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一種激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置,其特征在于:包括一可伸縮導(dǎo)軌、一微調(diào)裝置、一傳感器夾持裝置、一激光位移傳感器以及一激光紅外線接收擋板;所述微調(diào)裝置和傳感器夾持裝置設(shè)于所述可伸縮導(dǎo)軌的上端;所述激光位移傳感器夾持在所述傳感器夾持裝置上,且使所述激光位移傳感器的激光發(fā)射端朝向所述微調(diào)裝置;所述激光紅外線接收擋板與所述微調(diào)裝置固接,且使所述激光紅外線接收擋板的接收面朝向所述傳感器夾持裝置。啊啊啊啊啊啊啊它可以用于測(cè)量機(jī)械零件的位移,以確保其精確性和穩(wěn)定性。靜安區(qū)激光位移傳感器市場(chǎng)價(jià)格
一種激光位移傳感器,包括激光器、成像物鏡以及感光元件,所述激光器用于射出激光束,由所述成像物鏡接收并出射的光入射到所述感光元件,其特征在于,在對(duì)所述成像物鏡和所述感光元件進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí),解析結(jié)果滿(mǎn)足以下條件:在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下,MTFS>MTFT;在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下,MTFT>MTFS;其中,MTFS為弧矢方向上的MTF值,MTFT為子午方向上的MTF值;在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下,所述成像物鏡本身的MTFS>MTFT;或者,在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下,所述成像物鏡本身的MTFT>MTFS,使得所述解析結(jié)果滿(mǎn)足所述條件;和/或在所述成像物鏡前和/或在所述成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件,并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對(duì)距離,使得所述解析結(jié)果滿(mǎn)足所述條件。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器,其特征在于,在進(jìn)行解析時(shí),空間頻率為62.5lp/mm,如果所述多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较?,則MTFS>MTFT×10。東莞激光位移傳感器以客為尊激光位移傳感器在3C電子行業(yè)中的應(yīng)用案例。
在圖1所示的實(shí)施例中,成像物鏡6包含以下兩種結(jié)構(gòu)形式:(形式一)成像物鏡6為物側(cè)面和像側(cè)面都為非球面的單一非球面鏡片,(形式二)成像物鏡6是由多個(gè)鏡片組合而成的透鏡組。綜上所述,本發(fā)明在激光位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí),利用增加像散,在感光元件的感光單元沿著S方向排列的情況下,拉高成像物鏡S方向的MTF值同時(shí)降低T方向上的MTF值,使得線陣感光元件上的光斑呈現(xiàn)長(zhǎng)條狀態(tài),進(jìn)而實(shí)現(xiàn)以下技術(shù)效果:降低激光位移傳感器中成像物鏡的設(shè)計(jì)難度,同時(shí)降低了設(shè)備的成本;
針對(duì)目前國(guó)內(nèi)自主研制的激光位移傳感器精度低,測(cè)量范圍小等問(wèn)題,提出了一種采用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件預(yù)先仿真整個(gè)激光位移傳感器光學(xué)系統(tǒng)的方法。在分析系統(tǒng)各部分的光學(xué)特性的基礎(chǔ)上,結(jié)合具體要求設(shè)計(jì)了一個(gè)激光位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng),其工作范圍為(50±10)mm。采用系統(tǒng)分割的方法,將整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)分為兩部分進(jìn)行設(shè)計(jì),No.1部分是激光束的整形透鏡,要求在有效的工作范圍內(nèi)得到小而均勻的出射光斑,設(shè)計(jì)結(jié)果表明,在測(cè)量范圍內(nèi),光斑大小能夠控 制在10-1mm量級(jí);另一部分是被測(cè)面散射光接收的成像物鏡,該系統(tǒng)的特點(diǎn)是物面和像面相對(duì)于光軸都有一定的角度,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明其成像滿(mǎn)足Scheimpflug條件。 高精度激光位移傳感器的可靠性和穩(wěn)定性也是其優(yōu)點(diǎn)之一。
根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光位移傳感器主要包括激光器(例如,可以是CN1 06855391B5激光二極管)1、聚焦透鏡2、窗口玻璃3、帶通濾光片5、成像物鏡(也可稱(chēng)為接收物鏡)6、感光元件7以及反光元件8。其中,該激光位移傳感器用于對(duì)被測(cè)物體4進(jìn)行測(cè)量。在圖1所示的結(jié)構(gòu)中,省略了激光位移傳感器的外殼。實(shí)際上,上述窗口玻璃3可以設(shè)置在激光位移傳感器的外殼上,供激光器所發(fā)出的光通過(guò)。激光位移傳感器的工作過(guò)程如下:由激光二極管1發(fā)射的激光束通過(guò)聚焦透鏡2聚焦、窗口玻璃3濾光后,照射在被測(cè)物體4的表面形成一個(gè)測(cè)量光斑,激光束可以垂直入射到被測(cè)物體4表面(即垂直入射),也可與被測(cè)物體4表面成一定的角度(即斜入射)。該測(cè)量光斑由成像物鏡6成像,并在感光元件7形成測(cè)量信號(hào)。它可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)物體的變形情況,提供及時(shí)的預(yù)警和反饋。奉賢區(qū)激光位移傳感器供應(yīng)鏈
激光位移傳感器在工程實(shí)踐中有著廣泛的應(yīng)用,為自動(dòng)化生產(chǎn)線,質(zhì)量檢測(cè)等領(lǐng)域提供了高效、準(zhǔn)確的測(cè)量方案。靜安區(qū)激光位移傳感器市場(chǎng)價(jià)格
隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展,具有非接觸、高精度、穩(wěn)定性好、可自動(dòng)化及易于與計(jì)算機(jī)相結(jié)合等特點(diǎn)的激光位移檢測(cè)技術(shù)在自動(dòng)檢測(cè)、機(jī)器人視覺(jué)、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測(cè)技術(shù),成為現(xiàn)代檢測(cè)技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測(cè)系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)來(lái)檢測(cè)對(duì)象物平面平整度。位移傳感器用來(lái)測(cè)量目標(biāo)物體的距離,按與對(duì)象物的接觸類(lèi)型它分為兩類(lèi):主要有使用差動(dòng)電壓等形式的接觸式與使用磁場(chǎng)、超聲波、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點(diǎn),系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器,該激光位移傳感器可以對(duì)任何對(duì)象物進(jìn)行高精密度的位移測(cè)定,例如可以對(duì)微細(xì)工件、粗面工件的高度進(jìn)行測(cè)定,還可以測(cè)量電路板上的焊錫以及測(cè)定透明體的表面和厚度。平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動(dòng)平移臺(tái)。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠(yuǎn)鏡終端的拼接CCD相機(jī)為了得到更清晰的天體圖像,將采用該非接觸式激光平面檢測(cè)系統(tǒng),對(duì)拼接CCD相機(jī)平面平整度進(jìn)行檢測(cè)。靜安區(qū)激光位移傳感器市場(chǎng)價(jià)格