制備時間內(nèi)襯底面積的倍數(shù)提升帶來襯底成本的大幅降低,與此同時,單片襯底上制備的芯片數(shù)量隨著襯底尺寸增大而增多,單位芯片的成本也即隨之降低。2)提高材料使用效率:由于技術限制,長晶時間很難縮短,而單位時間內(nèi)長晶越厚成本越低,因此可以設法增加晶錠厚度;另一方面,目前的切割工藝很容易造成浪費,可以通過激光切割或其他技術手段減少切割損耗。3)提高良率:以山東天岳為例,碳化硅襯底產(chǎn)品良率逐年提升,綜合良率由30%提升至38%,國內(nèi)廠商良率情況普遍在40%左右,若能提升至60%-70%,碳化硅襯底生產(chǎn)成本將得到進一步下降。
SiC電子器件是微電子器件領域的研究熱點之一。SiC材料的擊穿電場有4MV/cm,很適合于制造高壓功率器件的有源層。而由于SiC襯底存在缺點等原因,將它直接用于器件制造時,性能不好。SiC襯底經(jīng)過外延之后,其表面缺點減少,晶格排列整齊,表面形貌良好,比襯底大為改觀,此時將其用于制造器件可以提高器件的性能。為了提高擊穿電壓,厚的外延層、好的表面形貌和較低的摻雜濃度是必需的。一些高壓雙極性器件,需外延膜的厚度超過50μm,摻雜濃度小于2×1015cm-3,載流子壽命大過1us。對于高反壓大功率器件,需要要在4H-SiC襯底上外延一層很厚的、低摻雜濃度的外延層。為了制作10KW的大功率器件,外延層厚度要達到100μm以上。高壓、大電流、高可靠性SiC電子器件的不斷發(fā)展對SiC外延薄膜提出了更多苛刻的要求,需要通過進一步深入的研究提高厚外延生長技術。碳化硅襯底的的性價比、質(zhì)量哪家比較好?
因此,對于牽引逆變器,從IGBT轉(zhuǎn)移到SiCMOSFET是有意義的。但這并不是那么簡單,因為成本在等式中起著重要作用。然而,特斯拉已經(jīng)采取了冒險行動。該公司在其型號3中使用了意法半導體公司的SiCMOSFET,并補充說特斯拉也在使用其他供應商。其他汽車制造商也在探索這項技術,盡管出于成本考慮,大多數(shù)原始設備制造商并未加入這一行列。不過,有幾種方法可以實現(xiàn)從IGBT到SiCMOSFET的切換。根據(jù)Rohm的說法,有兩種選擇:?將IGBT保留在系統(tǒng)中,但將硅二極管更換為SiC二極管。?用SiC基MOSFET和二極管替換硅基IGBT和二極管。碳化硅襯底的的參考價格大概是多少?浙江碳化硅襯底進口6寸sic
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SiC晶體的獲得早是用AchesonZ工藝將石英砂與C混合放入管式爐中2600℃反應生成,這種方法只能得到尺寸很小的多晶SiC。至1955年,Lely用無籽晶升華法生長出了針狀3C-SiC孿晶,由此奠定了SiC的發(fā)展基礎。20世紀80年代初Tairov等采用改進的升華工藝生長出SiC晶體,SiC作為一種實用半導體開始引起人們的研究興趣,國際上一些先進國家和研究機構都投入巨資進行SiC研究。20世紀90年代初,Cree Research Inc用改進的Lely法生長6H-SiC晶片并實現(xiàn)商品化,并于1994年制備出4H-SiC晶片。這一突破性進展立即掀起了SiC晶體及相關技術研究的熱潮。目前實現(xiàn)商業(yè)化的SiC晶片只有4H-和6H-型,且均采用PVD技術,以美國CreeResearch Inc為**。采用此法已逐步提高SiC晶體的質(zhì)量和直徑達7.5cm,目前晶圓直徑已超過10cm,比較大有用面積達到40mm2,微導管密度已下降到小于0.1/cm2。杭州6寸碳化硅襯底
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