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  • Diffusion閘閥
    Diffusion閘閥

    微泰主要產(chǎn)品有1、-手動鎖定閥:操作鎖定按鈕關(guān)閉正在抽吸中的切斷閥門切斷現(xiàn)象的源頭:2、特殊閥門:全金屬配件構(gòu)成,由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成;3、三位閥:半開功能的壓力控制閥。氣動閘閥:?產(chǎn)品范圍:1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù):25萬次?響應(yīng)時間:0.2秒~3秒;手動(鎖定)閘閥?產(chǎn)品范圍:1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù):25萬次;專門用閘閥:產(chǎn)品范圍:1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù):25萬次,響應(yīng)時間:0.2秒客戶指定的法蘭,可安裝角閥;三位閘閥:產(chǎn)品范圍:2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù):2...

  • HV閘閥三星半導體
    HV閘閥三星半導體

    微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,晶圓輸送閥Transfer Valve,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。采用L型輸送閥L-motion防止產(chǎn)生微粒(Particle),無需從設(shè)備上拆卸閥門,即可更換閘門和O形圈。大量采用缸套運動導軌Liner (motion guide),實現(xiàn)高精度、高耐用性.微泰晶圓輸送閥L型輸送閥L-motion,Transfer Valve,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西...

  • 鋁閘閥插板閥
    鋁閘閥插板閥

    微泰轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。此外,它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化,使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持。負責門控半導體晶圓轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型。一、I型轉(zhuǎn)移閥。I型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成,用于傳輸晶圓小于450毫米的半導體系統(tǒng)和隔離工藝室。本型的特點是葉片在垂直方向上快速移動,確保完美的腔室壓力維持。它采用具有LM導向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機構(gòu),保證高耐用性和長壽命。二、L型轉(zhuǎn)移閥。L型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造,其特點是設(shè)計緊湊,易于維護。L型轉(zhuǎn)移閥的特點是閘門在兩個階段...

  • 氣動閘閥TRANSFER VALVE
    氣動閘閥TRANSFER VALVE

    微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,多定位閘閥。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器,可以在本地和遠程模式下操作。它還具有緊急關(guān)閉功能,以應(yīng)對泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況。其特點之一是能夠遠程檢查閥門狀態(tài),并可用于具有不同法蘭類型的各種工藝。多定位閘閥具有可隔離的閘閥,以滑動方式操作,適用于需要壓力控制的所有加工領(lǐng)域。采用手動調(diào)節(jié)控制裝置控制,用戶可直接控制閘門的開啟和關(guān)閉,以調(diào)節(jié)壓力。微泰半導體多定位閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation(蒸發(fā))、Sputtering(濺射)、Diamond growth by MW-PACVD...

  • 低真空閘閥ALUMINUM GATE VALVE
    低真空閘閥ALUMINUM GATE VALVE

    微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,控制系統(tǒng)閘閥,控制閘閥、控制系統(tǒng)插板閥、控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,以滑動方式操作,可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導體等高真空工藝應(yīng)用??刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力。微泰半導體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation(蒸發(fā))、Sputtering(濺射)、Diamond growth by MW-PACVD(通過 MW-PACVD 生長金剛石)、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷)、Coating(涂層)、Etch(蝕刻)、Diffusion(擴散)...

  • 轉(zhuǎn)移閘閥閘板閥
    轉(zhuǎn)移閘閥閘板閥

    微泰,加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷)? Coating? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴散)?CVD(化學氣相沉積)等設(shè)備上。可替代VAT閘閥。其特點是*使用加熱套或內(nèi)部加熱器加熱*加熱控制器*應(yīng)用:去除粉末/氣體設(shè)備。加熱閘閥規(guī)格如下:驅(qū)動方式:手動或氣動、法蘭尺寸:1.5英寸~ 12英寸、法蘭類型:ISO、JIS、ASA、CF、連接方式:焊接波紋管、閥門密封:...

