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來源: 發(fā)布時間:2021-10-14

    供人員或者其他設備通過2.可以局部移動,以臨時騰開公共空間供第三方使用3.可以提升到一定高度,將公共資源空間讓出來供第三方使用不好擴展離散式的搬運系統(tǒng),如果效率箱想進一步提升,或者接駁方式要改變,可以通過增加單體離散搬運設備數(shù)量和改造裝載方式即可實現(xiàn)。而對于連續(xù)性搬運設備而言,卻很難實現(xiàn)。借鑒離散型搬運系統(tǒng)中由單個搬運設備組成的特點,可以將連續(xù)搬運設備采用模塊化的設計。總結:一個完整的自動化倉儲物流系統(tǒng),不會只由一種搬運形式所組成,往往是由多個離散式搬運子系統(tǒng)和連續(xù)式搬運子系統(tǒng)利用各自的優(yōu)勢和特點實現(xiàn)整個系統(tǒng)的功能。目前某些前沿的面向未來的廠內(nèi)物流自動化技術在研究如何將離散和連續(xù)各自的優(yōu)勢結合到一起形成既有柔性、機動性,又能高搬運效率的綜合搬運系統(tǒng)。比如配置有滾筒的智能搬運小車,為了提高搬運效率,可以自行拼接成連續(xù)搬運的滾筒輸送線。再比如德國研發(fā)的Celluveyor,使輸送機不再是固定的一成不變的輸送裝置,而是采用模塊化的設計,使其更加靈活,搬運路徑和方式可變。另外,以上的討論的搬運都是建立在以電機驅(qū)動的形式下而展開的,實際應用中的搬運也有通過氣動的方式來搬運的。錫山區(qū)正規(guī)商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。無錫正規(guī)商鋪搬運服務

    參照圖6)。因此,起重機用行駛部31或者搬運車用行駛部51能夠無障礙地在以及第二連結軌道60a、60b行駛。這樣,將上述軌道設為相同的剖面形狀,由此能夠?qū)崿F(xiàn)軌道的標準化,能夠以低成本進行軌道的設置。在上述搬運系統(tǒng)100中,懸掛式起重機30在存儲庫區(qū)域10a或者存儲庫區(qū)域10b內(nèi),沿著起重機軌道20行駛,在保管部11與交接口12之間搬運物品2。例如,懸掛式起重機30能夠通過物品移載部34(參照圖4)接受被保管部11保管的物品2,沿著起重機軌道20行駛至交接口12,將物品2載置于交接口12。另外,在利用高架搬運車50將物品2載置于交接口12的情況下,懸掛式起重機30能夠沿著起重機軌道20行駛到交接口12,利用物品移載部34接受物品2之后,沿著起重機軌道20行駛到移載目的地的保管部11,通過物品移載部34將物品2載置于保管部11。另外,在搬運系統(tǒng)100中,高架搬運車50在利用懸掛式起重機30將物品2載置在交接口12的情況下,沿著高架搬運車軌道40行駛至存儲庫區(qū)域10a的交接口12。然后,能夠由物品保持部53(參照圖5)保持物品2,在高架搬運車軌道40行駛,由此將物品2搬運到其它存儲庫區(qū)域10b的交接口12、處理裝置lt的裝載端口lp或者暫存區(qū)st,在他們各自處載置物品2。另外。新吳區(qū)學校商鋪搬運價錢梁溪區(qū)品質(zhì)商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    具體實施方式以下,參照附圖對實施方式進行說明。在以下的各圖中,使用xyz坐標系對圖中的方向進行說明。在該xyz坐標系中,將鉛直方向設為z方向,將水平方向設為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個方向,是沿著后述的區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向,是沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外,關于x、y、z方向的各方向,適當?shù)貙⑴c箭頭相同一側稱為+側(例如,+x側),將其相反側稱為-x側(例如,-x側)。圖1是表示本實施方式所涉及的搬運系統(tǒng)100的一個例子的俯視圖。圖1所示的搬運系統(tǒng)100例如設置于半導體設備的制造工廠等,對收容有在半導體設備的制造中使用的半導體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進行搬運。在本實施方式中,使用物品2是foup的例子來進行說明,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外,搬運系統(tǒng)100也能夠應用于除半導體制造領域以外的設備,物品2可以是由用于設置搬運系統(tǒng)100的設備處理的各種物品。在本實施方式中。

