從圖3所示的成像光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖可看出，在整個(gè)物面并不垂直于光軸時(shí)，經(jīng)過(guò)系統(tǒng)成像以后得到的像面也不垂直于光軸，與光軸存在一定的夾角β，設(shè)計(jì)的lastβ優(yōu)化值取為60.4628°，此時(shí)像面上可得到比較理想的光斑分布。在工作范圍內(nèi)不同視場(chǎng)的散射光均能很好地成像于探測(cè)器。在圖4中可看到不同視場(chǎng)的成像光斑形狀，此點(diǎn)列圖表明成像光斑分布均勻，但還存在一定的剩余像差，主要為球差，光斑大小可見(jiàn)表2，光斑直徑在20μm左右。同時(shí)根據(jù)設(shè)計(jì)結(jié)果可得像距為33.092mm，經(jīng)計(jì)算tanα/tanβ=0.6137，di/do=0.6145，此物鏡設(shè)計(jì)基本滿足于Scheimpflug理想成像條件。激光位移傳感的工作原理是什么？激光位移傳感器貨真價(jià)實(shí)

在圖1所示的實(shí)施例中，成像物鏡6包含以下兩種結(jié)構(gòu)形式：(形式一)成像物鏡6為物側(cè)面和像側(cè)面都為非球面的單一非球面鏡片，(形式二)成像物鏡6是由多個(gè)鏡片組合而成的透鏡組。綜上所述，本發(fā)明在激光位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，利用增加像散，在感光元件的感光單元沿著S方向排列的情況下，拉高成像物鏡S方向的MTF值同時(shí)降低T方向上的MTF值，使得線陣感光元件上的光斑呈現(xiàn)長(zhǎng)條狀態(tài)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)以下技術(shù)效果：降低激光位移傳感器中成像物鏡的設(shè)計(jì)難度，同時(shí)降低了設(shè)備的成本；浦東新區(qū)激光位移傳感器按需定制它具有高精度、高靈敏度和快速響應(yīng)的特點(diǎn)，適用于各種應(yīng)用領(lǐng)域。

針對(duì)相關(guān)技術(shù)中的問(wèn)題，本發(fā)明提出一種激光位移傳感器，能夠在不影響測(cè)量精度的情況下，降低成像物鏡的設(shè)計(jì)難度，同時(shí)讓測(cè)量系統(tǒng)能夠更有效地應(yīng)對(duì)振動(dòng)、機(jī)械變形等不良影響。根據(jù)本發(fā)明，提供了一種激光位移傳感器。根據(jù)本發(fā)明的激光位移傳感器包括激光器、成像物鏡以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件。其中，在對(duì)成像物鏡和感光元件CN1 06855391B3進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí)，解析結(jié)果滿足以下條件：[0011]在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值。進(jìn)一步地，在進(jìn)行解析時(shí)，空間頻率為62.5lp/mm，如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较?，則MTFS＞MTFT×10；如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较?，則MTFT＞MTFS×10。[0015]可選地，空間頻率為62.5lp/mm，如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较?，則MTFS≥0.5，MTFT＜0.05；如果多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较?，則MTFT≥0.5，MTFS＜0.05。

通過(guò)將反光元件設(shè)置在成像物鏡與感光元件之間，能夠減小激光位移傳感器的設(shè)備體積，便于激光位移傳感器的使用和安裝；通過(guò)采用線陣感光元件，能夠降低激光位移傳感器的成本；另外，由于線陣感光元件的多個(gè)感光單元沿著直線排列，所以在該直線的延伸方向上的MTF值拉高而將與該直線垂直方向上的MTF值降低，并不會(huì)影響測(cè)量精度，還能夠讓光斑更加容易地被線陣感光元件所接收；通過(guò)采用帶通濾光片，能夠?yàn)V除或降低雜散光，避免激光位移傳感器收到干擾，保證測(cè)量的準(zhǔn)確度。這種傳感器具有較高的穩(wěn)定性和可靠性，能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定地工作。

通過(guò)所述控制面板14設(shè)置所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11伸縮至特定的距離，打開(kāi)所述激光位移傳感器4，使得所述激光位移傳感器4的激光照射在所述激光紅外線接收擋板5的接收面上，記錄所述激光位移傳感器4至所述激光紅外線接收擋板5的距離；旋轉(zhuǎn)所述位移調(diào)節(jié)把手212使得所述橫向蝸桿211橫向位移，記錄所述電子千分表221的位移數(shù)據(jù)，記錄此時(shí)所述激光位移傳感器4至所述激光紅外線接收擋板5的距離，通過(guò)比較所述激光位移傳感器4前后兩次測(cè)量的距離差與所述電子千分表221的位移數(shù)據(jù)，計(jì)算所述激光位移傳感器4的誤差；調(diào)節(jié)所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11的伸縮距離，重復(fù)以上測(cè)量，以減少測(cè)量誤差。高精度激光位移傳感器的響應(yīng)速度非?？欤軌?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)目標(biāo)物體的位移變化。寧波激光位移傳感器廠家現(xiàn)貨

非接觸式位移傳感器的出現(xiàn)推動(dòng)了現(xiàn)有技術(shù)的適應(yīng)，以滿足新的測(cè)量要求并提高測(cè)量的準(zhǔn)確性和分辨率。激光位移傳感器貨真價(jià)實(shí)

針對(duì)目前國(guó)內(nèi)自主研制的激光位移傳感器精度低，測(cè)量范圍小等問(wèn)題，提出了一種采用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件預(yù)先仿真整個(gè)激光位移傳感器光學(xué)系統(tǒng)的方法。在分析系統(tǒng)各部分的光學(xué)特性的基礎(chǔ)上，結(jié)合具體要求設(shè)計(jì)了一個(gè)激光位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng)，其工作范圍為（50±10）mm。采用系統(tǒng)分割的方法，將整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)分為兩部分進(jìn)行設(shè)計(jì)，No.1部分是激光束的整形透鏡，要求在有效的工作范圍內(nèi)得到小而均勻的出射光斑，設(shè)計(jì)結(jié)果表明，在測(cè)量范圍內(nèi)，光斑大小能夠控 制在10-1mm量級(jí)；另一部分是被測(cè)面散射光接收的成像物鏡，該系統(tǒng)的特點(diǎn)是物面和像面相對(duì)于光軸都有一定的角度，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明其成像滿足Scheimpflug條件。  激光位移傳感器貨真價(jià)實(shí)