  • 鋁閘閥
    鋁閘閥

    微泰,多位閘閥,多位置閘閥,多定位閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴散)?CVD(化學氣相沉積)等設(shè)備上??商娲鶹AT閘閥。微泰多位閘閥,多位置閘閥,多定位閘閥其特點是?操作模式:本地和遠程?緊急情況:自動關(guān)閉?慢速泵送功能。多位閘閥,多位置閘閥,多定位閘閥規(guī)格如下:材料:閥體 STS304, 機制 STS3...

  • 化學氣相沉積閘閥手動閥
    化學氣相沉積閘閥手動閥

    微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,氣動多位置閘閥,氣動多定位閘閥,多定位插板閥,Pneumatic Multi Position 其特點是1,全開和關(guān)閉位置使用帶有位置發(fā)射器的氣動電磁閥進行控制;2,所有位置控制都由控制器進行操作。1)控制類型-全開:高速閘門全開操作-全閉:高速閘門全閉操作-位置(POS.)控制:將閘門移動到設(shè)定的位置值;2)操作時間-完全打開?完全關(guān)閉:<2秒(取決于速度控制器設(shè)置)-位置(POS。)控制: 0%?100%工作,

  • 超真空閘閥I型轉(zhuǎn)移閥
    超真空閘閥I型轉(zhuǎn)移閥

    微泰半導體閘閥具有獨特的特點:其插板閥主滑閥采用球機構(gòu)方式,并且在量產(chǎn)工藝設(shè)備上經(jīng)過了性能驗證。該閘閥由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,陶瓷與金屬接觸驅(qū)動時不會產(chǎn)生顆粒。目前已向中國臺灣的 Micron、UMC、AKT,新加坡的 Micron、Global Foundries,馬來西亞的英菲尼亞半導體,日本的 Micron、三星半導體等眾多設(shè)備廠批量供貨,且品質(zhì)得到認可,同時也完成了對半導體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證。與其他廠家閘閥的金屬與金屬接觸驅(qū)動會產(chǎn)生大量顆粒不同,微泰半導體閘閥采用鋼陶瓷球,在與金屬摩擦時不會損壞,且金屬與陶瓷球之間不會產(chǎn)生 Particle。半永久板簧(S...

  • CVD閘閥HV GATE VALVE
    CVD閘閥HV GATE VALVE

    微泰,大閘閥、大型閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴散)?CVD(化學氣相沉積)等設(shè)備上。可替代VAT閘閥。微泰大閘閥、大型閘閥其特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:用于研發(fā)和工業(yè)的隔離閥。大閘閥、大型閘閥規(guī)格如下:驅(qū)動方式:氣動、法蘭尺寸(內(nèi)徑):16? ~ 30?、 法蘭型:...

  • 電動閘閥
    電動閘閥

    微泰,多位閘閥,多位置閘閥,多定位閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴散)?CVD(化學氣相沉積)等設(shè)備上??商娲鶹AT閘閥。微泰多位閘閥,多位置閘閥,多定位閘閥其特點是?操作模式:本地和遠程?緊急情況:自動關(guān)閉?慢速泵送功能。多位閘閥,多位置閘閥,多定位閘閥規(guī)格如下:材料:閥體 STS304, 機制 STS3...

  • HV閘閥HV GATE VALVE
    HV閘閥HV GATE VALVE

    微泰半導體閘閥的特點:已向中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設(shè)備,設(shè)備廠批量供貨,已得到品質(zhì)認可,已完成對半導體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證。1,采用陶瓷球機構(gòu),抗沖擊和震動,保證使用25萬次,檢修方便,較低維護成本。2,無Particle(顆粒)產(chǎn)生,采用陶瓷球無腐蝕和顆粒產(chǎn)。3,屏蔽保護:屏蔽式保護功能,閘閥閥體與擋板之間的距離小于1mm,可防止粉末侵入閥內(nèi),壽命為半永久性。4,保護環(huán):Protecrion Ring通過流速上升設(shè)計防止粉末凝固,并通過打磨(研磨...

