碳化硅襯底主要有導(dǎo)電型及半絕緣型兩種。其中，在導(dǎo)電型碳化硅襯底上生長(zhǎng)碳化硅外延層制得碳化硅外延片，可進(jìn)一步制成碳化硅功率器件，應(yīng)用于新能源汽車(chē)、光伏發(fā)電、軌道交通、智能電網(wǎng)、航空航天等領(lǐng)域；在半絕緣型碳化硅襯底上生長(zhǎng)氮化鎵外延層可以制得碳化硅基氮化鎵外延片，可進(jìn)一步制成微波射頻器件，應(yīng)用于5G通訊、雷達(dá)等領(lǐng)域。中國(guó)碳化硅襯底領(lǐng)域的研究從20世紀(jì)90年代末開(kāi)始，在行業(yè)發(fā)展初期受到技術(shù)水平、設(shè)備規(guī)模產(chǎn)能的限制，未能進(jìn)入工業(yè)化生產(chǎn)。21世紀(jì)，中國(guó)企業(yè)歷經(jīng)20年的研發(fā)與摸索，已經(jīng)掌握了2-6英寸碳化硅襯底的生產(chǎn)加工技術(shù)。與傳統(tǒng)硅基功率電力電子器件相比，碳化硅基功率器件可以**降低能耗，節(jié)約電力。深圳碳化硅襯底進(jìn)口led

碳化硅襯底成本下降趨勢(shì)可期。在碳化硅器件成本結(jié)構(gòu)中，襯底成本約占50%。碳化硅襯底較低的供應(yīng)量和較高的價(jià)格一直是制約碳化硅基器件大規(guī)模應(yīng)用的主要因素之一，碳化硅襯底需要在2500度高溫設(shè)備下進(jìn)行生產(chǎn)，而硅晶只需1500度；碳化硅晶圓約需要7至10天，而硅晶棒只需要2天半；目前碳化硅晶圓主要是4英寸與6英寸，而用于功率器件的硅晶圓以8英寸為主，這意味著碳化硅單晶片所產(chǎn)芯片數(shù)量較少、碳化硅芯片制造成本較高,目前碳化硅功率器件的價(jià)格仍數(shù)倍于硅基器件，下游應(yīng)用領(lǐng)域仍需平衡碳化硅器件的高價(jià)格與碳化硅器件優(yōu)越性能帶來(lái)的綜合成本下降間的關(guān)系。進(jìn)口sic碳化硅襯底進(jìn)口6寸碳化硅作為新興的戰(zhàn)略先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)，它是發(fā)展第3代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料。

    碳化硅是由碳元素和硅元素組成的一種化合物半導(dǎo)體材料，它與氮化鎵（GaN）、氮化鋁（AlN）、氧化鎵（Ga2O3）等，因禁帶寬度大于，在國(guó)內(nèi)也稱(chēng)為第三代半導(dǎo)體材料。目前，以氮化鎵、碳化硅為的第三代半導(dǎo)體材料及相關(guān)器件芯片已成為全球高技術(shù)領(lǐng)域競(jìng)爭(zhēng)戰(zhàn)略制高爭(zhēng)奪點(diǎn)。而對(duì)于碳化硅和氮化鎵這兩種芯片，如果想很大程度利用其材料本身的特性，較為理想的方案便是在碳化硅單晶襯底上生長(zhǎng)外延層。在碳化硅上長(zhǎng)同質(zhì)外延很好理解，憑借著禁帶寬度大、擊穿電場(chǎng)高、飽和電子漂移速度高、熱導(dǎo)率大等優(yōu)勢(shì)，碳化硅特別適于制造耐高溫、耐高壓，耐大電流的高頻大功率的器件，因此在電動(dòng)汽車(chē)、電源、、航天等領(lǐng)域很被看好。

