在激光位移傳感器中,激光束通過調(diào)整音叉透過高速上下移動(dòng)的物鏡,在受測(cè)對(duì)象物上聚集為一焦點(diǎn),同時(shí)反射光也會(huì)在小孔位置合集為一點(diǎn),并使受光元件受光,通過測(cè)定物鏡的具體的位置,從而準(zhǔn)確地測(cè)定目標(biāo)物離參考位置的距離,并不受材質(zhì)、顏色或傾斜度的影響。圖4為感測(cè)頭的焦點(diǎn)分別為對(duì)準(zhǔn)和沒有對(duì)準(zhǔn)對(duì)象物時(shí)的情況。上位機(jī)與激光位移傳感器中的控制器之間通過RS 232串行口進(jìn)行通信,串口信號(hào)格式為:COMl口、波特率9 600、無奇偶校驗(yàn)、8位數(shù)據(jù)位、1位停止位,也可以通過手柄控制激光位移傳感器中的控制器采集數(shù)據(jù)。激光位移傳感的工作原理是什么?珠海激光位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求
值得一提的是,針對(duì)成像物鏡6和感光元件7所組成的成像系統(tǒng),拉高S方向的MTF值,降低T方向MTF值的實(shí)現(xiàn)方式可以包含以下兩種:(方式1)成像物鏡6自身的S方向MTF值高,而T方向的MTF值低;(方式2)在成像物鏡6的T和S方向的MTF值接近時(shí),在成像物鏡前或后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(例如,可以是平板玻璃等),配合微調(diào)成像物鏡6與感光元件7之間的相對(duì)距離即像距,以達(dá)到S方向MTF值高,而T方向的MTF值低的效果。sxfhbxfbxfxhgtxfho哦平y(tǒng)h直銷激光位移傳感器行情激光技術(shù)的應(yīng)用使得這種傳感器具有高分辨率和高靈敏度,能夠滿足各種精密測(cè)量需求。
針對(duì)目前國內(nèi)自主研制的激光位移傳感器精度低,測(cè)量范圍小等問題,提出了一種采用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件預(yù)先仿真整個(gè)激光位移傳感器光學(xué)系統(tǒng)的方法。在分析系統(tǒng)各部分的光學(xué)特性的基礎(chǔ)上,結(jié)合具體要求設(shè)計(jì)了一個(gè)激光位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng),其工作范圍為(50±10)mm。采用系統(tǒng)分割的方法,將整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)分為兩部分進(jìn)行設(shè)計(jì),No.1部分是激光束的整形透鏡,要求在有效的工作范圍內(nèi)得到小而均勻的出射光斑,設(shè)計(jì)結(jié)果表明,在測(cè)量范圍內(nèi),光斑大小能夠控 制在10-1mm量級(jí);另一部分是被測(cè)面散射光接收的成像物鏡,該系統(tǒng)的特點(diǎn)是物面和像面相對(duì)于光軸都有一定的角度,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明其成像滿足Scheimpflug條件。
公開號(hào)為CN1 05138193A的中國發(fā)明專利申請(qǐng)公開一種用于光學(xué)觸摸屏的攝像模組及其鏡頭,具體而言,該專利申請(qǐng)采用拉高成像物鏡T方向的MTF值、壓低S方向的調(diào)質(zhì)傳遞函數(shù)(MTF)值,來提高光學(xué)觸摸屏裝置的靈敏性能。因此,該patent對(duì)于如何提高光學(xué)觸摸屏的靈敏性能,提出了解決方案。但是,激光位移傳感器不同于光學(xué)觸摸屏,隨著激光位移傳感器的使用,很可能會(huì)因?yàn)檎駝?dòng)、機(jī)械變形等原因,使得激光器發(fā)出的光斑無法正確投向傳感器,進(jìn)而導(dǎo)致無法進(jìn)行準(zhǔn)確檢測(cè)、甚至完全無法進(jìn)行測(cè)量的問題。而對(duì)于激光位移傳感器所面臨的設(shè)計(jì)難度高、易受振動(dòng)和機(jī)械變形影響的問題,上述patent無能為力。[0007]針對(duì)上述問題,目前尚未提出有效的解決方案。采用激光束對(duì)目標(biāo)物體進(jìn)行掃描和測(cè)量,因此可以實(shí)現(xiàn)非接觸式的位移測(cè)量。
成像物鏡6和感光元件7組成的成像系統(tǒng)經(jīng)調(diào)制傳遞函數(shù)進(jìn)行解析后會(huì)得到解析結(jié)果MTFS和MTFT,其中MTFS為弧矢方向上的MTF值,MTFT是子午方向上的MTF值。[0043]在一個(gè)實(shí)施例中,如果感光元件的多個(gè)感光單元為沿著S方向(弧矢方向,可以將弧矢向定義為水平方向)排列,則在光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí),可以利用成像物鏡6的像散拉高S方向(弧矢方向,可以將弧矢方向定義為水平方向)的MTF值,降低T方向MTF值。通過將成像系統(tǒng)的MTFS和MTFT設(shè)計(jì)為滿足MTFS>MTFT,能夠讓呈現(xiàn)的光斑在子午方向上被拉長(zhǎng),在弧矢方向上被縮短。高精度激光位移傳感器具有較高的分辨率,能夠測(cè)量微小的位移變化。溫州激光位移傳感器定做
它可以用于測(cè)量電子元件的尺寸和形狀。珠海激光位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求
在采用方式2的情況下,可以在成像物鏡前或成像物鏡6后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(如平板玻璃),配合調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離時(shí),可以在微米量級(jí)進(jìn)行調(diào)整。每次調(diào)整后,可以進(jìn)行MTF解析,在判斷解析結(jié)果滿足上述條件時(shí),停止調(diào)節(jié)。如果調(diào)整后發(fā)現(xiàn)解析結(jié)果不滿足上述條件,則繼續(xù)進(jìn)行調(diào)整。此外,在圖1所示的實(shí)施例中,反光元件8設(shè)置在接收物鏡6和感光元件7之間,從而可以提高所述激光位移傳感器的內(nèi)部空間利用率,減小其外形尺寸。在所述激光位移傳感器外形尺寸允許的情況下,反光元件8可省略。在測(cè)量光斑和成像物鏡6之間的帶通濾光片5被用來濾除或降低雜散光對(duì)測(cè)量系統(tǒng)的影響。珠海激光位移傳感器產(chǎn)品基本性能要求