隨著電力電子變換系統(tǒng)對于效率和體積提出更高的要求,SiC(碳化硅)將會是越來越合適的半導體器件。尤其針對光伏逆變器和UPS應用,SiC器件是實現其高功率密度的一種非常有效的手段。由于SiC相對于Si的一些獨特性,對于SiC技術的研究,可以追溯到上世界70年代。簡單來說,SiC主要在以下3個方面具有明顯的優(yōu)勢:擊穿電壓強度高(10倍于Si)更寬的能帶隙(3倍于Si)熱導率高(3倍于Si)這些特性使得SiC器件更適合應用在高功率密度、高開關頻率的場合。當然,這些特性也使得大規(guī)模生產面臨一些障礙,直到2000年初單晶SiC晶片出現才開始逐步量產。目前標準的是4英寸晶片,但是接下來6英寸晶片也要誕生,這會導致成本有顯著的下降。而相比之下,當今12英寸的Si晶片已經很普遍,如果預測沒有問題的話,接下來4到5年的時間18英寸的Si晶片也會出現。 碳化硅襯底的的整體大概費用是多少?鄭州碳化硅襯底外延加工
從襯底的下游晶圓與器件來看,大量生產廠家仍然位于日本、歐洲與美國;但國內生產廠家在襯底領域已經擁有了一定的市場份額。根據Yole數據,在2020年半絕緣型碳化硅襯底市場中,貳陸公司(II-IV)、科銳公司(Cree)以及天岳先進依次占據甲的位置,市場份額分別為35%、33%和30%,市場高度集中。從資金來看,國內第三代半導體投資力度高企,力爭追趕國際廠商。根據CASA披露的數據顯示,2018年至今,國內廠商始終加強布局第三代半導體產業(yè),2020年共有24筆投資擴產項目,增產投資金額超過694億元,其中碳化硅領域共17筆、投資550億元。廣州進口6寸n型碳化硅襯底使用 碳化硅襯底的需要什么條件。
碳化硅之所以引人注目,是因為它是一種寬帶隙技術。與傳統(tǒng)的硅基器件相比,SiC的擊穿場強是硅基器件的10倍,導熱系數是硅基器件的3倍,非常適合于高壓應用,如電源、太陽能逆變器、火車和風力渦輪機。在另一個應用中,碳化硅用于制造LED。比較大的增長機會是汽車,尤其是電動汽車?;赟iC的功率半導體用于電動汽車的車載充電裝置,而該技術正在該系統(tǒng)的關鍵部件牽引逆變器中取得進展。牽引逆變器向電機提供牽引力以推進車輛。對于這種應用,特斯拉正在一些車型中使用碳化硅動力裝置,而其他電動汽車制造商正在評估這項技術?!碑斎藗冇懻撎蓟韫β势骷r,汽車市場無疑是焦點?!柏S田(Toyota)和特斯拉(Tesla)等先驅者的SiC活動給市場帶來了很多興奮和噪音?!盨iCMOSFET在汽車市場上具有潛力。但也存在一些挑戰(zhàn),如成本、長期可靠性和模塊設計。
碳化硅(SiC)又叫金剛砂,密度是3.2g/cm3,天然碳化硅非常罕見,主要通過人工合成。按晶體結構的不同分類,碳化硅可分為兩大類:αSiC和βSiC。在熱力學方面,碳化硅硬度在20℃時高達莫氏9.2-9.3,是硬的物質之一,可以用于切割紅寶石;導熱率超過金屬銅,是Si的3倍、GaAs的8-10倍,且其熱穩(wěn)定性高,在常壓下不可能被熔化;在電化學方面,碳化硅具有寬禁帶、耐擊穿的特點,其禁帶寬度是Si的3倍,擊穿電場為Si的10倍;且其耐腐蝕性極強,在常溫下可以免疫目前已知的所有腐蝕劑。什么地方需要使用 碳化硅襯底。
碳化硅(SiC)由于其獨特的物理及電子特性,在一些應用上成為比較好的半導體材料:短波長光電元件,高溫,抗幅射以及高頻大功率元件,由于碳化硅的寬能級,以其制成的電子元件可在極高溫下工作,可以抵受的電壓或電場八倍于硅或砷化鎵,特別適用于制造高壓大功率元件如高壓二極體。碳化硅是熱的良導體,導熱特性優(yōu)于任何其他半導體材料。碳化硅優(yōu)良的特性使其在工業(yè)和上有很大的應用范圍。并且,為降低器件成本,下游產業(yè)對SiC單晶襯底提出了大尺寸的要求,目前國際市場上已有6英寸(150毫米)產品,預計市場份額將逐年增大。當前世界上研發(fā)碳化硅器件的主要有美國、德國、瑞士、日本等國家,但直到現在碳化硅的工業(yè)應用主要是作為磨料(金剛砂)使用。瑞士ABB曾經一度成功開發(fā)出碳化硅二極管,然而在2002年,由于工藝困難、前景不明,ABB終止了碳化硅項目,可見研發(fā)難度之大。半導體碳化硅襯底及芯片的重要戰(zhàn)略價值,使其始終穩(wěn)居美國商務部的禁運名單,這也導致我國很難從國外獲得相應產品。哪家的碳化硅襯底價格比較低?鄭州碳化硅襯底外延加工
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