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廣東高精度探針臺廠商

來源: 發(fā)布時間:2023-07-05

手動探針臺的工作原理及應(yīng)用范圍。工作原理:手動探針臺是普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟型測試儀器,主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測。手動探針臺是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測試儀對芯片中的集成電路進行檢測的。應(yīng)用范圍:手動探針臺主要用于對生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進行手動測試。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。探針臺的建設(shè)需要全球頭腦的智慧和力量。廣東高精度探針臺廠商

根據(jù)探針測試需要,XY 精密工作臺的技術(shù)要 求為:XY 向行程160 mm;精度±0.008 mm;重復(fù) 定位精度±0.003 mm;分辨率0.001 mm。在結(jié)構(gòu) 設(shè)計時,為達到上述精密控制要求選用伺服電機 驅(qū)動,全閉環(huán)運動控制;整個工作臺需要放置于真 空腔體內(nèi),結(jié)構(gòu)緊湊合理的工作臺結(jié)構(gòu)可以有效 地減小真空腔體設(shè)計尺寸,XY 工作臺結(jié)構(gòu)采用 絲杠、交叉滾子導(dǎo)軌組合形式。其中Y 向絲杠采 用偏置方式;X 向絲杠采用對稱方式。對于電機、絲杠、導(dǎo)軌等外購件,選型號時,需 要考慮溫度、濕度、腐蝕性等特種環(huán)境下運行情 況,要求在高真空狀態(tài)下材料不能逸出空氣,外購 件內(nèi)部、外部不能有揮發(fā)性油脂。如果沒有合適的 型號滿足上述要求,需要對相應(yīng)外購件加裝特制 密封罩。廣東高精度探針臺廠商探針臺的觀測數(shù)據(jù)對未來宇宙探索和科學(xué)研究提供了寶貴的資源。

半導(dǎo)體設(shè)備市場為海外廠商壟斷,國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)奮起直追。2019 年國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè) 備銷售額為 161.82 億元,中國大陸 2019 年半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模 134.5 億美元, 國產(chǎn)化率約 17%,具備較大國產(chǎn)替代空間。在當(dāng)前美國持續(xù)加強技術(shù)和設(shè)備的情況下,半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代步伐正在加快。國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)在政策和資金大力支 持下,在刻蝕、薄膜沉積、測試等多個領(lǐng)域不斷取得突破。探針臺是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、 高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。

隨著5G、汽車?yán)走_等技術(shù)的發(fā)展,在片測試也進入了亞毫米波/太赫茲頻段,對在片測試技術(shù)提出了更高的挑戰(zhàn)。在片測量系統(tǒng):微波射頻在片測量系統(tǒng)一般由射頻/微波測量儀器和探針臺及附件組成。 微波射頻在片測量系統(tǒng)中,探針臺和探針用于芯片測量端口與射頻測量儀器端口(同軸或波導(dǎo))之間的適配;微波射頻測量儀器完成各項所需的射頻測量。探針臺(Probe Station):探針臺是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。通過與測試儀器的配合,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序前予以剔除,較大程度上降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。探針臺的建設(shè)和運行需要具備高度的專業(yè)素養(yǎng)和嚴(yán)謹(jǐn)性。

全球半導(dǎo)體設(shè)備支出進入上升周期。5G、物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能以及汽車電 子等新技術(shù)和新產(chǎn)品的應(yīng)用,將帶來龐大的半導(dǎo)體市場需求,行業(yè)將進入新一輪的 上升周期。半導(dǎo)體設(shè)備位于產(chǎn)業(yè)鏈的上游,其市場規(guī)模隨著下游半導(dǎo)體的技術(shù)發(fā)展 和市場需求而波動。根據(jù) SEMI 預(yù)測,2020 年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模達創(chuàng)紀(jì)錄 的 689 億美元,同比增長 16%,2021 年將達 719 億美元,同比增長 4.4%,2022 年仍舊保持增長態(tài)勢,市場將達 761 億美元,同比增長 5.8%。探針臺的建設(shè)需要克服地球環(huán)境和宇宙環(huán)境的技術(shù)差距。廣東高精度探針臺廠商

探針臺的科研成果有助于人類更有效地保護地球和地球上的所有生命。廣東高精度探針臺廠商

自動探針臺主要功能:1. TTL專門使用測試儀接口;GPIB/RS232/網(wǎng)絡(luò)接口(選配);與測試機連接方便;2. Windows風(fēng)格界面,動態(tài)顯示測試過程,MAP圖實時顯示、存儲;3. Map導(dǎo)航功能,map編輯(可編輯標(biāo)注DIE屬性、測試區(qū)域);4. 自動測試方式有矩陣、圓形方式、Map方式;5. 圖像對準(zhǔn)功能,自動掃描,自動首點對準(zhǔn);6. 不良品噴墨打點標(biāo)記,墨點尺寸?0.5mm;7. 分級權(quán)限管理;8. 控制打印機打印測試結(jié)果;9. 配合上位機,上傳并記錄測試數(shù)據(jù)。廣東高精度探針臺廠商

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