HJT電池TCO薄膜的方法主要有兩種：RPD（特指空心陰極離子鍍)和PVD(特指磁控濺射鍍膜)；l該工藝主要是在電池正背面上沉積一層透明導電膜層，通過該層薄膜實現(xiàn)導電、減反射、保護非晶硅薄膜的作用，同時可以有效地增加載流子的收集；l目前常用于HJT電池TCO薄膜為In2O3系列，如ITO（錫摻雜In2O3，@PVD濺射法）、IWO（鎢摻雜In2O3，@RPD方法沉積）等。HJT電池具備光電轉(zhuǎn)化效率提升潛力高、更大的降成本空間。零界高效異質(zhì)結(jié)電池整線解決方案，實現(xiàn)設(shè)備國產(chǎn)化，高效高產(chǎn)PVD DD CVD。HJT電池的技術(shù)創(chuàng)新不斷推動著產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，未來有望實現(xiàn)更高效、更環(huán)保的能源轉(zhuǎn)換技術(shù)。深圳高效HJT技術(shù)

“零界”高效異質(zhì)結(jié)電池整線制造解決方案已實現(xiàn)設(shè)備國產(chǎn)化，該解決方案疊加了雙面微晶、無銀或低銀金屬化工藝，提升了太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率、良率和產(chǎn)能，并極大降低了生產(chǎn)成本。釜川以半導體生產(chǎn)設(shè)備、太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備為主要產(chǎn)品，打造光伏設(shè)備一體化服務(wù)。擁有強大的科研團隊，憑借技術(shù)競爭力，在清洗制絨設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、電鍍銅設(shè)備等方面的有獨特優(yōu)勢；以高效加工制造、快速終端交付的能力，為客戶提供整線工藝設(shè)備的交付服務(wù)。深圳自動化HJT電池板塊HJT電池的結(jié)構(gòu)采用兩片薄晶硅片中間夾著一層N型半導體作為基底，這種結(jié)構(gòu)可以增加光的吸收和利用率。

HJT電池工藝 1.清洗制絨。通過腐蝕去除表面損傷層，并且在表面進行制絨，以形成絨面結(jié)構(gòu)達到陷光效果，減少反射損失；2.正面/背面非晶硅薄膜沉積。通過CVD方式在正面/背面分別沉積5~10nm的本征a-Si:H，作為鈍化層，然后再沉積摻雜層；3.正面/背面TCO沉積。通過PVD在鈍化層上面進行TCO薄膜沉積；4.柵線電極。通過絲網(wǎng)印刷進行柵線電極制作；5.烘烤(退火)。通過絲網(wǎng)印刷進行正面柵線電極制作，然后通過低溫燒結(jié)形成良好的接觸；6.光注入。7.電池測試及分選。

HJT異質(zhì)結(jié)（Heterojunction with Intrinsic Thin-layer，HJT）電池為對稱的雙面結(jié)構(gòu)，主要由 N 型單晶硅片襯底、正面和背面的本征/摻雜非晶硅薄膜層（包括 N 型非晶硅薄膜 n-a-Si:H、本征非晶硅薄膜 i-a-Si:H 和 P 型非晶硅薄膜 p-a-Si:H）、雙面的透明導電氧化薄膜(TCO) 層和金屬電極構(gòu)成。其中，本征非晶硅層起到表面鈍化作用，P型摻雜非晶硅層為發(fā)射層，N 型摻雜非晶硅層起到背場作用。HJT是很有潛力優(yōu)勢的技術(shù)，在將來HJT電池與鈣鈦礦技術(shù)進行復合疊層，突破轉(zhuǎn)換效率30%成為可能。釜川高效HJT電池濕法金屬化設(shè)備采用無銀或低銀工藝。

HJT（Heterojunction with Intrinsic Thin Layer）是一種新型的太陽能電池技術(shù)，相比于傳統(tǒng)的晶體硅太陽能電池，HJT具有更高的轉(zhuǎn)換效率和更低的溫度系數(shù)。在壽命和可靠性方面，HJT也有一定的優(yōu)勢。首先，HJT的壽命較長。由于HJT采用了多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)，可以有效地減少電池的光衰減和熱衰減，從而延長電池的使用壽命。此外，HJT電池的材料和工藝也比較成熟，可以保證電池的穩(wěn)定性和可靠性。其次，HJT的可靠性較高。HJT電池的結(jié)構(gòu)簡單，沒有PN結(jié)，因此不會出現(xiàn)PN結(jié)老化和漏電等問題。同時，HJT電池的溫度系數(shù)較低，可以在高溫環(huán)境下保持較高的轉(zhuǎn)換效率，不會因為溫度變化而影響電池的性能?？偟膩碚f，HJT電池具有較長的壽命和較高的可靠性，這也是其在太陽能電池領(lǐng)域備受關(guān)注的原因之一。但是，HJT電池的成本較高，還需要進一步的技術(shù)改進和成本降低才能在市場上得到廣泛應(yīng)用。HJT電池是高效晶體硅電池的一種，具有高效率、低衰減、耐高溫等優(yōu)點。山東硅HJT技術(shù)

HJT電池是未來光伏產(chǎn)業(yè)的重要發(fā)展方向之一，具有廣闊的市場前景。深圳高效HJT技術(shù)

HJT電池轉(zhuǎn)換效率高，拓展?jié)摿Υ?，工藝簡單并且降本路線清晰，契合了光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的規(guī)律，是有潛力的下一代電池技術(shù)。 HJT裝備與材料：包含制絨清洗設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、金屬化設(shè)備等。 電鍍銅設(shè)備：采用金屬銅完全代替銀漿作為柵線電極，具備低成本、高效率等優(yōu)勢。 異質(zhì)結(jié)電池整線解決方案：釜川自主研發(fā)的“零界”高效異質(zhì)結(jié)電池整線制造解決方案已實現(xiàn)設(shè)備國產(chǎn)化,該解決方案疊加了雙面微晶、無銀或低銀金屬化工藝，提升了太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率、良率和產(chǎn)能，并降低了生產(chǎn)成本。深圳高效HJT技術(shù)