在光源耦合器上可裝配連接有入射光纖,入射光纖固定連接在光源耦合器上后,入射光纖的入光端固定連接在光源耦合器中,入射光纖用于接收并傳導(dǎo)所述多色光光源所發(fā)出的多色光;,在入射光纖的出光端固定連接有光譜共焦位移傳感探頭,光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光傳導(dǎo)的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別在聚焦于軸向不同高度,并對被測物體的反射光進行接收和傳導(dǎo);在光譜共焦位移傳感探頭上固定連接有接收光纖,接收光纖的入光端固定設(shè)置在光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),接收光纖的入光端用于選擇性的接收光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測物體的反射光,接收到的反射光在接收光纖內(nèi)進行傳導(dǎo);光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的微小變形進行精確測量,對于研究材料的性能具有重要意義。校驗光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項
采用入射光纖和接收光纖分離的方式,發(fā)射光和反射光從不同的光路中傳輸,從而避免光線在傳輸過程中產(chǎn)生內(nèi)部干擾,提高了光譜共焦系統(tǒng)的信噪比;而且通過設(shè)置發(fā)射光和反射光的單獨通道,光路更順暢,發(fā)射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時不會出現(xiàn)自身反射,從而避免光信號的干擾和能量損失。而傳統(tǒng)的光路設(shè)置過程中,采用的是Y型光纖,入射光纖和接收光纖在探頭內(nèi)耦合成一條光纖,形成Y型光纖,這樣會產(chǎn)生內(nèi)部串擾,降低信噪比,影響有效信號的提取和整個系統(tǒng)的穩(wěn)定性。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨進行設(shè)置,可以避免傳統(tǒng)Y型光纖的問題,使光的傳播更加穩(wěn)定。溫州標準光譜共焦位移傳感器該傳感器利用光路中的光譜信息來測量位移。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述半透半反光學(xué)鏡包括有上三棱鏡,與上三棱鏡膠合的下三棱鏡,膠合面鍍有半透半反膜,所述半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設(shè)置,所述上三棱鏡和所述下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡,所述上三棱鏡和所述下三棱鏡的直角邊相等。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設(shè)置為啞光面。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭,所述色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組,所述準直鏡組設(shè)置在多色光光源的一側(cè),用于多色光光源的準直;所述色散聚焦鏡組設(shè)置在被測物體的一側(cè),用于將多色光分別聚焦,并產(chǎn)生軸向色散。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀包括有機殼,固定設(shè)置在機殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組,固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組,所述感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調(diào)整的準直透鏡組,所述準直透鏡組設(shè)置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。
隨著精密和超精密制造業(yè)的迅速發(fā)展,對高精密的檢測需求也越來越高,因此高精密的位移傳感器也應(yīng)運而生。超精密的位移傳感器精度可達到微納米級別;傳統(tǒng)的接觸式測量雖然也有較高的精度,但是由于其可能會劃傷被測物體表面,而且當被測物體為弱剛性或是輕軟材料時,接觸式測量也會造成彈性形變,引入測量的誤差,而且接觸式測量速度較慢,難以實現(xiàn)自動化測量,基于接觸式測量存在的諸多不足,因此非接觸式位移傳感器受到了更大的關(guān)注。如今非接觸式測量主要有電磁式和光電式兩類,電磁式位移傳感器對被測物體的材料類型有要求,因此不具有wide適用性,而且外界的電磁信號的干擾也會對測量的精度造成影響;高精密光電式位移傳感器,目前常用的是基于激光三角法的位移傳感器,其測量原理是激光光源打在被測物體表面,反射的光經(jīng)過收光鏡簡,在光電探測器CCD上成像通過算法標定可以推算出被測物體的位移。目前的光譜共焦位移傳感器大多采用分光鏡和線陣CCD采集干涉條紋的方法,通過兩束光源產(chǎn)生干涉,干涉條紋的寬度信息可以反映被測物的位移量測量信息,此種方案結(jié)構(gòu)復(fù)雜,成本相對較高;傳統(tǒng)的激光三角法光路容易出現(xiàn)遮擋,導(dǎo)致接收反射光困難,對透明玻璃或表面有凹坑的材料等更是難以測量。它可以應(yīng)用于材料的力學(xué)性能測試、微納加工、光學(xué)元件的制造等多個領(lǐng)域。金華光譜共焦位移傳感器銷售價格
它使用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移,達到亞微米級的高精度。校驗光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項
光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件,提示組件包括有:發(fā)光件,發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中;導(dǎo)光光纖,所述導(dǎo)光光纖的一端連接在光源耦合器中,且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,所述導(dǎo)光光纖用于傳導(dǎo)發(fā)光件所發(fā)出的提示光。進一步,入射光纖,接收光纖,導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護套,所述保護套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。采用上述方案的有益效果是:本實用新型提出的一種光譜共焦位移傳感器,通過光源耦合器產(chǎn)生多色光源,多色光源在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),通過光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的透鏡組和光學(xué)元件使多色光發(fā)生光譜色散,不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置,使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系;校驗光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項