    所述存儲庫具備:在上下方向設置多層來保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿著保管部以及交接口設置的起重機軌道、沿著起重機軌道行駛的起重機用行駛部、從起重機用行駛部垂下的桅桿、以及具有被桅桿引導地升降的物品移載部并且在保管部與交接口之間搬運物品的懸掛式起重機;高架搬運車軌道,其被設置于存儲庫區(qū)域之外,沿著交接口以及處理裝置的裝載端口延伸至規(guī)定區(qū)域;高架搬運車,其具有沿著高架搬運車軌道行駛的搬運車用行駛部、以及保持并升降物品的物品保持部,并且在交接口與裝載端口之間搬運物品;以及連結軌道,其連結起重機軌道與高架搬運車軌道,所述搬運方法包含以下步驟:使起重機用行駛部從起重機軌道通過連結軌道進入高架搬運車軌道,在高架搬運車軌道行駛至規(guī)定區(qū)域,或者使起重機用行駛部從規(guī)定區(qū)域進入高架搬運車軌道行駛至連結軌道,通過連結軌道進入起重機軌道而在起重機軌道行駛。根據(jù)本發(fā)明的搬運系統(tǒng)以及搬運方法,通常沿著存儲庫區(qū)域內(nèi)的起重機軌道行駛并且在存儲庫區(qū)域內(nèi)在保管部與交接口之間移載物品的懸掛式起重機能夠根據(jù)需要,通過連結軌道以及高架搬運車軌道移動到存儲庫區(qū)域外的規(guī)定區(qū)域。根據(jù)該結構。錫山區(qū)企業(yè)商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    搬運系統(tǒng)100在配置于、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的、第二保管部20a、20b、、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等,對收容于搬運系統(tǒng)100所搬運的物品2的半導體晶圓實施各種處理。各、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個例子的圖。在圖2中表示從+x側觀察、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個例子。如圖1和圖2所示,處理裝置tl1在設定于制造工廠等的地板部的裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個。沿y方向排列的多個、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設置多列。此外,多個、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個例子,也可以是其他配置。另外,并不限定于、第二處理裝置tl1、tl2具備兩處裝載端口lp,也可以具備一處或者三處以上。另外,在制造工廠等中配置用于暫時保管物品2的、第二保管區(qū)域sa1、sa2。保管區(qū)域sa1與處理裝置tl1對應設置。濱湖區(qū)長途商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。新吳區(qū)學校商鋪搬運價錢

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    行駛部41a能夠從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11經(jīng)由連接軌道15或者第二連接軌道16駛入?yún)^(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進行行駛。第二起重機40b的第二行駛部41b能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12駛入?yún)^(qū)段間頂棚軌道地進行行駛。即,第二行駛部41b能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12經(jīng)由連接軌道15或者第二連接軌道16駛入?yún)^(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進行行駛。根據(jù)該結構,、第二起重機40a、40b根據(jù)需要而能夠容易地經(jīng)由區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間移動。、第二升降臺43a、43b在下表面?zhèn)劝惭b有、第二移送部44a、44b,并被、第二桅桿42a、42b引導而能夠升降。、第二升降臺43a、43b具備與、第二桅桿42a、42b的表面接觸的未圖示的引導滾子,從而順利地進行沿著、第二桅桿42a、42b的升降動作。另外,在、第二桅桿42a、42b的下部設置有未圖示的下部支承體,、第二升降臺43a、43b能夠下降至在該下部支承體上抵接的位置。此外,下部支承體防止、第二升降臺43a、43b從、第二桅桿42a、42b向下方脫落。無錫正規(guī)商鋪搬運服務

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