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進(jìn)口灰度光刻技術(shù)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-04-23

這款灰度光刻設(shè)備具備出色的精度和穩(wěn)定性。通過(guò)先進(jìn)的光刻技術(shù),它能夠在微米級(jí)別上進(jìn)行精確的圖案制作,確保產(chǎn)品的質(zhì)量和精度達(dá)到比較高水平。同時(shí),設(shè)備的穩(wěn)定性也得到了極大的提升,減少了生產(chǎn)過(guò)程中的誤差和損耗,提高了生產(chǎn)效率。這款設(shè)備具備高效的生產(chǎn)能力。它采用了快速曝光和快速開(kāi)發(fā)的技術(shù),**縮短了生產(chǎn)周期。相比傳統(tǒng)的光刻設(shè)備,它的生產(chǎn)速度提高了30%,提升了我們的生產(chǎn)效率。同時(shí),設(shè)備還具備多通道同時(shí)加工的能力,可以同時(shí)處理多個(gè)產(chǎn)品,進(jìn)一步提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)能。Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技(上海)有限公司為您詳細(xì)講解灰度光刻技術(shù)。進(jìn)口灰度光刻技術(shù)

進(jìn)口灰度光刻技術(shù),灰度光刻

   Nanoscribe是卡爾斯魯厄理工學(xué)院(KIT)的子公司,開(kāi)發(fā)并提供用于納米、微米和中尺度的3D打印機(jī)以及光敏材料和工藝解決方案。其口號(hào)是:“我們讓小物件變得重要”,公司創(chuàng)始人開(kāi)發(fā)出一種技術(shù),對(duì)智能手機(jī)、手持設(shè)備和醫(yī)療技術(shù)領(lǐng)域至關(guān)重要的3D打印產(chǎn)品。通過(guò)基于雙光子聚合(2PP)的3D打印機(jī)投入市場(chǎng),他們已經(jīng)為全球的大學(xué)和新興行業(yè)提供了新的解決方案,致力于3D微打印生命科學(xué)研究以及納米級(jí)3D打印光學(xué),甚至利用他們的技術(shù)來(lái)開(kāi)發(fā)創(chuàng)新的設(shè)備,例如用于類固醇洗脫的3D微支架人工耳蝸。根據(jù)Nanoscribe的聯(lián)合創(chuàng)始人兼CSOMichaelThiel博士的說(shuō)法,“Beer's定律對(duì)當(dāng)今的無(wú)掩模光刻設(shè)備施加了強(qiáng)大的限制,QuantumX采用雙光子灰度光刻技術(shù),克服了這些限制,提供了前所未有的設(shè)計(jì)自由度和易用性,我們的客戶正在微加工的前沿工作?!凹{米標(biāo)記系統(tǒng)基于雙光子吸收,這是一種分子被激發(fā)到更高能態(tài)的過(guò)程。湖南2PP灰度光刻系統(tǒng)相比于傳統(tǒng)的二進(jìn)制光刻技術(shù),灰度光刻技術(shù)可以更高效地利用光刻膠,降低成本。

進(jìn)口灰度光刻技術(shù),灰度光刻

超高速灰度光刻技術(shù)是一項(xiàng)帶領(lǐng)科技發(fā)展的重大突破,為我們帶來(lái)了無(wú)限可能。這項(xiàng)技術(shù)的出現(xiàn),將徹底改變我們對(duì)光刻的認(rèn)知,為各行各業(yè)帶來(lái)了巨大的創(chuàng)新機(jī)遇。超高速灰度光刻技術(shù)主要是利用高能激光束對(duì)材料進(jìn)行精確的刻蝕,從而實(shí)現(xiàn)微米級(jí)甚至納米級(jí)的精細(xì)加工。相比傳統(tǒng)的光刻技術(shù),超高速灰度光刻技術(shù)具有更高的加工速度和更精確的刻蝕效果。這意味著我們可以在更短的時(shí)間內(nèi)完成更復(fù)雜的加工任務(wù),提高了生產(chǎn)效率。超高速灰度光刻技術(shù)在電子、光電子、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。在電子領(lǐng)域,它可以用于制造更小、更快的芯片和電路板,推動(dòng)電子產(chǎn)品的迭代升級(jí)。在光電子領(lǐng)域,它可以用于制造高精度的光學(xué)元件,提高光學(xué)設(shè)備的性能。在生物醫(yī)藥領(lǐng)域,它可以用于制造微型生物芯片和生物傳感器,實(shí)現(xiàn)更精確的醫(yī)學(xué)診斷。

   Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2雙光子無(wú)掩模光刻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)多功能性配合打印材料的多方面選擇性,可以實(shí)現(xiàn)微機(jī)械元件的制作,例如用光敏聚合物,納米顆粒復(fù)合物,或水凝膠打印的遠(yuǎn)程操控可移動(dòng)微型機(jī)器人,并可以選擇添加金屬涂層。此外,微納米器件也可以直接打印在不同的基材上,甚至可以直接打印于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。微米級(jí)增材制造能夠突破傳統(tǒng)微納光學(xué)設(shè)計(jì)的上限,借助Nanoscribe雙光子聚合技術(shù)的出色的性能,可以輕松實(shí)現(xiàn)球形,非球形,自由曲面或復(fù)雜3D微納光學(xué)元件制作,并具備出色的光學(xué)質(zhì)量表面和形狀精度。雙光子灰度光刻技術(shù)可以一步實(shí)現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級(jí)衍射光學(xué)元件(DOE),并且滿足DOE納米結(jié)構(gòu)表面的橫向和縱向分辨率達(dá)到亞微米量級(jí)。由于需要多次光刻,刻蝕和對(duì)準(zhǔn)工藝,衍射光學(xué)元件(DOE)的傳統(tǒng)制造耗時(shí)長(zhǎng)且成本高。而利用增材制造即可簡(jiǎn)單一步實(shí)現(xiàn)多級(jí)衍射光學(xué)元件,可以直接作為原型使用,也可以作為批量生產(chǎn)母版工具。雙光子灰度光刻敬請(qǐng)咨詢Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。

進(jìn)口灰度光刻技術(shù),灰度光刻

微納3D打印其實(shí)和與灰度光刻有點(diǎn)相似,但是原理不同,我們常見(jiàn)的微納3D打印技術(shù)是雙光子聚合和微納金屬3D打印技術(shù),利用該技術(shù)我們理論上可以獲得任意想要的結(jié)構(gòu),不光是微透鏡陣列結(jié)構(gòu)(如下圖5所示),該方法的優(yōu)勢(shì)是可以完全按照設(shè)計(jì)獲得想要的結(jié)構(gòu),對(duì)于雙光子聚合的微結(jié)構(gòu),我們需要通過(guò)LIGA工藝獲得金屬模具,但是對(duì)于微納金屬3D打印獲得的微納米結(jié)構(gòu)可以直接進(jìn)行后續(xù)的復(fù)制工作,并通過(guò)納米壓印技術(shù)進(jìn)行復(fù)制?;叶裙饪痰木褪抢没叶裙饪萄谀ぐ妫ㄑ谀そ佑|式光刻)或者計(jì)算機(jī)控制激光束或者電子束劑量從而達(dá)到在某些區(qū)域完全曝透,而某些區(qū)域光刻膠部分曝光,從而在襯底上留下3D輪廓形態(tài)的光刻膠結(jié)構(gòu)(如下圖4所示,八邊金字塔結(jié)構(gòu))。微透鏡陣列也是類似,可以通過(guò)劑量分布的控制來(lái)控制其輪廓形態(tài)成本低:無(wú)掩膜光刻技術(shù)無(wú)需制作昂貴的掩膜版,因此可以降低光刻成本。吉林Nanoscribe灰度光刻3D微納加工

灰度光刻技術(shù)還可以與其他先進(jìn)技術(shù)相結(jié)合,如直接激光寫入(Direct Laser Writing)等。進(jìn)口灰度光刻技術(shù)

  雙光子灰度光刻技術(shù)可以一步實(shí)現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級(jí)衍射光學(xué)元件(DOE),并且滿足DOE納米結(jié)構(gòu)表面的橫向和縱向分辨率達(dá)到亞微米量級(jí)。由于需要多次光刻,刻蝕和對(duì)準(zhǔn)工藝,衍射光學(xué)元件(DOE)的傳統(tǒng)制造耗時(shí)長(zhǎng)且成本高。而利用增材制造即可簡(jiǎn)單一步實(shí)現(xiàn)多級(jí)衍射光學(xué)元件,可以直接作為原型使用,也可以作為批量生產(chǎn)母版工具。 Nanoscribe的Photonic Professional GT2雙光子無(wú)掩模光刻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)多功能性配合打印材料的多方面選擇性,可以實(shí)現(xiàn)微機(jī)械元件的制作,例如用光敏聚合物,納米顆粒復(fù)合物,或水凝膠打印的遠(yuǎn)程操控可移動(dòng)微型機(jī)器人,并可以選擇添加金屬涂層。此外,微納米器件也可以直接打印在不同的基材上,甚至可以直接打印于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。進(jìn)口灰度光刻技術(shù)