以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,移動范圍12mm,移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材,一般客戶自己準備),探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機上,從而得到電性能的參數(shù)。對于重復測試同種器件,多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。探針臺需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子,以免造成定子及動子的損傷。甘肅測試芯片探針臺供應商
X系列探針臺:1、基板采用鑄件為基準進行設計,使運動的穩(wěn)定性得到提升,底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。2、運動系統(tǒng)采用的是日系高剛性、高精密的導軌和絲桿;反饋檢測系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進口運動控制卡與電機形成整個閉環(huán)的反饋檢測,以保證實現(xiàn)高精度高溫度性的運動系統(tǒng)。3、整個四維運動設計成低重心的緊湊結構,保證其速率能到達70mm/s,并能提高運動過程中的加速。4、關鍵零件用導電的表面處理,保證每個位置能進行接地保護。貴州全自動探針臺多少錢探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。
晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當?shù)奈恢?,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài)。當一個管芯(或管芯陣列)經過電氣測試后,探針臺將晶片移動到下一個管芯(或管芯),下一個測試就可以開始了。晶圓探針臺通常負責從載具(或盒子)裝載和卸載晶圓,并配備自動模式識別光學器件,能夠以足夠的精度對準晶圓,以確保晶圓上的接觸墊和探針針尖之間的準確對準。
磁場探針臺主要用于半導體材料、微納米器件、磁性材料、自旋電子器件及相關技術領域的電、磁學特性測試,能夠提供磁場或變溫環(huán)境,并進行高精度的直流/射頻測量。我們生產各類磁場探針臺,穩(wěn)定性強、功能多樣、可升級擴展,適用于各大高校、研究所及半導體行業(yè)的實驗研究和生產。詳細參數(shù):二維磁場探針臺,包含兩組磁鐵,可同時提供垂直與面內磁場;面內磁鐵極頭間距可根據(jù)樣品尺寸調整以獲得大的磁場,兼容性強;大兼容7組探針(4組RF,3組DC同時測試使用);Y軸提供大行程位移裝置,在不移動探針情況下快速抽拉更換樣品;配備樣品臺傾斜微調旋鈕,確保樣品平面平行于面內磁場方向;至多支持7組探針同時放置:直流探針(3組)+微波探針(4組);XY軸位移行程±12.5 mm,T軸旋轉±5°;面內磁場單獨施加時,磁場垂直分量優(yōu)于0.025%。如果發(fā)現(xiàn)問題,就需要復雜的診斷過程和人工分析,才能找到問題的原因。
探針臺由哪些部分組成?樣品臺(載物臺):是定位晶圓或芯片的部件設備。通常會根據(jù)晶圓的尺寸來設計大小,并配套了相應的精密移動定位功能。光學元件:這個部件的作用使得用戶能夠從視覺上放大觀察待測物,以便精確地將探針尖銳端對準并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。有的采用立體變焦顯微鏡,有的采用數(shù)碼相機,或者兩者兼有??ūP:有一個非常平坦的金屬表面,卡盤用夾具來固定待測物,或使用真空來吸附晶圓。探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。硅片測試的目的是檢驗可接受的電學性能。河北溫控探針臺加工廠家
如果是合格的芯片,打點器不動作。甘肅測試芯片探針臺供應商
探針臺主要應用于半導體行業(yè)以及光電行業(yè)的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類,即:平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大,所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論,應區(qū)別對待。甘肅測試芯片探針臺供應商