全球碳化硅襯底企業(yè)主要有CREE、II-VI、SiCrystal，國(guó)際企業(yè)相比國(guó)內(nèi)企業(yè)由于起步早，在產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)、技術(shù)成熟度、產(chǎn)能規(guī)模等方面具備優(yōu)勢(shì)，搶占了全球碳化硅襯底絕大部分的市場(chǎng)份額。隨著下游終端市場(chǎng)，新能源汽車(chē)、光伏、5G基站等領(lǐng)域的快速增長(zhǎng)，為上游碳化硅襯底提供了巨大的市場(chǎng)活力，國(guó)內(nèi)以山東天岳、天科合達(dá)、爍科晶體等為的企業(yè)紛紛跑馬圈地碳化硅襯底市場(chǎng)，通過(guò)加強(qiáng)技術(shù)研發(fā)與資本投入，逐漸掌握了4英寸至6英寸，甚至8英寸的碳化硅襯造技術(shù)，縮小了與國(guó)際之間技術(shù)與產(chǎn)能方面的差距。碳化硅由于其獨(dú)特的物理及電子特性，在一些應(yīng)用上成為短波長(zhǎng)光電元件，高溫，抗幅射以及高頻大功率元件。

設(shè)備制造商之間的一場(chǎng)大戰(zhàn)正在牽引逆變器領(lǐng)域展開(kāi)，尤其是純電池電動(dòng)汽車(chē)。一般來(lái)說(shuō)，混合動(dòng)力車(chē)正朝著48伏電池的方向發(fā)展。對(duì)于動(dòng)力發(fā)明家來(lái)說(shuō)，SiC對(duì)于混合動(dòng)力車(chē)來(lái)說(shuō)通常太貴了，盡管有例外。與混合動(dòng)力一樣，純電池電動(dòng)汽車(chē)由牽引逆變器組成。高壓母線將逆變器連接到蓄電池和電機(jī)。電池為汽車(chē)提供能量。驅(qū)動(dòng)車(chē)輛的電機(jī)有三個(gè)接頭或電線。這三個(gè)連接延伸至牽引逆變器，然后連接至逆變器模塊內(nèi)的六個(gè)開(kāi)關(guān)。每個(gè)開(kāi)關(guān)實(shí)際上都是一個(gè)功率半導(dǎo)體，在系統(tǒng)中用作電開(kāi)關(guān)。對(duì)于開(kāi)關(guān)，現(xiàn)有的技術(shù)是IGBT。因此，牽引逆變器可能由六個(gè)額定電壓為1200伏的IGBT組成。SiC會(huì)發(fā)生氧化反應(yīng)，所以在其表面加一SiO2層以防止氧化。廣東led碳化硅襯底

SiC的臨界擊穿電場(chǎng)比常用半導(dǎo)體Si和GaAs都大很多。深圳碳化硅襯底進(jìn)口led

為提高生產(chǎn)效率并降低成本，大尺寸是碳化硅襯備技術(shù)的重要發(fā)展方向。襯底尺寸越大，單位襯底可制造的芯片數(shù)量越多，單位芯片成本越低。襯底的尺寸越大，邊緣的浪費(fèi)就越小，有利于進(jìn)一步降低芯片的成本。在半絕緣型碳化硅市場(chǎng)，目前主流的襯底產(chǎn)品規(guī)格為4英寸。在導(dǎo)電型碳化硅市場(chǎng)，目前主流的襯底產(chǎn)品規(guī)格為6英寸。在8英寸方面，與硅材料芯片相比，8英寸和6英寸SiC生產(chǎn)的主要差別在高溫工藝上，例如高溫離子注入，高溫氧化，高溫等，以及這些高溫工藝所需求的硬掩模工藝等。根據(jù)中國(guó)寬禁帶功率半導(dǎo)體及應(yīng)用產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的預(yù)測(cè)，預(yù)計(jì)2020～2025年國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的需求，4英寸逐步從10萬(wàn)片市場(chǎng)減少到5萬(wàn)片，6英寸晶圓將從8萬(wàn)片增長(zhǎng)到20萬(wàn)片；2025～2030年：4英寸晶圓將逐漸退出市場(chǎng)，6英寸晶圓將增長(zhǎng)至40萬(wàn)片。深圳碳化硅襯底進(jìn)口led

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