  • 超大型真空閘閥氣動閥
    超大型真空閘閥氣動閥

    微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,一、控制系統(tǒng)閘閥??刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,以滑動方式操作,可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導體等高真空工藝應(yīng)用。控制系統(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力。二、蝶閥。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu),通過閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導體和工業(yè)過程。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值,保持一致的真空壓力。三、多定位閘閥。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器,可以在本地和遠程模式下操作。它還具有緊急關(guān)閉功能,...

  • 定制閘閥ALUMINUM GATE VALVE
    定制閘閥ALUMINUM GATE VALVE

    微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,步進電機插板閥Stepper Motor Gate Valve,-產(chǎn)品范圍:2.5“~10”-壓力控制-使用步進電機Stepper Motor GV,- Product Range : 2.5” ~ 10”- Pressure Controlled- Using Stepper Motor,用步進電機/控制器操作閥門-通過步進電機/控制器精確控制閥門的壓力-根據(jù)產(chǎn)品的不同,控制器可以安裝在客戶需要的地方,微泰,步進電機插板閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD...

  • 閘閥蝶形控制閥
    閘閥蝶形控制閥

    半導體真空插板閥是一種用于半導體制造過程中的真空系統(tǒng)的閥門,主要作用是控制氣體的流動,以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定。微泰半導體真空腔體用閘閥(插板閥)其特點包括:1. 高密封性:采用特殊的密封結(jié)構(gòu),能夠有效地防止氣體泄漏,保證真空系統(tǒng)的密封性。2. 耐腐蝕性:材料具有良好的耐腐蝕性,能夠在半導體制造過程中的化學物質(zhì)環(huán)境中穩(wěn)定工作。3. 高精度:能夠精確地控制氣體的流量,滿足半導體制造工藝對精度的要求。4. 快速響應(yīng):可以快速地開啟和關(guān)閉,以適應(yīng)半導體制造過程中的快速氣體控制需求。5. 可靠性高:設(shè)計和制造過程嚴格,保證了其在長期使用中的可靠性和穩(wěn)定性。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Mi...

  • 超真空閘閥蝶形控制閥
    超真空閘閥蝶形控制閥

    微泰,蝶閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴散)?CVD(化學氣相沉積)等設(shè)備上??商娲鶹AT閘閥。微泰蝶閥其特點是? 主體材料:鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 高性能集成控制器? 使用維修零件套件輕松維護? 應(yīng)用:半導體和工業(yè)過程的壓力控制。蝶閥規(guī)格如下:法蘭尺寸(內(nèi)徑):DN40、DN50、饋通:旋轉(zhuǎn)饋通、閥門密封:...

  • 控制閘閥閘板閥
    控制閘閥閘板閥

    微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,晶圓輸送閥Transfer Valve,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。采用L型輸送閥L-motion防止產(chǎn)生微粒(Particle),無需從設(shè)備上拆卸閥門,即可更換閘門和O形圈。大量采用缸套運動導軌Liner (motion guide),實現(xiàn)高精度、高耐用性.微泰晶圓輸送閥L型輸送閥L-motion,Transfer Valve,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西...

  • 電動閘閥Micron
    電動閘閥Micron

    微泰,屏蔽閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? 濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)? Coating(涂層)? Etch? Diffusion?CVD(化學氣相沉積)等設(shè)備上??商娲鶹AT閘閥。其特點是*閥體和阻斷器之間的間隙小于1mm*防止流入的氣體(粉末)進入閥體內(nèi)部*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:隔離泵,氣流中的高水平工藝。屏蔽閘閥規(guī)格如下:驅(qū)動方式:手動或氣動、法蘭尺寸:2.5英寸~ 10英寸、法蘭類型:ISO, JIS, ASA, CF、連接方式:焊接波紋管、閥門密封:氟橡膠O型...

  • 超高壓閘閥氣動閥
    超高壓閘閥氣動閥

    微泰,控制系統(tǒng)閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴散)?CVD(化學氣相沉積)等設(shè)備上。可替代VAT閘閥。其特點是? 主體材質(zhì):不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 帶步進電機的集成壓力控制器? 應(yīng)用:需要壓力控制和隔離的地方??刂葡到y(tǒng)閘閥規(guī)格如下:法蘭尺寸(ID):1.5英寸~ 10英寸、材料:閥體(STS304)/機構(gòu)STS...

