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來源: 發(fā)布時間:2025-02-05

在集成電路制造這一高精密的領域中,芯片生產(chǎn)線上的光刻工序堪稱關鍵的環(huán)節(jié),其對溫濕度的要求近乎達到苛刻的程度。即便是極其微小的 1℃溫度波動,都可能引發(fā)嚴重后果。光刻機內部的光學鏡片會因熱脹冷縮,致使光路發(fā)生細微偏移。這看似毫厘之差,卻足以讓光刻圖案精度嚴重受損,使得芯片上的電路布線出現(xiàn)偏差,甚至短路等問題,進而大幅拉低芯片的良品率。而在濕度方面,一旦濕度突破 50% 的警戒線,光刻膠便極易受潮,其感光度發(fā)生改變,導致曝光效果大打折扣,無疑同樣對芯片質量產(chǎn)生不可忽視的負面影響。精密環(huán)境控制設備依托自主研發(fā)的高精密控溫技術,實現(xiàn)了 0.1% 的超高輸出精度。遼寧恒溫恒濕廠家

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在 3D 打印行業(yè)蓬勃發(fā)展的當下,溫濕度成為左右打印質量的關鍵因素。在打印過程中,一旦環(huán)境溫度出現(xiàn)較大幅度的波動,用于成型的光敏樹脂或熱熔性材料便會受到直接沖擊。材料的固化速率、流動性不再穩(wěn)定,這會直接反映在打印模型上,導致模型出現(xiàn)層紋,嚴重時發(fā)生變形,甚至產(chǎn)生開裂等嚴重缺陷。而當濕度偏高,材料極易吸濕。在打印過程中,這些吸收的水分轉化為氣泡,悄然隱匿于模型內部或浮現(xiàn)于表面,極大地破壞模型的結構完整性,使其表面質量大打折扣,影響 3D 打印產(chǎn)品在工業(yè)設計、醫(yī)療模型等諸多領域的實際應用。矢量網(wǎng)絡分析儀恒溫恒濕設計針對設備運維,系統(tǒng)實時同步記錄運行、故障狀態(tài),快速查詢回溯,定位問題根源。

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精密環(huán)控柜主要由設備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成,為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設備內部通過風機引導氣流以一定的方向循環(huán),控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理,從而使柜內的溫濕度達到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級,溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來,已為相關領域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務,獲得了眾多好評。

在精密機械加工領域,高精度數(shù)控機床是加工航空發(fā)動機葉片等關鍵零部件的重要裝備,其加工精度直接影響航空發(fā)動機性能。溫濕度波動對加工過程影響明顯。若溫度不穩(wěn)定,機床的主軸、導軌等關鍵部件會因熱脹冷縮產(chǎn)生熱變形,導致刀具切削路徑偏離預設軌跡,加工出的葉片曲面精度無法達到設計標準,進而影響發(fā)動機性能。當車間濕度升高,金屬切削刀具容易生銹,刀具使用壽命縮短,且加工表面粗糙度增加,難以滿足精密零件對表面質量的嚴格要求 。根據(jù)高精密行業(yè)用戶的反饋,對產(chǎn)品進行持續(xù)優(yōu)化,不斷提升設備的適用性和穩(wěn)定性。

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在精密模具制造這一精益求精的領域,溫濕度控制是保障產(chǎn)品質量的關鍵要素。模具型腔對精度有著嚴苛要求,這就決定了整個加工過程必須維持高度穩(wěn)定。一旦溫度出現(xiàn)波動,模具鋼材料會因熱脹冷縮而發(fā)生細微形變,直接影響型腔尺寸精度。這在注塑成型環(huán)節(jié)影響尤甚,極有可能導致塑料制品出現(xiàn)尺寸偏差、飛邊等明顯缺陷。而當濕度異常時,潮濕空氣就像隱藏的 “破壞者”,悄無聲息地侵蝕模具表面,致使模具生銹、腐蝕。這不僅大幅降低模具的使用壽命,還會增加生產(chǎn)成本,對模具在汽車、家電等眾多行業(yè)的應用效果產(chǎn)生負面影響,阻礙相關產(chǎn)業(yè)的高質量發(fā)展。溫度傳感器的精度能達到±0.005℃以內,濕度傳感器精度達到±1% RH 以內,能夠感知環(huán)境參數(shù)的變化。實驗室恒溫恒濕試驗箱

在芯片、半導體、精密加工、精密測量等領域,利用其溫濕度控制,保證生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定。遼寧恒溫恒濕廠家

我司自主研發(fā)的高精密控溫技術,控制輸出精度達 0.1%,能精細掌控溫度變化。溫度波動控制可選 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多檔,滿足嚴苛溫度需求。該系統(tǒng)潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異,可達百級、十級、一級。關鍵區(qū)域靜態(tài)溫度穩(wěn)定性 ±5mK,內部溫度均勻性小于 16mK/m,為芯片研發(fā)等敏感項目營造理想溫場,保障實驗數(shù)據(jù)不受溫度干擾。濕度方面,8 小時內穩(wěn)定性可達 ±0.5%;壓力穩(wěn)定性為 +/-3Pa,設備還能連續(xù)穩(wěn)定工作 144 小時,助力長時間實驗與制造。在潔凈度上,工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,既確保實驗結果準確可靠,又保障精密儀器正常工作與使用壽命,推動科研與生產(chǎn)進步。遼寧恒溫恒濕廠家