晶圓探針測試臺是半導體工藝線上的中間測試設備,與測試儀連接后,能自動完成對集成電路及各種晶體管芯電參數(shù)和功能的測試。隨著對高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低價格的電子產(chǎn)品的需求日益增長,這就要求在一個芯片中集成更多的功能并進一步縮小尺寸,從而大片徑和高效率測試將是今后晶圓探針測試臺發(fā)展的主要方向。因此,傳統(tǒng)的手動探針測試臺和半自動探針測試臺已經(jīng)不能滿足要求,取而代之的是高速度,高精度,高自動化,高可靠性的全自動晶圓探針測試臺。上海勤確科技有限公司一切從實際出發(fā)、注重實質內(nèi)容。重慶磁場探針臺供應商
近年來,半導體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石和兵家必爭之地成為本輪貿(mào)易戰(zhàn)的焦點。2019年,中美摩擦、日韓半導體材料爭端對全球半導體產(chǎn)業(yè)競爭格局也帶來了較大的影響。在自主可控發(fā)展策略指導下、在資本與相關配套政策扶植下,中國大陸正在也必將成為全球半導體產(chǎn)業(yè)擴張寶地,未來幾年半導體產(chǎn)能擴充仍將有較大需求。2019年國內(nèi)半導體設備投資約為923.51億元,國內(nèi)半導體檢測設備市場規(guī)模約為67.43億元。在疫病結束后國內(nèi)半導體投資將反彈及恢復增長,檢測設備市場規(guī)模也將隨之增長,預計2022年將達到103.22億元。重慶磁場探針臺供應商縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異。
探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺分類:探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。經(jīng)濟手動型根據(jù)客戶需求定制:chuck尺寸:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);X-Y移動行程:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);chuckZ軸方向升降10mm(選項)方便探針與樣品快速分離;顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選);顯微鏡移動方式:立柱環(huán)繞型、移動平臺型、龍門結構型(可選);探針座:有0.7um、2um、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關;可搭配Probecard測試;適用領域:晶圓廠、研究所、高校等。
x-y工作臺的維護與保養(yǎng):無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng):平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。探針尖接觸電阻即探針尖與焊點之間接觸時的層間電阻。
探針臺需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子,以免造成定子及動子的損傷。平面電機應使用在環(huán)境溫度15~25℃,相對濕度小于50%的環(huán)境中,其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5℃,氣壓為0.4±0.04MPa。相對于平面電機工作臺,絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導向部分采用精密直線滾動導軌。探針卡虛焊和布線斷線或短路,測試時都要測不穩(wěn)。陜西直流探針臺配件廠家
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探針臺概要:晶圓探針臺是在半導體開發(fā)和制造過程中用于晶片電氣檢查的設備。在電氣檢查中,通過探針或探針卡向晶片上的各個設備提供來自測量儀器或測試器的測試信號,并返回來自設備的響應信號。在這種情況下,晶片探測器用于輸送晶片并接觸設備上的預定位置。探針臺是檢測芯片的重要設備,在芯片的設計驗證階段,主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標,在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設計驗證的產(chǎn)品型號才會量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行,主要用到的設備為測試機和探針臺。重慶磁場探針臺供應商