如圖10所示，保管部220(或者交接端口330)在、第二裝置區(qū)域ta1、ta2中也可以配置于、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp的上方。根據該結構，能夠將裝載端口lp的上方的空間作為保管區(qū)域有效地活用。此外，針對該保管部220(或者交接端口230)，、第二起重機40a、40b和高架搬運車50雙方能夠進行物品2的交接。但是，在該結構中，高架搬運車50無法針對裝載端口lp直接進行物品2的交接。另一方面，、第二起重機40a、40b能夠針對裝載端口lp進行物品2的交接。另外，如圖10所示，也可以在、第二處理裝置tl1、tl2與、第二處理裝置tl1、tl2之間設置保管架80。保管架80在內部的上下方向和左右方向(y方向)設置多個保管部320，并在上表面80a設置有交接端口330。根據該結構，能夠將在、第二處理裝置tl1、tl2之間產生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。針對保管架80的保管部320，、第二起重機40能夠進行物品2的交接。另外，針對保管架80的上表面80a的交接端口330，、第二起重機40a、40b和高架搬運車50雙方能夠進行物品2的交接。另外，、第二起重機40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運物品2。此外，在圖10中，示出設置保管部220和保管架80雙方的例子，但也可以代替該結構?；萆絽^(qū)專業(yè)商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。江蘇品質商鋪搬運報價

    在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設置花費成本，需要用于鋪設各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應，因此對處理裝置等的布局產生限制的問題。技術實現要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本，并且分擔高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統具備：區(qū)段內頂棚軌道，其從處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著處理裝置的裝載端口設置；第二區(qū)段內頂棚軌道。江蘇品質商鋪搬運報價新吳區(qū)品質商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    但物品2也可是foup以外的物品。另外，搬運系統100也能夠應用于半導體制造領域以外的設備，物品2也可以是由設置搬運系統100的設備處理的各種物品。如圖1所示，搬運系統100具有：存儲庫10、高架搬運車軌道40、高架搬運車50、以及第二連結軌道60a、60b以及控制裝置80。存儲庫10被配置于存儲庫區(qū)域10a以及其它存儲庫區(qū)域(規(guī)定區(qū)域)10b內。圖2是表示存儲庫區(qū)域10a的一個例子的圖。如圖2所示，存儲庫10具備：保管部11、交接口12、起重機軌道20以及懸掛式起重機30。保管部11在上下方向被設置多層，并且在沿著懸掛式起重機30的移動方向的左右方向排列的狀態(tài)下保管物品2。保管部11使用能夠載置物品2的貨架部等。也可在載置物品2的貨架部設置有進入到被設置于物品2的底面的槽部的多個銷。該銷進入到物品2的槽部，由此物品2被定位于貨架部。多個保管部11在各存儲庫區(qū)域10a、10b中被設置于三個位置，但并不限于該結構，保管部11的數量是任意的。交接口12作為在與高架搬運車50等之間進行物品2的交接的場所設置。交接口12在存儲庫區(qū)域10a中設置多個。起重機軌道20沿著保管部11以及交接口12設置。

    保持部53通過把持物品2的凸緣部2a而懸掛保持物品2。保持部53例如是具有能夠沿水平方向移動的爪部53a的卡盤，使爪部53a侵入至物品2的凸緣部的下方，使保持部53上升，由此保持物品2。保持部53與線材或者帶狀物等懸掛部件53b連接。保持部53從升降驅動部54懸掛且以能夠擺動的狀態(tài)升降。保持部53可以與上述的、第二起重機40a、40b的保持部49是同一結構，也可以是不同結構。升降驅動部54例如是升降機，通過抽出懸掛部件53b而使保持部53下降，通過卷繞懸掛部件53b而使保持部53上升。升降驅動部54被控制裝置60等控制，使保持部53以規(guī)定的速度下降或者上升。另外，升降驅動部54被控制裝置60等控制，將保持部53保持于目標高度。橫向伸出機構55例如具有在上下方向重疊配置的可動板?？蓜影迥軌蛳蛐旭偛?1的行駛方向的側方(與行駛方向正交的方向)移動。在可動板安裝有轉動部和升降驅動部54。主體部52具有引導橫向伸出機構55的未圖示的引導件、和驅動橫向伸出機構55的未圖示的驅動部等。橫向伸出機構55通過來自電動馬達等驅動部的驅動力，使升降驅動部54和保持部53沿著引導件，在突出位置與收納位置之間移動。突出位置是從主體部52向側方突出的位置。收納位置是收納于主體部52內的位置。濱湖區(qū)貨車商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第二處理裝置的裝載端口設置；區(qū)段間頂棚軌道，其將區(qū)段內頂棚軌道與第二區(qū)段內頂棚軌道連結；保管部和第二保管部，它們在區(qū)段內頂棚軌道和第二區(qū)段內頂棚軌道各自的下方且側方沿上下方向設置有多層，并用于保管物品；交接端口和第二交接端口，它們設置于區(qū)段內頂棚軌道和第二區(qū)段內頂棚軌道各自的下方且側方；起重機，其具備沿著區(qū)段內頂棚軌道行駛的行駛部、從行駛部垂下的桅桿、以及被桅桿引導而升降的移送部，并且在處理裝置的裝載端口、保管部、以及交接端口之間搬運物品；第二起重機，其具備沿著第二區(qū)段內頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導而升降的第二移送部，并且在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運物品；以及高架搬運車，其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅動部、以及使升降驅動部向側方突出的橫向伸出機構，并且在交接端口與第二交接端口之間搬運物品，上述行駛部沿著區(qū)段內頂棚軌道、第二區(qū)段內頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛。另外，可以起重機是懸掛式起重機。另外。錫山區(qū)公司商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。無錫商鋪搬運收費

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    第二機架間軌道44與機架內環(huán)繞軌道41以及第二機架內環(huán)繞軌道42各自的一方的端部連結。機架間軌道43以及第二機架間軌道44分別使直線狀的兩根軌道并行地延伸，在兩根軌道之間設置有多個連接軌道。高架搬運車50沿著高架搬運車軌道40移動，將物品2在處理裝置tl的裝載端口lp、與存儲庫區(qū)域10a、10b的交接口12之間進行物品2的交接。另外，高架搬運車50除了裝載端口lp以及交接口12之外，還在與沿著高架搬運車軌道40(外繞軌道41a、42a等)設置的暫存區(qū)st之間進行物品2的移載。處理裝置tl例如是曝光裝置、涂布機顯影載置、制膜裝置或者蝕刻裝置等，對被收納于搬運系統100搬運的物品2的半導體晶圓實施各種處理。圖5是表示高架搬運車50的一個例子的圖。如圖5所示，高架搬運車50具有搬運車用行駛部51和主體部52。搬運車用行駛部51與起重機用行駛部31相同，具備未圖示的行駛驅動部以及多個車輪71a(參照圖6)，沿著高架搬運車軌道40行駛。行駛驅動部例如也可是被設置于搬運車用行駛部51并驅動車輪71a的電動馬達，也可是使用高架搬運車軌道40設置的線性馬達。主體部52經由安裝部52a被安裝于搬運車用行駛部51的下部。江蘇品質商鋪搬運報價

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