具體實施方式以下,參照附圖對實施方式進行說明。在以下的各圖中,使用xyz坐標系對圖中的方向進行說明。在該xyz坐標系中,將鉛直方向設為z方向,將水平方向設為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個方向,是沿著后述的區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向,是沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外,關于x、y、z方向的各方向,適當?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如,+x側(cè)),將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如,-x側(cè))。圖1是表示本實施方式所涉及的搬運系統(tǒng)100的一個例子的俯視圖。圖1所示的搬運系統(tǒng)100例如設置于半導體設備的制造工廠等,對收容有在半導體設備的制造中使用的半導體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進行搬運。在本實施方式中,使用物品2是foup的例子來進行說明,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外,搬運系統(tǒng)100也能夠應用于除半導體制造領域以外的設備,物品2可以是由用于設置搬運系統(tǒng)100的設備處理的各種物品。在本實施方式中。梁溪區(qū)學校商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。無錫商鋪搬運公司電話
入口部15a形成供高架搬運車50從區(qū)段間頂棚軌道13向區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛的路徑。出口部15b形成供高架搬運車50從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12向區(qū)段間頂棚軌道13行駛的路徑。第二連接軌道16與連接軌道15相同地,具有入口部16a和出口部16b作為兩個軌道。入口部16a形成供高架搬運車50從第二區(qū)段間頂棚軌道14向區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛的路徑。出口部16b形成供高架搬運車50從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12向第二區(qū)段間頂棚軌道14行駛的路徑。此外,在本實施方式中,示出連接軌道15與第二連接軌道16是同一形狀或者大致同一形狀的例子,但連接軌道15與第二連接軌道16也可以是不同的形狀。如圖1所示,保管部20a和交接端口30a配置于保管區(qū)域sa1。如圖1所示,第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管區(qū)域sa2。保管部20a和交接端口30a配置于區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的下方且側(cè)方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的下方且側(cè)方。保管部20a和交接端口30a配置于在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11能夠通過后述的起重機40a和高架搬運車50進行物品2的交接的范圍。無錫商鋪搬運公司電話梁溪區(qū)貨車商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
"接頭"需要建立在移動的離散設備與上下游設備之間的良好通訊條件的基礎上。與上位軟件的通訊為了更好的管理整個搬運過程,一個自動化系統(tǒng)通常也需要有一個管理搬運任務和設備的上位管理軟件,常見的有倉庫管理軟件WMS、倉庫控制軟件WCS、自動搬運機器人調(diào)度軟件等等。上位各種管理軟件的功能都是建立在與現(xiàn)場環(huán)境中所有的搬運設備信息交互的基礎上。上位管理軟件下發(fā)的指令數(shù)據(jù)需要通訊通道將命令傳遞到搬運設備上,同時,現(xiàn)場的搬運設備的當前的狀態(tài)和任務執(zhí)行情況要實時的上傳給上位機管理軟件與第三方的通訊需要通過運動才能執(zhí)行搬運任務的離散搬運設備,在執(zhí)行任務時一定會占用一定的公共資源,比如要占用通道,占用電梯又或者是通過一到門。占用公共資源之前,離散搬運設備可能需要通過與公共資源通訊進而申請占用授權,公共資源允許后通知搬運設備,在完成占用后,搬運設備將釋放信號再次通知給公共資源,以便公共資源下次為別的設備提供資源。:工業(yè)內(nèi)通用的通訊方式主要有兩大類,有線通訊,無線通訊。傳統(tǒng)的有線通訊穩(wěn)定性高,無線通訊便捷和機動性高。很顯然,對于絕大部分的離散搬運設備來講,無線通訊是較好的選擇。而在實際上。
