背景技術(shù)：

晶圓的生產(chǎn)與制作屬極為精密的加工技術(shù)，其通常需借助晶圓傳輸裝置來(lái)進(jìn)行運(yùn)輸傳遞等作業(yè)。例如，準(zhǔn)備對(duì)晶圓進(jìn)行刻蝕加工時(shí)，需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內(nèi)的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機(jī)臺(tái)內(nèi)。

現(xiàn)有一種晶圓傳輸裝置包括機(jī)械手臂，該機(jī)械手臂的表面設(shè)有卡槽，晶圓用于放置在該卡槽內(nèi)，以防止機(jī)械手臂在傳送晶圓時(shí)發(fā)生晶圓平移(即晶圓相對(duì)機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng))。然而，現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，另外，機(jī)械手臂的傳送晶圓效率較低，影響了生產(chǎn)效率。

普遍認(rèn)為機(jī)械臂是實(shí)現(xiàn)智能制造的很好的載體，可以實(shí)現(xiàn)五軸數(shù)控?zé)o法實(shí)現(xiàn)的大操作空間與靈活性。珠海直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂哪里好

    為圓柱的單晶硅晶錠更便于運(yùn)輸，有效的避免了在運(yùn)輸途中磕碰損壞，邊角碎掉什么的造成材料損耗。而且，請(qǐng)仔細(xì)回想一下，你看到的晶圓是完全的圓的嗎？非也！在硅棒做出來(lái)后，在200mm以下的硅棒上是切割一個(gè)平角，叫Flat。在200mm（含）以上硅棒上，為了減少浪費(fèi)，只裁剪個(gè)圓形小口，叫做Notch。***再進(jìn)行切片，得到的晶圓如下。那么，這個(gè)小豁口是做什么用的呢？很容易想到——定位。這樣每片晶圓的晶向就能確定，在加工的時(shí)候也不容易出錯(cuò)了。所以，為什么“晶圓”沒有方的？？？答案很簡(jiǎn)單，是一個(gè)歷史遺留的問題，也是一個(gè)技術(shù)限制的問題。而且，真的沒有必要做出來(lái)正方的硅片呢～。 珠海直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂哪里好手臂的運(yùn)動(dòng)速度要適當(dāng)，慣性要小.

半導(dǎo)體行業(yè)，尤其是集成電路領(lǐng)域，晶圓的身影隨處可見。

晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu)，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

眼前這密密麻麻的元器件，被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上，都是規(guī)規(guī)矩矩、方方正正的?？梢?，晶圓在實(shí)際應(yīng)用之中還是要被切割成方形的。

所以疑問?來(lái)了——硅片為什么要做成圓的？為什么是“晶圓”，而不做成“晶方”？

要解釋這個(gè)問題，有兩方面的原因：一方面似乎是由“基因決定的”；另一方面是“環(huán)境造成的”。

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的應(yīng)用非常廣，主要包括以下幾個(gè)方面：晶圓生產(chǎn)線：在晶圓生產(chǎn)線上，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂被廣泛應(yīng)用于晶圓的裝載和卸載過(guò)程。它能夠?qū)⒕A從載體上吸附起來(lái)，并將其準(zhǔn)確地運(yùn)送到目標(biāo)位置，以完成各種工序，如清洗、切割、涂覆等。晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的高精度和穩(wěn)定性能，能夠確保晶圓在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中的安全和穩(wěn)定運(yùn)輸。半導(dǎo)體封裝和測(cè)試：在半導(dǎo)體封裝和測(cè)試過(guò)程中，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂被用于將封裝好的芯片從一個(gè)工序轉(zhuǎn)移到另一個(gè)工序。它能夠?qū)⑿酒瑴?zhǔn)確地吸附在機(jī)械臂上，并將其運(yùn)送到封裝或測(cè)試設(shè)備上，以完成后續(xù)的封裝和測(cè)試工作。手臂回轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)就是機(jī)械臂在升降的同時(shí)也可以旋轉(zhuǎn)的。

車床行業(yè)機(jī)械臂又名車床自動(dòng)上下料機(jī)械手、上下料機(jī)械手，車床自動(dòng)上下料機(jī)械手主要實(shí)現(xiàn)機(jī)床制造過(guò)程的完全自動(dòng)化，并采用了集成加工技術(shù)，適用于生產(chǎn)線的上下料、工件翻轉(zhuǎn)、工件轉(zhuǎn)序等。在國(guó)內(nèi)的機(jī)械加工， 很多都是使用專機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料的方式， 這在產(chǎn)品比較單一、產(chǎn)能不高的情況下是非常適合的， 但是隨著社會(huì)的進(jìn)步和發(fā)展， 科技的日益進(jìn)步， 產(chǎn)品更新?lián)Q代加快， 使用專機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料就暴露出了很多的不足和弱點(diǎn)， 一方面專機(jī)占地面積大結(jié)構(gòu)復(fù)雜、維修不便， 不利于自動(dòng)化流水線的生產(chǎn)；另一方面， 它的柔性不夠， 難以適應(yīng)日益加快的變化，不利于產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的調(diào)整；其次， 使用人工會(huì)造成勞動(dòng)強(qiáng)度的增加， 容易產(chǎn)生工傷事故， 效率也比較低下， 且使用人工上下料的產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性不夠， 不能滿足大批量生產(chǎn)的需求。 操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器，其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對(duì)滑動(dòng)的構(gòu)件所組成。佛山原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂參考價(jià)

實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)、升降運(yùn)動(dòng)是由橫臂和產(chǎn)柱去完成。珠海直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂哪里好

例如：尋找，運(yùn)輸，握取，對(duì)準(zhǔn)，裝配，檢驗(yàn)等動(dòng)作. 為了明確地描述工業(yè)機(jī)械人，美國(guó)機(jī)械人協(xié)會(huì)在1979年將機(jī)械人定義為一個(gè)可用程式控制，多功能的操作器，它透過(guò)程式控制和多變化的動(dòng)作設(shè)計(jì)來(lái)移動(dòng)材料，工件，工具或特別設(shè)備，以完成一連串的工作.所以，雖然許多工業(yè)機(jī)械人并非有人的形態(tài)，但只要它們符合機(jī)械人的定義，便可以稱為機(jī)械人.工業(yè)機(jī)械人雖然已被廣泛應(yīng)用在多種制造行業(yè)內(nèi)，但估計(jì)在不久將來(lái)還會(huì)有數(shù)以十萬(wàn)計(jì)的工業(yè)機(jī)械人投入服務(wù).現(xiàn)時(shí)，不少研究人員正為機(jī)械人研究如何加入視覺和感覺，令機(jī)械人可以完成更復(fù)雜的工作.而研究機(jī)械人的學(xué)問稱為機(jī)械人學(xué)。珠海直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂哪里好

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