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氫氟酸:聯(lián)合蝕刻和清洗半導(dǎo)體硅片等的方法和裝置,推薦使用氫氟酸(HF)、氫氯酸(鹽酸)和水溶液,生成高頻蒸氣、鹽酸蒸氣和水蒸氣的平衡蒸氣混合物作為均勻處體。處體不使用載氣,載氣會(huì)使蒸汽不均勻,從而降低蝕刻速率。蒸汽推薦由液體源產(chǎn)生,該液體源設(shè)置在容納晶片的反應(yīng)室內(nèi)。晶片比較好被定向,使被處理的表面朝下。晶片有利地位于處理蒸汽的液體源上方或附近。晶片以每分鐘20-1000轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)速度旋轉(zhuǎn),以提供均勻處體在晶片表面上的均勻分散,并促進(jìn)從液體源到處體和處理表面的循環(huán)和轉(zhuǎn)移。蒸汽的液體源可以有利地設(shè)置在緊鄰晶片處理表面下方的槽中,或者設(shè)置在鄰近晶片的環(huán)形槽中。這些工藝提供了良好均勻性和優(yōu)異顆粒計(jì)數(shù)性能的高速蝕刻。 氫氟酸-選泰赫化工批發(fā)銷售生產(chǎn)廠家!東莞化工氫氟酸用途
氫氟酸【特殊要求】【操作安全】(1)打開氫氟酸容器時(shí),確定工作區(qū)通風(fēng)良好且無(wú)火花或引火源存在,避免讓釋出的蒸氣進(jìn)入工作區(qū)的空氣中,并有隨時(shí)可以用于滅火及處理泄漏的緊急應(yīng)變裝置。一旦發(fā)生物品著火,應(yīng)用干粉滅火器、二氧化碳滅火器、砂土滅火,切忌水流沖擊物品。(2)生產(chǎn)設(shè)備的清洗污水及生產(chǎn)車間內(nèi)部地坪的沖洗水須收入應(yīng)急池,經(jīng)處理合格后才可排放。(3)充裝時(shí)使用萬(wàn)向節(jié)管道充裝系統(tǒng),嚴(yán)防超裝?!緝?chǔ)存安全】(1)儲(chǔ)存于陰涼、干燥、通風(fēng)良好的庫(kù)房?jī)?nèi)。庫(kù)房溫度不宜超過30℃。包裝要求密封。氫氟酸若留存時(shí)間長(zhǎng),則因少量水分的作用而發(fā)生聚合,生成黑褐色的聚合物。由于聚合是放熱反應(yīng),且有自動(dòng)催化作用,有時(shí)會(huì)突然,為此,儲(chǔ)存時(shí)要特別小心,貯存時(shí)間不宜太長(zhǎng),并注意添加穩(wěn)定劑。(2)氫氟酸儲(chǔ)存區(qū)設(shè)置圍堰,地面進(jìn)行防滲透處理,并配備倒裝罐或儲(chǔ)液池。儲(chǔ)存區(qū)應(yīng)備有合適的材料收容泄漏物。(3)應(yīng)與氧化劑、酸類、食用化學(xué)品分開存放,切忌混儲(chǔ)。(4)定期檢查氫氟酸的儲(chǔ)罐、槽車、閥門和泵等,防止泄漏。 長(zhǎng)春泰赫化工氫氟酸用途氫氟酸廠家,廠家直銷,貨源充足,歡迎來(lái)電咨詢。
