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珠海直銷晶圓運送機械吸臂供應(yīng)商家

來源: 發(fā)布時間:2022-07-19

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手,該真空吸附機械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺;設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,故利用真空吸附機械手將晶圓傳送至所需位置之后,晶圓的背面中與真空吸附機械手接觸的位置不會形成印記,提高了晶圓的合格率。手臂回轉(zhuǎn)升降機構(gòu)就是機械臂在升降的同時也可以旋轉(zhuǎn)的。珠海直銷晶圓運送機械吸臂供應(yīng)商家

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研究背景近年來,隨著機器人技術(shù)的發(fā)展,應(yīng)用高速度、高精度、 高負載自重比的機器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注。由于運動過程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應(yīng)的增加,使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務(wù)執(zhí)行的精度降低。所以,機器人機械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮,實現(xiàn)柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學(xué)特性。柔性機械臂是一個非常復(fù)雜的動力學(xué)系統(tǒng),其動力學(xué)方程具有非線性, 強耦合, 實變等特點。而進行柔性臂動力學(xué)問題的研究,其模型的建立是極其重要的。柔性機械臂不僅是一個剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng),而且也是系統(tǒng)動力學(xué)特性與控制特性相互耦合即機電耦合的非線性系統(tǒng)。動力學(xué)建模的目的是為控制系統(tǒng)描述及控制器設(shè)計提供依據(jù)。一般控制系統(tǒng)的描述( 包括時域的狀態(tài)空間描述和頻域的傳遞函數(shù)描述) 與傳感器/ 執(zhí)行器的定位,從執(zhí)行器到傳感器的信息傳遞以及機械臂的動力學(xué)特性密切相關(guān)。廣東晶圓運送機械吸臂價格便宜注塑行業(yè)機械臂常稱為注塑機機械手、塑料機機械手。

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    為圓柱的單晶硅晶錠更便于運輸,有效的避免了在運輸途中磕碰損壞,邊角碎掉什么的造成材料損耗。而且,請仔細回想一下,你看到的晶圓是完全的圓的嗎?非也!在硅棒做出來后,在200mm以下的硅棒上是切割一個平角,叫Flat。在200mm(含)以上硅棒上,為了減少浪費,只裁剪個圓形小口,叫做Notch。***再進行切片,得到的晶圓如下。那么,這個小豁口是做什么用的呢?很容易想到——定位。這樣每片晶圓的晶向就能確定,在加工的時候也不容易出錯了。所以,為什么“晶圓”沒有方的???答案很簡單,是一個歷史遺留的問題,也是一個技術(shù)限制的問題。而且,真的沒有必要做出來正方的硅片呢~。

一種用于傳送晶圓的真空吸附機械手,其特征在于,包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺;設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形,所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段;位于所述吸附絕緣凸臺內(nèi)的偽絕緣凸臺,所述偽絕緣凸臺與手臂一體成型,所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺內(nèi);在垂直于所述手臂的方向上,所述吸附絕緣凸臺比所述偽絕緣凸臺突出;所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。手臂一般有3個運動:伸縮、旋轉(zhuǎn)和升降.

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。



背景技術(shù):


在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,在傳送的過程中,傳送精度越高,設(shè)備工藝一致性就越好,速度越快,單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜,對設(shè)備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高,這就需要一種定位精度高,速度快的多自由度的機械手。



技術(shù)實現(xiàn)要素:


本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種晶圓搬運機械手,本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,維護方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)備要求,適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。


通用性強,能適應(yīng)多種作業(yè);工藝性好,便于維修調(diào)整。汕頭銷售晶圓運送機械吸臂維修電話

合理選擇機械手的坐標(biāo)形式。直角坐標(biāo)式機械手的位置精度較高,其結(jié)構(gòu)和運動都比較簡單、誤差也小。珠海直銷晶圓運送機械吸臂供應(yīng)商家

工業(yè)機械臂定義為“其操作機是自動控制的,可重復(fù)編程、多用途,并可以對3個以上軸進行編程。它可以是固定式或者移動式。在工業(yè)自動化應(yīng)用中使用”。操作機又定義為“是一種機器,其機構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成。它通常有幾個自由度,用以抓取或移動物體(工具或工件)?!彼詫I(yè)機械臂可能理解為:擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置;它可把任一物件或工具按空間位姿(位置和姿態(tài))的時變要求進行移動,從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求。 珠海直銷晶圓運送機械吸臂供應(yīng)商家

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