光伏電鍍銅設計的導電方式主要有彈片式導電舟方式、水平滾輪導電、模具掛架式、彈片重力夾具等方式。合理的導電方式對光伏電鍍銅設備非常重要是實現可量產的關鍵因素之一。優(yōu)良的導電方式可以實現設備的便捷維修和改善電鍍銅片與片之間的電鍍銅厚極差,甚至可以實現單片硅上分布電流的可監(jiān)控性。釜川以半導體生產設備、太陽能電池生產設備為主要產品,打造光伏設備一體化服務。擁有強大的科研團隊,憑借技術競爭力,在清洗制絨設備、PECVD設備、PVD設備、電鍍銅設備等方面都有獨特優(yōu)勢;以高效加工制造、快速終端交付的能力,為客戶提供整線工藝設備的交付服務。 為了實現電鍍銅,即金屬化,首先需要在 TCO 膜之后鍍一層金屬(如銅)種子層。山東光伏電池電鍍銅
相較于銀包銅+0BB/NBB工藝,電鍍銅優(yōu)勢在于可助力電池提效0.3-0.5%+,進而提高組件功率。我們預計銀包銅+0BB/NBB工藝或是短期內HJT電池量產化的主要降本路徑,隨著未來銀含量30%銀包銅漿料的導入,漿料成本有望降至約3分/W,HJT電池金屬化成本或降至5分/W左右。電鍍銅工藝有望于2023-2024年加快中試,并于2024年逐步導入量產。隨著工藝經濟性持續(xù)優(yōu)化,電鍍銅HJT電池的金屬化成本有望降至5-6分/W左右,疊加考慮0BB/NBB對應組件封裝/檢測成本提升,而電鍍銅可提升效率約0.5%+,電鍍銅優(yōu)勢逐漸強化,有望成為光伏電池無銀化的解決方案。蘇州電鍍銅技術路線HJT降低成本的主要途徑之一是電鍍銅。
電鍍銅光刻技術是指利用光學-化學反應原理和化學、物理刻蝕方法,將設計好的微圖形結構轉移到覆有感光材料的晶圓、玻璃基板、覆銅板等基材表面上的微納制造技術。光刻設備是微納制造的一種關鍵設備,在泛半導體領域,根據是否使用掩膜版,光刻技術主要分為直寫光刻與掩膜光刻,其中掩膜光刻可進一步分為接近/接觸式光刻以及投影式光刻。掩膜光刻由光源發(fā)出的光束,經掩膜版在感光材料上成像,具體可分為接近、接觸式光刻以及投影光刻。其中,投影式光刻更加先進,能夠在使用相同尺寸掩膜版的情況下獲得更小比例的圖像,從而實現更精細的成像。直寫光刻也稱無掩膜光刻,是指計算機將電路設計圖形轉換為機器可識別的圖形數據,并由計算機控制光束調制器實現圖形的實時顯示,再通過光學成像系統(tǒng)將圖形光束聚焦成像至已涂覆感光材料的基板表面上,直接進行掃描曝光。直寫光刻既具有投影光刻的技術特點,如投影成像技術、雙臺面技術、步進式掃描曝光等,又具有投影光刻不具備的高靈活性、低成本以及縮短工藝流程等技術特點。
銅電鍍整線就解決方案設備流程:種子層沉積—圖形化—電鍍—后處理,光伏電鍍銅工藝流程主要包括種子層沉積、圖形化、電鍍及后處理四大環(huán)節(jié),目前各環(huán)節(jié)技術路線不一,多種組合工藝方案 并行,需要綜合性能、成本來選擇合適的工藝路線。釜川(無錫)智能科技有限公司,以半導體生產設備、太陽能電池生產設備為主要產品,打造光伏設備一體化服務。擁有強大的科研團隊,憑借技術競爭力,在清洗制絨設備、PECVD設備、PVD設備、電鍍銅設備等方面都有獨特優(yōu)勢;以高效加工制造、快速終端交付的能力,為客戶提供整線工藝設備的交付服務。電鍍銅路線的第一步是種子層的制備,用來增加電鍍銅與TCO層之間 的附著力。
異質結電鍍銅的主要工序:前面的兩道工藝制絨和PVD濺射。增加的工藝是用曝光機替代絲網印刷機和烤箱。具體分為圖形化和金屬化兩個環(huán)節(jié):(1)金屬化:首先完成銅的沉積(電鍍銅),然后使用不同的抗氧化方法進行處理(電鍍鋅或使用抗氧化劑制作保護層)。去掉之前的掩膜、銅種子層,露出原本的ITO。然后做表面處理,比如文字、標簽或者組裝玻璃,這是一整道工序,即完成銅電鍍的所有過程。(2)圖形化:先使用PVD設備做一層銅的種子層,然后使用油墨印刷機(掩膜一體機)的濕膜法制作掩膜。在經過掩膜一體機的印刷、烘干、曝光處理后,在感光膠或光刻膠上的圖形可以通過顯影的方法顯現出來,即圖形化工藝。電鍍銅工藝圖形化:光刻路線和激光路線并行。杭州異質結電鍍銅工藝
電鍍銅可以增強金屬的導電性和導熱性,使其在電子和建筑領域中具有更好的性能。山東光伏電池電鍍銅
電鍍銅圖形化環(huán)節(jié)主要包含掩膜、曝光、顯影幾個步驟。其中,掩膜環(huán)節(jié)是將抗刻蝕的感光材料涂覆在電池表面以遮蓋保護不需要被電鍍的區(qū)域,感光材料主要有濕膜油墨、干膜材料等。曝光、顯影環(huán)節(jié)是將圖形轉移至感光材料上,主要技術有LDI激光直寫光刻(無需掩膜)、常規(guī)掩膜光刻技術、激光開槽、噴墨打印等;其中無需掩膜的LDI激光直寫光刻技術應用潛力較大,激光開槽在BC類電池上已有量產應用,整體看圖形化技術路線有望逐步明確和定型。山東光伏電池電鍍銅