氫氟酸燒傷?高濃度氫氟酸燒傷會(huì)立即引起癥狀;濃度較低的溶液可能需要數(shù)小時(shí)才會(huì)引起癥狀,但仍能造成嚴(yán)重的損傷。氫氟酸燒傷的方法是使用大量水沖洗和鈣劑。鈣離子與游離氟離子的復(fù)合能阻止進(jìn)一步的毒性,并且也有助于糾正細(xì)胞內(nèi)低鈣和全身低鈣血癥。初始包括在燒傷氫氟酸燒傷區(qū)域敷涂葡萄糖酸鈣凝膠()。氫氟酸燒傷可能引發(fā)全身性毒性,在緊急處理之后必須盡快就醫(yī)。氫氟酸燒傷的特點(diǎn):氫氟酸是氯化氫與氟礦石(含氟化鈣97%)反應(yīng)產(chǎn)生的氟化氫氣體冷卻而成的液體。濃度>40%的氫氟酸即可產(chǎn)生煙霧。氫氟酸的滲透力極強(qiáng),它的滲透系數(shù)與水相近,通過氟化氫分子擴(kuò)散可實(shí)現(xiàn)氟離子的跨膜轉(zhuǎn)運(yùn)。它對(duì)皮膚組織的損傷機(jī)制包括兩個(gè)方面:一是直接腐蝕接觸的皮膚;二是氟離子的滲透導(dǎo)致深部組織壞死,骨質(zhì)脫鈣、疼痛。氫氟酸致人體燒傷后,其特點(diǎn)主要有:(1)氫氟酸燒傷后的疼痛呈遲發(fā)性、頑固性的劇烈疼痛,這種疼痛有時(shí)用也無(wú)法緩解。一般疼痛發(fā)生在傷后1~8小時(shí),但若濃度>50%的氫氟酸燒傷,疼痛可即刻發(fā)生。(2)氫氟酸燒傷對(duì)組織的損傷是進(jìn)行性的,燒傷的面積和深度可以不斷發(fā)展。特別是指、趾甲受損時(shí),可向指、趾甲下侵犯,這是因?yàn)闅浞岬母g作用促進(jìn)氟化物向深部組織穿透。
氫氟酸儲(chǔ)存運(yùn)輸??jī)?chǔ)存操作注意事項(xiàng):密閉操作,加強(qiáng)通風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn),嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴自吸過濾式防塵口罩,戴化學(xué)安全防護(hù)眼鏡,穿防毒物滲透工作服,戴橡膠手套。避免產(chǎn)生粉塵。避免與酸類接觸。搬運(yùn)時(shí)要輕裝輕卸,防止包裝及容器損壞。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。倒空的容器可能殘留有害物。儲(chǔ)存注意事項(xiàng):儲(chǔ)存于陰涼、干燥、通風(fēng)良好的庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。保持容器密封。應(yīng)與酸類分開存放,切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有合適的材料收容泄漏物。氟化氫銨運(yùn)輸危險(xiǎn)貨物編號(hào):無(wú)資料UN編號(hào):1727包裝標(biāo)志:易燃液體包裝類別:O52包裝方法:安瓿瓶外普通木箱;螺紋口玻璃瓶、鐵蓋壓口玻璃瓶、塑料瓶或金屬桶(罐)外普通木箱。防潮、密封保存。運(yùn)輸注意事項(xiàng):運(yùn)輸時(shí)運(yùn)輸車輛應(yīng)配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。夏季早晚運(yùn)輸。運(yùn)輸時(shí)所用的槽(罐)車應(yīng)有接地鏈,槽內(nèi)可設(shè)孔隔板以減少震蕩產(chǎn)生靜電。嚴(yán)禁與氧化劑等混裝混運(yùn)。運(yùn)輸途中應(yīng)防曝曬、雨淋,防高溫。中途停留時(shí)應(yīng)遠(yuǎn)離火種、熱源、高溫區(qū)。裝運(yùn)該物品的車輛排氣管必須配備阻火裝置,禁止使用易產(chǎn)生火花的機(jī)械設(shè)備和工具裝卸。工業(yè)級(jí)40%氫氟酸,找泰赫化工!
