CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)工藝中磨料顆粒的高精度粒徑表征隨著半導(dǎo)體工業(yè)飛速發(fā)展，電子器件尺寸縮小，要求晶片表面平整度達(dá)到納米級(jí)。CMP工藝作為芯片制造業(yè)不可或缺的一個(gè)部分，其對(duì)于磨料的顆粒粒度表征要求十分重要。CMP過(guò)程中使用的磨料顆粒典型尺寸范圍是10-200nm，其顆粒表征要求精確地確定納米級(jí)顆粒的尺寸，因此高分辨率納米粒度分析儀是磨料顆粒表征的完美解決方案。磨料對(duì)CMP工藝起著至關(guān)重要的作用！歡迎選用CPS納米粒度分析儀為您完美解決磨料顆粒問(wèn)題！馳光機(jī)電具備雄厚的實(shí)力和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。重慶高精度納米粒度分析儀

激光檢測(cè)器同時(shí)檢測(cè)顆粒對(duì)光的散射程度，根據(jù)米氏散射理論，得出不同尺寸顆粒的相對(duì)含量，從而得到顆粒粒徑的分布曲線。主要參數(shù)：測(cè)量范圍：0.005-75μm，光源：405nmLED，旋轉(zhuǎn)速度：12.000RPM、18.000RPM、24.000RPM，標(biāo)準(zhǔn)分析圓盤：CR-39聚合物（耐有機(jī)溶劑和水溶液），可選 配：低密度樣品分析擴(kuò)展、變速圓盤；自動(dòng)密度梯度液生成器（型號(hào)AG300）；自動(dòng)進(jìn)樣器（型號(hào)AS200）；標(biāo)定用標(biāo)準(zhǔn)顆粒。半導(dǎo)體CMP用拋光墊、清洗液、修整盤、拋光液、納米研磨粒子以及OLED顯示光敏聚酰亞胺、封裝墨水、低溫光阻材料等20余款“卡脖子”材料。福建CPS高精度納米粒度分析儀哪家好馳光機(jī)電銳意進(jìn)取，持續(xù)創(chuàng)新為各行各業(yè)提供專業(yè)化服務(wù)。

使用CPS分析儀平行測(cè)定3次高純氧化鋁粉得到的疊加圖，表明儀器的重復(fù)性較好，樣品的粒徑為0.586微米。分析氧化鋁粉末時(shí)，為防止樣品發(fā)生凝聚，需要添加入少量的乙酸。氧化鋅ZnO粉末：氧化鋅俗稱鋅白，是鋅的一種氧化物。氧化鋅是一種常用的化學(xué)添加劑，大量地應(yīng)用于塑料、硅酸鹽制品、合成橡膠、潤(rùn)滑油、油漆涂料、藥膏、粘合劑、食品、電池、阻燃劑等產(chǎn)品的制作中。氧化鋅的能帶隙和激子束縛能較大，透明度高，有優(yōu)良的常溫發(fā)光性能，在半導(dǎo)體領(lǐng)域的液晶顯示器、薄膜晶體管、發(fā)光二極管等產(chǎn)品中均有應(yīng)用。

CMP漿料粒度分析的難點(diǎn)在于必須在拋光過(guò)程中全濃度條件下快速測(cè)定平均顆粒直徑和粒度分布，因?yàn)橄♂尶赡軐?dǎo)致漿料穩(wěn)定性和粒度的變化(比如進(jìn)一步的團(tuán)聚或解聚)，另外在稀釋后的漿料中很難檢測(cè)本來(lái)就較少量的團(tuán)聚體。CPS-24000型納米粒度分析儀是較新型的納米粒度分析儀，它采用斯托克斯定律分析方法，V=D2(ρP-ρF)G/18η，即顆粒沉降的速度與顆粒的尺寸平方成正比來(lái)進(jìn)行粒度的測(cè)量，因此粒徑相差小至1%的顆粒都可以明顯分辨出來(lái)。適用于稀到高濃度的樣品粒度測(cè)定，對(duì)團(tuán)聚體的存在非常敏感。馳光機(jī)電以顧客為本，誠(chéng)信服務(wù)為經(jīng)營(yíng)理念。

CPS納米粒度分析儀樣本分散系統(tǒng)：自動(dòng)液體循環(huán)、干粉分散器、粉料送樣器、溫度控制器、氣溶膠控制器。粒度儀的較佳選擇：EyeTech可以提供顆粒系統(tǒng)粒徑、形狀和濃度等方面的總體信息。具有多樣化的功能，可以：監(jiān)測(cè)動(dòng)力學(xué)過(guò)程；提供標(biāo)準(zhǔn)的體積和數(shù)量分布的結(jié)果。激光和圖像通道的結(jié)合：對(duì)球形、非球形及細(xì)長(zhǎng)顆粒的精確定性分析；可同時(shí)測(cè)量粒徑、粒形和濃度；多種模塊配置可滿足不同類型的干法及濕法檢測(cè)需求；測(cè)量過(guò)程中可實(shí)時(shí)觀察樣品顆粒。馳光機(jī)電科技有限公司具有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)力量過(guò)硬的專業(yè)技術(shù)人才管理團(tuán)隊(duì)。貴州激光粒度粒形分析儀價(jià)格

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應(yīng)用實(shí)例：測(cè)量高純氧化鋁粉。一般來(lái)說(shuō)，含量大于99%的氧化鋁稱為高純氧化鋁，其特性有耐化學(xué)腐蝕、耐高溫(正常使用在1600℃，短期1800℃)、耐驟冷驟熱、密度高等。99.995%高純氧化鋁粉主要用于LED人造藍(lán)寶石晶體、高級(jí)陶瓷、PDP熒光粉及其他高性能材料；99.99%高純氧化鋁粉用于高壓鈉燈、新型發(fā)光材料、特殊陶瓷、高級(jí)涂層、三基色、催化劑及其他高性能材料。粒度是高純氧化鋁粉產(chǎn)品的重要指標(biāo)，CPS納米粒度分析儀能給您帶來(lái)確切穩(wěn)定的測(cè)量結(jié)果。使用CPS分析儀平行測(cè)定3次高純氧化鋁粉得到的疊加圖。重慶高精度納米粒度分析儀

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