  • 轉(zhuǎn)移閘閥L型轉(zhuǎn)移閥
    轉(zhuǎn)移閘閥L型轉(zhuǎn)移閥

    微泰半導體閘閥的特點:已向中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設(shè)備,設(shè)備廠批量供貨,已得到品質(zhì)認可,已完成對半導體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證。1,采用陶瓷球機構(gòu),抗沖擊和震動,保證使用25萬次,檢修方便,較低維護成本。2,無Particle(顆粒)產(chǎn)生,采用陶瓷球無腐蝕和顆粒產(chǎn)。3,屏蔽保護:屏蔽式保護功能,閘閥閥體與擋板之間的距離小于1mm,可防止粉末侵入閥內(nèi),壽命為半永久性。4,保護環(huán):Protecrion Ring通過流速上升設(shè)計防止粉末凝固,并通過打磨(研磨...

  • 電動閘閥BUTTERFLY VALVE
    電動閘閥BUTTERFLY VALVE

    微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥Heating gate valve,加熱插板閥,加熱閘閥,加熱器的加熱溫度為180-200度(可通過控制器設(shè)置溫度)-規(guī)格:適用雙金屬(達到200度時,斷電后溫度下降后重新啟動),應(yīng)用于去除粉末/氣體設(shè)備。微泰,加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴散)?CVD(化學氣相沉積)等設(shè)備上。加熱閘閥規(guī)格如下:驅(qū)動方式:手動或氣動、法蘭尺寸:1.5英寸~ 12英寸、法...

  • HVA閘閥BUTTERFLY VALVE
    HVA閘閥BUTTERFLY VALVE

    微泰,蝶閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴散)?CVD(化學氣相沉積)等設(shè)備上。可替代VAT閘閥。微泰蝶閥其特點是? 主體材料:鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 高性能集成控制器? 使用維修零件套件輕松維護? 應(yīng)用:半導體和工業(yè)過程的壓力控制。蝶閥規(guī)格如下:法蘭尺寸(內(nèi)徑):DN40、DN50、饋通:旋轉(zhuǎn)饋通、閥門密封:...

  • 大型閘閥插板閥
    大型閘閥插板閥

    微泰控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導體CVD設(shè)備中的主要閥門??刂葡到y(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,通過控制系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)閘板的開啟和關(guān)閉。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類:控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥、多定位閘閥??刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進電機操作,而多定位閘閥使用氣動控制操作。一、控制系統(tǒng)閘閥??刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,以滑動方式操作,可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導體等高真空工藝應(yīng)用??刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力。二、蝶閥。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu),通過閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導體和工業(yè)過程。蝶閥通過控...

  • 全真空可嵌入閘閥Micron
    全真空可嵌入閘閥Micron

    微泰,定制大型轉(zhuǎn)移閥,定制大型輸送閥,?應(yīng)用:大型涂層系統(tǒng)。定制大型轉(zhuǎn)移閥,定制大型輸送閥規(guī)格如下:驅(qū)動方式:氣動、法蘭尺寸:(內(nèi)徑)80×500、(內(nèi)徑)100×400、(內(nèi)徑)200×1800、(內(nèi)徑)650×1050等法蘭類型:定制、饋通焊接波紋管/O形密封圈、閥門密封:氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封:氟橡膠O型圈、響應(yīng)時間:≤ 2 sec、操作壓力范圍:1×10-10 mbar to 1400 mbar 、開始時的壓差:≤ 30 mbar、閘門上的壓差≤1000 mbar、泄漏率:泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒、維護前可用次數(shù):10,000 ~ 200,...

  • 手動閘閥角控制閥
    手動閘閥角控制閥

    微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,鋁閘閥(AL Gate Valve)-產(chǎn)品范圍:1.5英寸~10英寸-12英寸可生產(chǎn)的產(chǎn)品尺寸,閥體材料:鋁、氣動、緊湊設(shè)計、重量輕。閘門,閥蓋密封:Viton O-Ring使用次數(shù):100000次,易于維護,低顆粒(陶瓷球機構(gòu))。- Body Material : Aluminum - Pneumatic - Compact Design- Light of weight - Gate, Bonnet Seal : Viton O-Ring - Cycles until first service : 100,000 - Easy Mainten...

