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晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。
晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,**化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達(dá)99.9%。
晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料,半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅,因此對(duì)應(yīng)的就是硅晶圓。 與剛性機(jī)械臂相比較,柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性。潮州直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂經(jīng)銷批發(fā)
隨著智能工業(yè)的快速發(fā)展,我們?cè)絹?lái)越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機(jī)器人代替人工作業(yè),那么我們來(lái)說(shuō)說(shuō)工業(yè)機(jī)器人如六軸機(jī)器人是怎樣的? 六軸工業(yè)機(jī)器人是一種用于自然科學(xué)相關(guān)工程與技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器,六軸機(jī)器人的六個(gè)軸,每個(gè)軸都是一個(gè)電機(jī)配備減速機(jī)來(lái)傳動(dòng),各個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)方式和方向都不同,每個(gè)軸其實(shí)是模擬人手的各個(gè)關(guān)節(jié)的動(dòng)作。
一軸:一軸是連接底座的部位,主要是承載上面軸的重量與底座的左右旋轉(zhuǎn),一個(gè)左右旋轉(zhuǎn)的動(dòng)作就是使用電機(jī)與減速機(jī)傳動(dòng)的結(jié)果,每個(gè)軸都是代替一個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)方式。
二軸:控制機(jī)器人主臂的前后擺動(dòng)、整個(gè)主臂上下運(yùn)動(dòng)的功能。
三軸:三軸同樣是控制機(jī)器人前后擺動(dòng)功能,只是比第二軸的擺臂范圍小。
四軸:四軸是控制機(jī)器人上面的圓形管的部分可自由旋轉(zhuǎn)的部位,活動(dòng)范圍相當(dāng)于人的小臂,不過(guò)不是360°旋轉(zhuǎn)里面有電線跟人小臂的范圍相同。
五軸:第五軸控制微調(diào)的上下翻轉(zhuǎn)動(dòng)作,通常是當(dāng)產(chǎn)品抓取后可以使產(chǎn)品翻轉(zhuǎn)的動(dòng)作。
六軸:第六軸就是末端法蘭哪個(gè)部分旋轉(zhuǎn)功能??梢?60°旋轉(zhuǎn)。 湛江晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠家報(bào)價(jià)單軸機(jī)械手臂作為一個(gè)組件在工業(yè)中應(yīng)用***。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是:現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,且傳送晶圓效率較低。
為了解決上述問(wèn)題,本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂,其包括:托板;固定在所述托板上的絨毛墊,所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時(shí)利用范德華力吸附晶圓。
可選地,所述絨毛墊包括托墊和絨毛,所述托墊固定在所述托板上,所述絨毛固定在所述托墊上。
可選地,所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔,所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi),并通過(guò)與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。
可選地,所述絨毛為硅樹(shù)脂橡膠絨毛或聚酯樹(shù)膠絨毛。
可選地,所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。
可選地,所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。
可選地,所述絨毛墊的數(shù)量為三個(gè)以上,各個(gè)所述絨毛墊之間間隔排布。
車床行業(yè)機(jī)械臂又名車床自動(dòng)上下料機(jī)械手、上下料機(jī)械手,車床自動(dòng)上下料機(jī)械手主要實(shí)現(xiàn)機(jī)床制造過(guò)程的完全自動(dòng)化,并采用了集成加工技術(shù),適用于生產(chǎn)線的上下料、工件翻轉(zhuǎn)、工件轉(zhuǎn)序等。在國(guó)內(nèi)的機(jī)械加工, 很多都是使用專機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料的方式, 這在產(chǎn)品比較單一、產(chǎn)能不高的情況下是非常適合的, 但是隨著社會(huì)的進(jìn)步和發(fā)展, 科技的日益進(jìn)步, 產(chǎn)品更新?lián)Q代加快, 使用專機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料就暴露出了很多的不足和弱點(diǎn), 一方面專機(jī)占地面積大結(jié)構(gòu)復(fù)雜、維修不便, 不利于自動(dòng)化流水線的生產(chǎn);另一方面, 它的柔性不夠, 難以適應(yīng)日益加快的變化,不利于產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的調(diào)整;其次, 使用人工會(huì)造成勞動(dòng)強(qiáng)度的增加, 容易產(chǎn)生工傷事故, 效率也比較低下, 且使用人工上下料的產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性不夠, 不能滿足大批量生產(chǎn)的需求。 在工業(yè)制造、醫(yī)學(xué)***、娛樂(lè)服務(wù)、***、半導(dǎo)體制造以及太空探索等領(lǐng)域都能見(jiàn)到它的身影。
可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列。
單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。
適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)。
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng): 210mm, 280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP(210mm臂長(zhǎng))
或者3個(gè)FOUP(280mm臂長(zhǎng))雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式配備動(dòng)作監(jiān)視器控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)通過(guò)S曲線加減速控制方式以及對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化
能夠高速,高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 精確地定位到三維(或二維)空間上的某一點(diǎn)進(jìn)行作業(yè)。潮州直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂經(jīng)銷批發(fā)
車床行業(yè)機(jī)械臂又名車床自動(dòng)上下料機(jī)械手、上下料機(jī)械手。潮州直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂經(jīng)銷批發(fā)
晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。
晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,**化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達(dá)99.9%。
晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料,半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅,因此對(duì)應(yīng)的就是硅晶圓。 關(guān)節(jié)式機(jī)械手因其結(jié)構(gòu)復(fù)雜。廣東官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜 潮州直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂經(jīng)銷批發(fā)
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