氫氟酸侵入途徑:可經(jīng)皮膚吸收,氫氟酸酸霧經(jīng)呼吸道吸入。毒理學(xué)簡(jiǎn)介:對(duì)皮膚有強(qiáng)烈刺激性和腐蝕性。氫氟酸中的氫離子對(duì)人體組織有脫水和腐蝕作用,而氟是活潑的非金屬元素之一。皮膚與氫氟酸接觸后,氟離子不斷解離而滲透到深層組織,溶解細(xì)胞膜,造成表皮、真皮、皮下組織乃至肌層液化壞死。氟離子還可干擾烯醇化酶的活性使皮膚細(xì)胞攝氧能力受到抑制。估計(jì)人攝入1.5g氫氟酸可致立即死亡。吸入高濃度的氫氟酸酸霧,引起和出血性肺水腫。氫氟酸也可經(jīng)皮膚吸收而引起嚴(yán)重中毒。氫氟酸是生產(chǎn)氟化物的重要原料,廣泛應(yīng)用于電子電器、醫(yī)藥、冶金、化工、輕工、農(nóng)藥、日用。三亞化工氫氟酸出口
氫氟酸是一種弱酸,具有極強(qiáng)的腐蝕性,能強(qiáng)烈地腐蝕金屬、玻璃和含硅的物體。東莞化工氫氟酸用途
半導(dǎo)體晶片的氫氟酸和鹽酸蒸汽處理:初始階段首先引入完全含水的載氣。這使得晶片表面在很短的時(shí)間內(nèi)經(jīng)歷高梯度的水分增加。一段時(shí)間。緊接著是無(wú)水氟化氫氣體,它不能與水蒸氣達(dá)到任何有效的均勻或平衡狀態(tài),因?yàn)樗魵獾念A(yù)先引入和氟化氫的快速終止引入產(chǎn)生了在晶片表面上從一點(diǎn)到另一點(diǎn)變化的高度反應(yīng)性組合。所得的高反應(yīng)性但不均勻的蝕刻氣體能夠具有高蝕刻速率。不幸的是,使用這種工藝的結(jié)果被證明是高度可變的,同一器件上的不均勻蝕刻是一個(gè)常見的問題,并且從一個(gè)器件到下一個(gè)器件也是不均勻的。對(duì)這種處理系統(tǒng)的接受初是熱烈的,但由于蝕刻速率不均勻問題的嚴(yán)重性,幾乎被芯片制造商放棄。不均勻性問題nlso是由被處理材料的基質(zhì)中存在的水量的變化引起的,在這種類型的處理過程中發(fā)生的高速反應(yīng)過程中,這可能對(duì)芯片表面上反應(yīng)物的有效局部濃度有非常的影響。 東莞化工氫氟酸用途
廣州市泰赫化工有限責(zé)任公司發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大,現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),各種專業(yè)設(shè)備齊全。專業(yè)的團(tuán)隊(duì)大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗(yàn),熟悉行業(yè)專業(yè)知識(shí)技能,致力于發(fā)展泰赫的品牌。公司以用心服務(wù)為重點(diǎn)價(jià)值,希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力,將貴金屬及其制品批發(fā)(不含許可類商品);化肥批發(fā);家用電器批發(fā);商品零售貿(mào)易(許可審批類商品除外);金屬表面處理劑制造(監(jiān)控化學(xué)品、危險(xiǎn)化學(xué)品除外);金屬制品批發(fā);貨物進(jìn)出口(專營(yíng)專控商品除外);技術(shù)進(jìn)出口;日用家電設(shè)備零售;涂料批發(fā);五金產(chǎn)品批發(fā);電氣設(shè)備批發(fā);辦公設(shè)備批發(fā);化學(xué)試劑和助劑銷售(監(jiān)控化學(xué)品、危險(xiǎn)化學(xué)品除外);建材、裝飾材料批發(fā);商品批發(fā)貿(mào)易(許可審批類商品除外);混凝土銷售;機(jī)械設(shè)備租賃;裝卸搬運(yùn)設(shè)備租賃;自有設(shè)備租賃(不含許可審批項(xiàng)目);化工產(chǎn)品批發(fā)(含危險(xiǎn)化學(xué)品;不含成品油、易制毒化學(xué)品);化工產(chǎn)品零售(含危險(xiǎn)化學(xué)品;不含成品油、易制毒化學(xué)品)等業(yè)務(wù)進(jìn)行到底。自公司成立以來(lái),一直秉承“以質(zhì)量求生存,以信譽(yù)求發(fā)展”的經(jīng)營(yíng)理念,始終堅(jiān)持以客戶的需求和滿意為重點(diǎn),為客戶提供良好的氫氟酸,工業(yè)硫代硫酸鈉,氟化氫銨,磷酸,從而使公司不斷發(fā)展壯大。