電鍍銅設備工序包括種子層制備、圖形化、電鍍?nèi)蟓h(huán)節(jié),涌現(xiàn)多種設備方案。電鍍銅 工藝尚未定型,各環(huán)節(jié)技術(shù)方案包括(1)種子層:設備主要采用 PVD,主要技術(shù)分歧 在于是否制備種子層、制備整面/局部種子層和種子層金屬選用;(2)圖形化:感光材料 分為干膜和油墨,主要技術(shù)分歧在于曝光顯影環(huán)節(jié)選用掩膜類光刻/LDI 激光直寫/激光 開槽;(3)電鍍:主要技術(shù)分歧在于水平鍍/垂直鍍/光誘導電鍍。釜川(無錫)智能科技有限公司,以半導體生產(chǎn)設備、太陽能電池生產(chǎn)設備為主要產(chǎn)品,打造光伏設備一體化服務。擁有強大的科研團隊,憑借技術(shù)競爭力,在清洗制絨設備、PECVD設備、PVD設備、電鍍銅設備等方面都有獨特優(yōu)勢;以高效加工制造、快速終端交付的能力,為客戶提供整線工藝設備的交付服務。 光伏電鍍銅設計的導電方式主要有彈片重力夾具等方式。江蘇光伏電鍍銅設備價格
全新的電鍍銅工藝旨在進一步針對低成本電池的需求,光伏銅電鍍技術(shù)采用金屬銅完全代替銀漿作為柵線電極,實現(xiàn)整片電池的工藝轉(zhuǎn)換,打破瓶頸,創(chuàng)新行業(yè)發(fā)展。光伏電鍍銅設計的導電方式主要有彈片式導電舟方式、水平滾輪導電、模具掛架式、彈片重力夾具等方式。合理的導電方式對光伏電鍍銅設備非常重要是實現(xiàn)可量產(chǎn)的關(guān)鍵因素之一。優(yōu)良的導電方式可以實現(xiàn)設備的便捷維修和改善電鍍銅片與片之間的電鍍銅厚極差,甚至可以實現(xiàn)單片硅上分布電流的可監(jiān)控性。 異質(zhì)結(jié)電鍍銅設備報價 光伏電鍍銅設計的導電方式主要有模具掛架式方式。
電鍍銅光刻技術(shù)是指利用光學-化學反應原理和化學、物理刻蝕方法,將設計好的微圖形結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到覆有感光材料的晶圓、玻璃基板、覆銅板等基材表面上的微納制造技術(shù)。光刻設備是微納制造的一種關(guān)鍵設備,在泛半導體領(lǐng)域,根據(jù)是否使用掩膜版,光刻技術(shù)主要分為直寫光刻與掩膜光刻,其中掩膜光刻可進一步分為接近/接觸式光刻以及投影式光刻。掩膜光刻由光源發(fā)出的光束,經(jīng)掩膜版在感光材料上成像,具體可分為接近、接觸式光刻以及投影光刻。其中,投影式光刻更加先進,能夠在使用相同尺寸掩膜版的情況下獲得更小比例的圖像,從而實現(xiàn)更精細的成像。直寫光刻也稱無掩膜光刻,是指計算機將電路設計圖形轉(zhuǎn)換為機器可識別的圖形數(shù)據(jù),并由計算機控制光束調(diào)制器實現(xiàn)圖形的實時顯示,再通過光學成像系統(tǒng)將圖形光束聚焦成像至已涂覆感光材料的基板表面上,直接進行掃描曝光。直寫光刻既具有投影光刻的技術(shù)特點,如投影成像技術(shù)、雙臺面技術(shù)、步進式掃描曝光等,又具有投影光刻不具備的高靈活性、低成本以及縮短工藝流程等技術(shù)特點。
電鍍銅圖形化環(huán)節(jié)主要包含掩膜、曝光、顯影幾個步驟。其中,掩膜環(huán)節(jié)是將抗刻蝕的感光材料涂覆在電池表面以遮蓋保護不需要被電鍍的區(qū)域,感光材料主要有濕膜油墨、干膜材料等。曝光、顯影環(huán)節(jié)是將圖形轉(zhuǎn)移至感光材料上,主要技術(shù)有LDI激光直寫光刻(無需掩膜)、常規(guī)掩膜光刻技術(shù)、激光開槽、噴墨打印等;其中無需掩膜的LDI激光直寫光刻技術(shù)應用潛力較大,激光開槽在BC類電池上已有量產(chǎn)應用,整體看圖形化技術(shù)路線有望逐步明確和定型。電鍍銅工藝簡單,易于操作和維護,可以在短時間內(nèi)完成高質(zhì)量的表面處理。
電鍍銅的電流效率是指在電鍍過程中,實際沉積在工件表面的銅質(zhì)量與理論上應沉積的銅質(zhì)量之比。電流效率的計算公式為:電流效率=實際沉積銅質(zhì)量/理論沉積銅質(zhì)量×100%其中,實際沉積銅質(zhì)量可以通過稱量電鍍前后工件的重量差來計算,而理論沉積銅質(zhì)量則可以通過法拉第電解定律來計算。法拉第電解定律表明,在相同的電流密度下,電解質(zhì)量與電流時間成正比,與電解液中離子濃度成正比。因此,在電鍍銅的過程中,需要控制電流密度和電解液中銅離子的濃度,以提高電流效率。同時,還需要注意電鍍過程中的溫度、攪拌速度、PH值等因素,以保證電鍍質(zhì)量的穩(wěn)定性和一致性。光伏電鍍銅量產(chǎn),加速HJT降本放量。鄭州HJT電鍍銅設備價格
光伏應用電鍍銅技術(shù)應用的前景展望。江蘇光伏電鍍銅設備價格
電鍍銅各環(huán)節(jié)技術(shù)方案包括(1)種子層:設備主要采用 PVD,主要技術(shù)分歧 在于是否制備種子層、制備整面/局部種子層和種子層金屬選用;(2)圖形化:感光材料 分為干膜和油墨,主要技術(shù)分歧在于曝光顯影環(huán)節(jié)選用掩膜類光刻/LDI 激光直寫/激光 開槽;(3)電鍍:主要技術(shù)分歧在于水平鍍/垂直鍍/光誘導電鍍。釜川(無錫)智能科技有限公司,以半導體生產(chǎn)設備、太陽能電池生產(chǎn)設備為主要產(chǎn)品,打造光伏設備一體化服務。擁有強大的科研團隊,憑借技術(shù)競爭力,在清洗制絨設備、PECVD設備、PVD設備、電鍍銅設備等方面都有獨特優(yōu)勢;以高效加工制造、快速終端交付的能力,為客戶提供整線工藝設備的交付服務。江蘇光伏電鍍銅設備價格