當光線射到半透半反膜上時，一部分光線進行透射到下三棱鏡上，一部分光線進行反射，反射到背向所述反光鏡的一面，在上三棱鏡背向所述反光鏡的一面上進行涂黑處理從而成為啞光面，當光被半透半反光學鏡反射到啞光面上時，被啞光面吸收，因此可以減少整個系統(tǒng)的雜散光，提高信噪比。由于半透半反膜的厚度很小，因此射到下三棱鏡上的折射光線的偏移量小，因此可認為，多色光從下三棱鏡射出時，基本不發(fā)生位置偏移，從下三棱鏡上射出的光線的光軸與從入射光線的出光端射出的光軸重合。這樣實現(xiàn)所有多色光的波長共光軸，而且不發(fā)生光軸偏移，有利于后續(xù)對多色光進行色散和聚焦。光譜共焦位移傳感器需要專門的光譜共焦顯微鏡來實現(xiàn)測量。蘇州光譜共焦位移傳感器推薦廠家
通過配置線傳感器和光學系統(tǒng)等以使得測量對象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點測量。多個光學頭可以是2個光學頭或者3個光學頭。利用本技術,可以使用少量的組件來執(zhí)行2個或3個點的同時測量。根據(jù)本發(fā)明的實施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個光束。通過多個光學頭中的各光學頭,將所射出的多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點反射的測量光。使從多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束。基于線傳感器的多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來執(zhí)行多點測量。應當注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說明書中的任何效果。防護光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況，對于研究材料的力學性能具有重要意義。
位于沉孔的開口端，通過粘接固定設置有透光鏡，透光鏡為玻璃材質或塑料材質，透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡，平面透光鏡的設置可以對導光光纖的出光端進行保護，本實施例中推薦凹透鏡，凹透鏡可以將導光光纖從發(fā)光件傳導過來的光發(fā)散傳導到探頭外，使光的指示范圍更廣，更有利于使用者觀察。探頭殼體設置為兩部分，包括有上殼體和下殼體，上殼體和下殼體均為圓柱形，上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實現(xiàn)可拆卸連接，導光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上；而探頭的其他精密光學部件設置在下殼體上，這樣導光光纖傳導從發(fā)光件發(fā)出來的光時，不可避免的會產(chǎn)生熱量，通過上殼體與下殼體的分開設置，從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產(chǎn)生配合間隙，導光光纖的熱量大部分會傳導到上殼體上，上殼體與下殼體的配合間隙會抵消上殼體因受熱而產(chǎn)生的形變量，從而減少產(chǎn)生的熱量對下殼體及對下殼體中的高精度元件的影響，提高探頭精度。
這樣，通過棱鏡組對接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進行色散，色散后的光通過聚焦透鏡組進行聚焦，使焦點位于感光元件上，通過感光元件與控制電路電性連接，從而實現(xiàn)電信號輸出，即對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過波光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實現(xiàn)使用光譜共焦原理測量位移的過程。本實施例采用棱鏡組進行色散，具有較小的光能量損失。光譜共焦技術可以消除光學像差和色差的影響，提高測量精度。
本實用新型提供一種光譜共焦位移傳感器，包括光源耦合器，入射光纖，光譜共焦位移傳感探頭，接收光纖，光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。1.一種光譜共焦位移傳感器，其特征在于，包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光；入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光；光譜共焦位移傳感探頭，所述光譜共焦位移傳感探頭固定連接在所述入射光纖的出光端，所述光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光纖傳導的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦，并對被測物體的反射光進行傳導；光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術，具有廣泛的應用前景。如何選光譜共焦位移傳感器量大從優(yōu)
該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學、半導體制造等領域的精密測量。蘇州光譜共焦位移傳感器推薦廠家
根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的,以及所述光學系統(tǒng)是在使用所述預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且所述光學系統(tǒng)包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。根據(jù)權利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應。蘇州光譜共焦位移傳感器推薦廠家