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本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,維護(hù)方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)備要求,適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。
為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決:一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,其特征為,所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座,所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié),所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié),所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié),所述的伸展電機(jī)、所述的一級(jí)關(guān)節(jié)、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng),所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng)。
根據(jù)機(jī)械手運(yùn)動(dòng)和工作的要求,如管路、冷卻裝置、行程定位裝置和自動(dòng)檢測(cè)裝置等.深圳直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂新報(bào)價(jià)
例如:尋找,運(yùn)輸,握取,對(duì)準(zhǔn),裝配,檢驗(yàn)等動(dòng)作. 為了明確地描述工業(yè)機(jī)械人,美國(guó)機(jī)械人協(xié)會(huì)在1979年將機(jī)械人定義為一個(gè)可用程式控制,多功能的操作器,它透過程式控制和多變化的動(dòng)作設(shè)計(jì)來移動(dòng)材料,工件,工具或特別設(shè)備,以完成一連串的工作.所以,雖然許多工業(yè)機(jī)械人并非有人的形態(tài),但只要它們符合機(jī)械人的定義,便可以稱為機(jī)械人.工業(yè)機(jī)械人雖然已被廣泛應(yīng)用在多種制造行業(yè)內(nèi),但估計(jì)在不久將來還會(huì)有數(shù)以十萬計(jì)的工業(yè)機(jī)械人投入服務(wù).現(xiàn)時(shí),不少研究人員正為機(jī)械人研究如何加入視覺和感覺,令機(jī)械人可以完成更復(fù)雜的工作.而研究機(jī)械人的學(xué)問稱為機(jī)械人學(xué)。汕頭官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂聯(lián)系人手臂伸縮機(jī)構(gòu)是機(jī)械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測(cè)器作用基本等同于升降位置檢測(cè)器。
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。
背景技術(shù):
在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送,在傳送的過程中,傳送精度越高,設(shè)備工藝一致性就越好,速度越快,單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜,對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度、柔性化程度要求也越來越高,這就需要一種定位精度高,速度快的多自由度的機(jī)械手。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,維護(hù)方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)備要求,適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。
目前,直拉法是生長(zhǎng)晶圓**常用的方法了,除了直拉法之外,常用的方法還有區(qū)熔法。區(qū)熔法,簡(jiǎn)稱Fz法。1939年,在貝爾實(shí)驗(yàn)室工作的W·G·Pfann較早萌生了“區(qū)域勻平”的念頭,后來在亨利·休勒、丹·多西等人的協(xié)助下,生長(zhǎng)出了高純度的鍺以及硅單晶,并獲得了**。這種方法是利用熱能在半導(dǎo)體多晶棒料的一端產(chǎn)生一熔區(qū),使其重結(jié)晶為單晶。使熔區(qū)沿一定方向緩慢地向棒的另一端移動(dòng),進(jìn)而通過整根棒料,使多晶棒料生長(zhǎng)成一根單晶棒料,區(qū)熔法也需要籽晶,且**終得到的柱狀單晶錠晶向與籽晶的相同。 為此,手臂一般都采用剛性較好的導(dǎo)向桿來加大手臂的剛度.
受歐美股指隔夜再度全線殺跌的影響,兩市**小幅低開,低開后的市場(chǎng)在抄底盤和北上資金的推動(dòng)下震蕩走高,早間收盤全線收漲,午后在科技板塊的帶動(dòng)下市場(chǎng)繼續(xù)震蕩走高,**終兩市**以中陽(yáng)報(bào)收。
昨天談到農(nóng)業(yè)、大消費(fèi)和科技股目前呈現(xiàn)出蹺蹺板的態(tài)勢(shì),果不其然***出現(xiàn)了此消彼長(zhǎng)的情形。
盤面上看,市場(chǎng)***科技股再度走強(qiáng),以大基金持有的科技股繼續(xù)**著相關(guān)題材概念和板塊進(jìn)行做多,北上資金***依舊大幅凈流入,市場(chǎng)短期做多的因素和動(dòng)能正在疊加。
盤后出了條消息,“中方不會(huì)坐視不理美科技霸凌主義”,先機(jī)哥由此猜測(cè)市場(chǎng)短期的反彈將還是延著科技股這條主線,畢竟帶動(dòng)市場(chǎng)人氣方面沒有哪個(gè)板塊比科技股更適合。
昨晚提醒大家關(guān)注的科遠(yuǎn)智慧,***低開高走收大陽(yáng),開盤后水下潛入的朋友也有7個(gè)點(diǎn)的收獲,該股短期有望突破創(chuàng)新高。
手臂上的零部件,如油缸、導(dǎo)向桿、控制件等都安裝在手臂上。佛山本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂上門服務(wù)
而回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的誤差是放大時(shí)的尺寸誤差,當(dāng)轉(zhuǎn)角位置一定時(shí),手臂伸出越長(zhǎng),其誤差越大;深圳直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂新報(bào)價(jià)
不管是現(xiàn)在還是未來,氧化鋁陶瓷,氧化鋯陶瓷,碳化硅陶瓷,陶瓷機(jī)械手都不會(huì)過時(shí),因?yàn)檠趸X陶瓷,氧化鋯陶瓷,碳化硅陶瓷,陶瓷機(jī)械手所涵蓋的范圍比較寬泛,能夠?yàn)閭€(gè)人家庭、工廠生產(chǎn)、商業(yè)建設(shè)、家庭裝修裝飾等各個(gè)領(lǐng)域提供諸多的產(chǎn)品與服務(wù),因此機(jī)械行業(yè)的未來發(fā)展前景相當(dāng)不錯(cuò),可以作為一項(xiàng)長(zhǎng)遠(yuǎn)的事業(yè)來加入進(jìn)去。我國(guó)工業(yè)通過供給側(cè)更改逐步完成了產(chǎn)能去化,機(jī)械及行業(yè)設(shè)備業(yè)粗放式投錢的時(shí)代已經(jīng)過去,傳統(tǒng)制造業(yè)升級(jí)趨勢(shì)明顯。設(shè)備行業(yè)與下游制造業(yè)投錢需求緊密相關(guān),具有較強(qiáng)的周期屬性,機(jī)械及行業(yè)設(shè)備公司往往被貼上周期股的標(biāo)簽。機(jī)械企業(yè)常常利用虛擬制造技術(shù)來提升反應(yīng)能力,而虛擬制造技術(shù)也是機(jī)械制造領(lǐng)域中重點(diǎn)的技術(shù)。對(duì)現(xiàn)代化有限責(zé)任公司企業(yè)來說,具備敏捷的反應(yīng)能力是未來努力的方向。隨著社會(huì)的發(fā)展,創(chuàng)新、協(xié)調(diào)、綠色、開放、共享的五大發(fā)展理念對(duì)機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)提出了更高的要求,研發(fā)技術(shù)含量高、附加價(jià)值高、智能化程度高而碳排放量少的新型設(shè)備。深圳直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂新報(bào)價(jià)
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