被測(cè)物體表面反射的反射光通過(guò)探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過(guò)設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線(xiàn)的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過(guò)光譜波峰反推出被測(cè)物體的位移，實(shí)現(xiàn)利用光譜共焦原理測(cè)量位移的過(guò)程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過(guò)光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。它使用光譜共焦技術(shù)來(lái)測(cè)量物體的微小位移，能夠達(dá)到亞微米級(jí)的高精度。直銷(xiāo)光譜共焦位移傳感器貨真價(jià)實(shí)

套筒限位在限位槽內(nèi),且與限位槽相匹配,套筒上設(shè)置有用于光纖連接的螺紋孔進(jìn)一步,兩個(gè)雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍?nèi)對(duì)稱(chēng)設(shè)置。進(jìn)一步,兩個(gè)雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。進(jìn)一步,位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm。進(jìn)一步,鹵素?zé)艄庠吹墓庾V波段范圍為360nm~2500nm。光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會(huì)出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測(cè)目標(biāo)表面過(guò)于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對(duì)被測(cè)物體適應(yīng)性強(qiáng),適用于手機(jī)玻璃的檢測(cè),凹坑、小孔的測(cè)量以及表面形貌的掃描恢復(fù)。光譜共焦傳感器是一種基于光學(xué)色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長(zhǎng)間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運(yùn)用也比較widely,但由于CCD相機(jī)接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測(cè)量。光譜共焦位移傳感器由于其運(yùn)用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量不了的領(lǐng)域,對(duì)一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測(cè)量,且測(cè)量精度能夠達(dá)到亞微米級(jí)別。寶山區(qū)光譜共焦位移傳感器推薦光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的位移測(cè)量傳感器。

采用入射光纖和接收光纖分離的方式，發(fā)射光和反射光從不同的光路中傳輸，從而避免光線(xiàn)在傳輸過(guò)程中產(chǎn)生內(nèi)部干擾，提高了光譜共焦系統(tǒng)的信噪比；而且通過(guò)設(shè)置發(fā)射光和反射光的單獨(dú)通道，光路更順暢，發(fā)射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時(shí)不會(huì)出現(xiàn)自身反射，從而避免光信號(hào)的干擾和能量損失。而傳統(tǒng)的光路設(shè)置過(guò)程中，采用的是Y型光纖，入射光纖和接收光纖在探頭內(nèi)耦合成一條光纖，形成Y型光纖，這樣會(huì)產(chǎn)生內(nèi)部串?dāng)_，降低信噪比，影響有效信號(hào)的提取和整個(gè)系統(tǒng)的穩(wěn)定性。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨(dú)進(jìn)行設(shè)置，可以避免傳統(tǒng)Y型光纖的問(wèn)題，使光的傳播更加穩(wěn)定。

本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種光譜共焦位移傳感器，旨在通過(guò)光譜共焦工作原理，避免通過(guò)激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案如下： 一種光譜共焦位移傳感器，包括底座，其中，還包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光； 入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光；該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動(dòng)等效應(yīng)。

發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間，固定設(shè)置有濾光片，濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間，濾光片用于過(guò)濾紅外線(xiàn)，以減少光熱效應(yīng)高的紅外線(xiàn)在傳遞到探頭殼體的位置時(shí)，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有沉孔，連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開(kāi)設(shè)在沉孔底部，且導(dǎo)光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣，通過(guò)沉孔的設(shè)置，在探頭殼體上形成對(duì)導(dǎo)光光纖連接位進(jìn)行避讓?zhuān)苊馐褂谜咴谑褂眠^(guò)程中觸碰到導(dǎo)光光纖，從而影響影響導(dǎo)光光纖，或損傷導(dǎo)光光纖與探頭殼體的連接位。該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測(cè)量。如何選光譜共焦位移傳感器調(diào)試

光譜共焦位移傳感器需要專(zhuān)門(mén)的光譜共焦顯微鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)測(cè)量。直銷(xiāo)光譜共焦位移傳感器貨真價(jià)實(shí)

根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線(xiàn)傳感器是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的,以及所述光學(xué)系統(tǒng)是在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且所述光學(xué)系統(tǒng)包括所述多個(gè)測(cè)量光束入射的多個(gè)光入射口,其中所述多個(gè)光入射口在使用所述預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測(cè)量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。直銷(xiāo)光譜共焦位移傳感器貨真價(jià)實(shí)