例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹不僅關(guān)乎企業(yè)生產(chǎn)的可持續(xù)性,更是社會(huì)文明進(jìn)步的體現(xiàn)。江西潔凈廠房?jī)艋こ棠睦镔I
但是,事與愿違,不但加不進(jìn)去濕量而且加進(jìn)去的還會(huì)很快飽和變?yōu)槟Y(jié)水析出來,而達(dá)不到加濕目的。因?yàn)椋瑵衲ず透邏簢婌F屬等焓加濕過程,加濕前的空調(diào)空氣必須加熱到一定溫度后再加濕才能達(dá)到加濕目的。如果不進(jìn)行加熱是不可行的。在加濕問題上還有一個(gè)應(yīng)注意的問題就是空調(diào)器內(nèi)空氣流動(dòng)帶水的問題。有的工程中由于加濕的帶水問題沒有處理好,結(jié)果后面的中效過濾器甚至高效過濾器都被攜帶的水打濕了。對(duì)于干蒸汽加濕器也要注意蒸汽管和凝結(jié)水管的坡度和坡向問題,要使凝結(jié)水迅速地排到空調(diào)器外。若加濕器設(shè)在空調(diào)器的風(fēng)機(jī)段內(nèi),還應(yīng)采取措施避免凝結(jié)水滴到電機(jī)上,造成電機(jī)短路斷電!新疆不銹鋼凈化工程現(xiàn)貨當(dāng)前的環(huán)保形勢(shì)下,凈化工程不僅關(guān)乎企業(yè)生產(chǎn)的可持續(xù)性。
凈化工程:控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度凈化工程是指控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。亂流潔凈室:亂流潔凈室的主要特點(diǎn)是從來流到出流(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動(dòng),將會(huì)彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實(shí)質(zhì)是:突變流;非均勻流
此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清理。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)比較好濕度范圍為35—45%。氣壓規(guī)定:對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。贏得了眾多客戶的信賴與好評(píng)。
凈化工程分類:亂流式(TurbulentFlow)空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無塵工作臺(tái),提高潔凈室等級(jí)。缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再啟動(dòng),欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間凈化工程通常包含多個(gè)步驟,從污染源識(shí)別、污染物質(zhì)分析。江西潔凈廠房?jī)艋こ棠睦镔I
為客戶提供更加高效的凈化工程解決方案。江西潔凈廠房?jī)艋こ棠睦镔I
說到國內(nèi)凈化工程行業(yè)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng),主要由價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)轉(zhuǎn)向價(jià)值競(jìng)爭(zhēng)。這里以電子產(chǎn)品的凈化車間為例,這類產(chǎn)品目前正在往集成化、精密化、微型化、功能化方面轉(zhuǎn)變,因而對(duì)元器件的可靠性有著嚴(yán)格要求,對(duì)凈化車間的要求也愈發(fā)嚴(yán)格。對(duì)于精密的電子元器件而言,微量的灰塵或靜電就足以導(dǎo)致其良品率的大幅降低,進(jìn)而影響到公司的效益。就拿硬盤磁頭的靜電壓閾值來說,目前已到3V以內(nèi),封裝環(huán)境要求達(dá)到Class10甚至Class1的水平。要做到集成化、精密化、微型化、功能化,那么成本價(jià)格自然會(huì)提升,所以價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)顯然已不適用,而是要轉(zhuǎn)向價(jià)值競(jìng)爭(zhēng)才行。江西潔凈廠房?jī)艋こ棠睦镔I