也可在使懸掛式起重機30從存儲庫區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b、10c、10d)移動的情況下使用第二機架內(nèi)環(huán)繞軌道42,在使懸掛式起重機30從規(guī)定區(qū)域向存儲庫區(qū)域10a移動的情況下使用機架內(nèi)環(huán)繞軌道41。另外,也可在使懸掛式起重機30從存儲庫區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b、10c、10d)移動的情況下,以及在使懸掛式起重機30從規(guī)定區(qū)域向存儲庫區(qū)域10a移動的情況下,使用相同的機架內(nèi)環(huán)繞軌道。另外,在法律允許的范圍內(nèi),引用作為日本申請的特愿2017-128569以及本說明書所引用的全部的文獻的內(nèi)容并作為正文記載的一部分。附圖標記的說明lp…裝載端口、mn…維護裝置;st…暫存區(qū);tl…處理裝置;2…物品;10…存儲庫;10a…存儲庫區(qū)域;10b…存儲庫區(qū)域(規(guī)定區(qū)域);10c…維護區(qū)域(規(guī)定區(qū)域);10d…規(guī)定區(qū)域;10f…作業(yè)者進入禁止區(qū)域;10g…作業(yè)者通路;11…保管部;12…交接口;20,20c,20d…起重機軌道;30…懸掛式起重機;31…起重機用行駛部;32…桅桿;33…升降臺;34…物品移載部;35…升降驅(qū)動部;40…高架搬運車軌道;41…機架內(nèi)環(huán)繞軌道;41a、42a…外繞軌道;41b、42b…內(nèi)繞軌道;41c、42c…連接軌道;42…第二機架內(nèi)環(huán)繞軌道;43…機架間軌道;44…第二機架間軌道;50…高架搬運車。濱湖區(qū)質(zhì)量商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
在半導體制造工廠等制造工廠中,配置有保管收納半導體晶圓的foup或者收納中間掩膜的中間掩膜盒等物品的存儲庫。存儲庫具備用于在多個保管架與交接口之間移載物品的起重機。作為該起重機公知有在被配置于頂棚的軌道上行駛的懸掛式起重機,為了提高物品的移載效率,提出了兩種懸掛式起重機在共用的軌道上行駛的構成(例如,參照文獻1)。文獻1:國際公開第2016/178347號對于文獻1所記載的存儲庫,兩種懸掛式起重機雖在共用的軌道上行駛,但其行駛范圍被限制在配置了存儲庫的一個存儲庫區(qū)域內(nèi)。因此,在使該懸掛式起重機向其它的存儲庫區(qū)域移動時,或者為了維護而使懸掛式起重機向維護區(qū)域移動時,需要從軌道取下并搬運懸掛式起重機。但是,從軌道取下懸掛式起重機的作業(yè)麻煩且費事,作業(yè)者的負擔大。并且,由于使用特殊的搬運設備搬運已取下的懸掛式起重機,所以不僅成本提高,而且存在搬運也需要時間這樣的問題。技術實現(xiàn)要素:本發(fā)明目的是提供一種能夠容易地使懸掛式起重機在存儲庫區(qū)域內(nèi)與規(guī)定區(qū)域之間移動而不使用特殊的搬運設備的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明的搬運系統(tǒng)具備:被配置于存儲庫區(qū)域內(nèi)的存儲庫。惠山區(qū)品質(zhì)商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。梁溪區(qū)短途商鋪搬運電話
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、第二移送部44a、44b具備能夠沿與、第二行駛部41a、41b的行駛方向正交的方向伸縮的臂部48、和設置于臂部48的前端并保持物品2的保持部49。保持部49通過把持物品2的凸緣部2a而將物品2懸掛保持。保持部49例如是具有能夠沿水平方向移動的爪部49a的卡盤,使爪部49a侵入至物品2的凸緣部的下方,使保持部49上升,由此將物品2懸掛保持。在、第二移送部44a、44b接收物品2時,將臂部48伸長而使保持部49配置于物品2的上方,在使凸緣部2a保持于爪部49a的狀態(tài)下使、第二升降臺43a、43b上升,由此利用保持部49將物品2提起。接著,、第二移送部44a、44b維持利用保持部49保持物品2的狀態(tài)地收縮臂部48,由此將保持有物品2的保持部49配置于、第二升降臺43a、43b的下方。此外,、第二移送部44a、44b并不限定于上述的結構。例如,也可以是保持部49載置物品2的結構,也可以是保持部49把持且保持物品2的側(cè)面的結構。、第二升降驅(qū)動部45a、45b例如使用升降機等,沿著、第二桅桿42a、42b使、第二升降臺43a、43b升降。、第二升降驅(qū)動部45a、45b具備懸掛部件45a和驅(qū)動部45b。懸掛部件45a例如是帶狀物或者線材等,、第二升降臺43a、43b通過該懸掛部件45a從上部支承體47懸掛。無錫商鋪搬運公司電話
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