光掩膜概述: 光掩膜一般也稱光罩,是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形,并通過曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。光掩膜主要由兩部分組成:基板和不透光材料。 作為半導(dǎo)體、液晶顯示器制造過程中轉(zhuǎn)移電路圖形“底片”的高精密工具,光掩膜是半導(dǎo)體制程中非常關(guān)鍵的一環(huán)。 光掩膜的應(yīng)用領(lǐng)域: 光掩膜主要應(yīng)用于集成電路、平板顯示(包括 LCD、LED、OLED)、印刷電路板等領(lǐng)域,應(yīng)用較為***。 安徽專業(yè)掩膜版性價(jià)比高
光掩膜除了應(yīng)用于芯片制造外,還***的應(yīng)用與像LCD,PCB等方面。常見的光掩膜的種類有四種,鉻版(chrome)、干版,凸版、液體凸版。主要分兩個(gè)組成部分,基板和不透光材料?;逋ǔJ歉呒兌?,低反射率,低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過濺射的方法鍍在玻璃下方厚約0.1um的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小,雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠,硬度小且易吸附灰塵,不過干版還有包膜和超微顆粒干版,其中后者可以應(yīng)用于芯片制造。(順便提一下,通常講的菲林即film,底片或膠片的意思,感光為微小晶體顆粒)。湖南廠家掩膜版性價(jià)比高
光掩膜版行業(yè)的發(fā)展主要受下游平板顯示行業(yè)、觸控行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)和電路板行業(yè)的影響,與下游終端行業(yè)的發(fā)展趨勢密切相關(guān)。 在光刻掩膜版領(lǐng)域,國內(nèi)廠商與國外先進(jìn)技術(shù)存在一定差距。目前,光罩的**技術(shù)主要掌握在日本的HOYA、SKE,韓國的LG Micron、PKL以及我國中國臺灣地區(qū)的AIPC等企業(yè)手中,由于其對于光掩膜版的關(guān)鍵技術(shù)與設(shè)備進(jìn)行了較為嚴(yán)格的***,所以導(dǎo)致國內(nèi)廠商在技術(shù)上與國外專業(yè)廠商相比存在一定的差距。 未來幾年我國掩膜版行業(yè)將向大尺寸、精細(xì)化、全產(chǎn)業(yè)鏈方向發(fā)展,因此在需求持續(xù)增加的情況下,影響光掩膜行業(yè)發(fā)展的比較大因素還是技術(shù)的研究情況。
掩膜版的原材料掩膜版基板是制作微細(xì)光掩膜圖形的感光空白板。通過光刻制版工藝,將微米級和納米級的精細(xì)圖案刻制于掩膜版基板上從而制作成掩膜版。 掩膜版對下***業(yè)生產(chǎn)線的作用主要體現(xiàn)為利用掩膜版上已設(shè)計(jì)好的圖案,通過透光與非透光的方式進(jìn)行圖像(電路圖形)復(fù)制,從而實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。 公司生產(chǎn)的掩膜版產(chǎn)品根據(jù)基板材質(zhì)的不同主要可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。 產(chǎn)品主要應(yīng)用于平板顯示、半導(dǎo)體芯片、觸控、電路板等行業(yè),是下***業(yè)產(chǎn)品制程中的關(guān)鍵工具。
掩膜版的種類 透明基板 1、透明玻璃 。石英玻璃(Quartz Glass)蘇打玻璃(Soda-lime Glass)低膨脹玻璃(Low Expansion Glass) 2、透明樹脂 遮光膜 (1)硬質(zhì)遮光膜:鉻膜氧化鐵硅化鉬硅。 (2)乳膠。 掩膜版的制作方法 濺鍍法(Sputtering): (1)上平行板:裝載濺鍍金屬的靶材; 下平行板:作為濺鍍對象的玻璃基板。 (2)將氬氣(Ar 2 )通入反應(yīng)艙中形成等離子體; 氬離子(Ar + )在電場中被加速后沖撞靶材; 受沖擊的靶材原子會(huì)沉積在玻璃基板上從而形成薄膜。四川**掩膜版質(zhì)量商家
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光掩膜上游主要包括圖形設(shè)計(jì)、光掩膜設(shè)備及材料行業(yè),下游主要包括IC制造、IC封裝、平面顯示和印制線路板等行業(yè),應(yīng)用于主流消費(fèi)電子 (手機(jī)、平板、可穿戴設(shè)備)、筆記本電腦、車載電子、網(wǎng)絡(luò)通信、家用電器、LED 照明、物聯(lián)網(wǎng)、醫(yī)療電子等終端產(chǎn)品。 目前全球范圍內(nèi)光刻掩膜版主要以專業(yè)生產(chǎn)商為主。由于下游應(yīng)用領(lǐng)域廠商自建光刻掩膜版生產(chǎn)線的投入產(chǎn)出比很低,且光刻掩膜版行業(yè)具有一定的技術(shù)壁壘,所以光刻掩膜版都是由專業(yè)的生產(chǎn)商進(jìn)行生產(chǎn)。 安徽專業(yè)掩膜版性價(jià)比高
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