  • Etch閘閥BUTTERFLY VALVE
    Etch閘閥BUTTERFLY VALVE

    微泰高壓閘閥可以應(yīng)用于多種設(shè)備,如蒸發(fā)、濺射、金剛石生長、PECV、PVD集群、卷對卷、涂層、蝕刻、擴散和CVD等。它具有陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒和易于維護等特點,可替代VAT閘閥。該閥門的規(guī)格包括手動或氣動驅(qū)動方式、1.5英寸至14英寸的法蘭尺寸、CF法蘭類型、焊接波紋管連接方式、氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM閥門密封、氟橡膠O型圈閥蓋密封、≤2秒響應(yīng)時間、1.5?至6?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1400 mbar,8?至14?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1200 mbar、≤30 mbar的開始時壓差、≤1400 mbar的6?以下閘門差動壓力和≤...

  • 蒸發(fā)閘閥UMC
    蒸發(fā)閘閥UMC

    微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,一、控制系統(tǒng)閘閥。控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,以滑動方式操作,可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導體等高真空工藝應(yīng)用??刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力。二、蝶閥。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu),通過閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導體和工業(yè)過程。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值,保持一致的真空壓力。三、多定位閘閥。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器,可以在本地和遠程模式下操作。它還具有緊急關(guān)閉功能,...

  • 多位閘閥HV GATE VALVE
    多位閘閥HV GATE VALVE

    微泰半導體閘閥具有諸多特點:首先,它已向中國臺灣的 Micron、UMC、AKT 等,新加坡的 Micron、Global Foundries,馬來西亞的英菲尼亞半導體,日本的 Micron、三星半導體等眾多設(shè)備廠批量供貨,且品質(zhì)得到認可,同時完成了對半導體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證。其次,該閘閥采用陶瓷球機構(gòu),具有良好的抗沖擊和震動性能,保證可使用 25 萬次,且檢修方便,維護成本較低。它無 Particle 產(chǎn)生,采用陶瓷球不會有腐蝕和顆粒產(chǎn)生。此外,它還具有屏蔽保護功能,閘閥閥體與擋板之間的距離小于 1mm,能有效防止粉末侵入閥內(nèi),壽命為半永久性。其保護環(huán)設(shè)計也很獨特,P...

  • 蝕刻閘閥三星半導體
    蝕刻閘閥三星半導體

    微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥蝶閥Butterfly Valve。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu),通過閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導體和工業(yè)過程。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值,保持一致的真空壓力??梢栽诟哒婵窄h(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導體等高真空工藝應(yīng)用。控制系統(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力。微泰半導體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation(蒸發(fā))、Sputtering(濺射)、Diamond growth by MW-PACVD(通過 MW-PACVD 生長金剛石)、PECV、...

  • 高壓閘閥Micron
    高壓閘閥Micron

    半導體真空插板閥是一種用于半導體制造過程中的真空系統(tǒng)的閥門,主要作用是控制氣體的流動,以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定。微泰半導體真空腔體用閘閥(插板閥)其特點包括:1. 高密封性:采用特殊的密封結(jié)構(gòu),能夠有效地防止氣體泄漏,保證真空系統(tǒng)的密封性。2. 耐腐蝕性:材料具有良好的耐腐蝕性,能夠在半導體制造過程中的化學物質(zhì)環(huán)境中穩(wěn)定工作。3. 高精度:能夠精確地控制氣體的流量,滿足半導體制造工藝對精度的要求。4. 快速響應(yīng):可以快速地開啟和關(guān)閉,以適應(yīng)半導體制造過程中的快速氣體控制需求。5. 可靠性高:設(shè)計和制造過程嚴格,保證了其在長期使用中的可靠性和穩(wěn)定性。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Mi...

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