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氟化氫的生產(chǎn)并不難，但要想應(yīng)用到電子行業(yè)，就必須做到非常精密的提純，而難就難在了提純上?，F(xiàn)行的提純手法主要是利用氟化氫的揮發(fā)性以及不同物質(zhì)沸點(diǎn)不同，采用精餾、蒸餾、亞沸蒸餾、減壓蒸餾、氣體吸收等技術(shù)對(duì)氟化氫進(jìn)行純化。在此過程中，要把三價(jià)砷的氟化物氧化成五價(jià)，避免它跟著氟化氫一起蒸餾出來。然后用高純水溶解氟化氫，再過超濾膜過濾雜質(zhì)，之后進(jìn)行檢驗(yàn)和無塵灌裝。在技術(shù)方面，中國是完全有能力生產(chǎn)高純度氟化氫的。但較大的困難在整個(gè)氟化氫產(chǎn)業(yè)鏈條上，高純度氟化氫的生產(chǎn)對(duì)技術(shù)和工藝的要求都非常高，操作中相應(yīng)設(shè)備的運(yùn)行和操作需要緊密結(jié)合才能減少由于操作失誤或者不夠精確對(duì)于氫氟酸的提取產(chǎn)生影響。并且需要長期的測(cè)試...

“電子氫氟酸在集成電路、半導(dǎo)體制作、太陽能光伏和液晶顯示屏等領(lǐng)域應(yīng)用普遍，是微電子行業(yè)生產(chǎn)所需的關(guān)鍵基礎(chǔ)化工原材料之一?！彪娮蛹?jí)氫氟酸是微電子行業(yè)的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一， 主要用于集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路(VLSI)制造中 ，用于晶圓表面清洗、芯片加工過程中的清洗和蝕刻等工序。在太陽能光伏行業(yè)中，用于硅片表面清洗、蝕劑等領(lǐng)域。硅錠到硅片，再到電池片的一道工藝程序：清洗制絨環(huán)節(jié)會(huì)用到產(chǎn)品。在液晶顯示器行業(yè)，用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蝕劑等。在TFT—LCD、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中也被普遍使用。還可用作分析試劑、原子能工業(yè)化學(xué)試劑和制備高純度的含氟化學(xué)品。在使用氫氟酸時(shí)必須使用高效的通風(fēng)...

目前，因各微電子生產(chǎn)企業(yè)對(duì)電子級(jí)氫氟酸要求的標(biāo)準(zhǔn)不同，可將其劃分為四個(gè)檔次：①低檔產(chǎn)品，用于>1.2μmIC工藝技術(shù)的制作；②中低檔產(chǎn)品，適用于0.8～1.2μmIC工藝技術(shù)的制作；③中優(yōu)越產(chǎn)品，適用于0.2～0.6μmIC工藝技術(shù)的制作；④優(yōu)越產(chǎn)品，適用于0.09～0.2μm和＜0.09μm IC工藝技術(shù)的制作。產(chǎn)品包裝方法：采用高密度聚乙烯（或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯）專業(yè)密封工藝制造塑料桶25公斤桶裝。高純水是生產(chǎn)電子氫氟酸中不可缺少的原料,也是包裝容器的清洗劑,其純度將直接影響到電子級(jí)氫氟酸的產(chǎn)品質(zhì)量。高純水的主要控制指標(biāo)是電阻率和固體顆粒,其他輔助指標(biāo)有可氧化的總碳...

雖然氟化工下游應(yīng)用廣闊，但從螢石到大部分下游產(chǎn)品都需要經(jīng)過氫氟酸這 道工序，工業(yè)上通常采用濃硫酸與酸級(jí)螢石精粉（氟化鈣純度高于 97%）反應(yīng)， 經(jīng)過蒸餾、冷凝等過程生產(chǎn)無水氫氟酸。作為毒性化學(xué)品，無水氫氟酸也被列入 重要化學(xué)品監(jiān)管范圍，生產(chǎn)過程中也會(huì)產(chǎn)生廢水、廢氣、固體廢物、噪音等污染。供給端，截至 2023 年 1 月，我國無水氫氟酸總產(chǎn)能大概 286.6 萬噸，生 產(chǎn)企業(yè)大部分規(guī)模較小，產(chǎn)能規(guī)模在 6 萬噸以下的比例接近 60%，主要集中在浙 江、福建、江蘇、山東、江西、內(nèi)蒙古等地，行業(yè)存在布局分散、工藝技術(shù)落后、 消耗高、污染重的問題，正常情況下行業(yè)開工率在 60%上下波動(dòng)。氫氟酸的使用...

“電子氫氟酸在集成電路、半導(dǎo)體制作、太陽能光伏和液晶顯示屏等領(lǐng)域應(yīng)用普遍，是微電子行業(yè)生產(chǎn)所需的關(guān)鍵基礎(chǔ)化工原材料之一?！彪娮蛹?jí)氫氟酸是微電子行業(yè)的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一， 主要用于集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路(VLSI)制造中 ，用于晶圓表面清洗、芯片加工過程中的清洗和蝕刻等工序。在太陽能光伏行業(yè)中，用于硅片表面清洗、蝕劑等領(lǐng)域。硅錠到硅片，再到電池片的一道工藝程序：清洗制絨環(huán)節(jié)會(huì)用到產(chǎn)品。在液晶顯示器行業(yè)，用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蝕劑等。在TFT—LCD、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中也被普遍使用。還可用作分析試劑、原子能工業(yè)化學(xué)試劑和制備高純度的含氟化學(xué)品。吸入氫氟酸氣體或進(jìn)食含氫氟酸的物...

根據(jù)市場(chǎng)調(diào)研在線網(wǎng)發(fā)布的2023-2029年中國電子級(jí)氫氟酸市場(chǎng)消費(fèi)調(diào)研及投資風(fēng)險(xiǎn)研究報(bào)告分析，未來幾年中國電子級(jí)氫氟酸行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模將會(huì)繼續(xù)增長，到2023年，中國電子級(jí)氫氟酸行業(yè)總產(chǎn)值將達(dá)到564.4億元，較2019年增長27.1%。此外，中國電子級(jí)氫氟酸行業(yè)發(fā)展前景可觀。近年來，中國相關(guān)單位加大了對(duì)電子級(jí)氫氟酸行業(yè)的支持力度，鼓勵(lì)企業(yè)投資研發(fā)，推動(dòng)行業(yè)發(fā)展。此外，國家對(duì)電子級(jí)氫氟酸行業(yè)的監(jiān)管也越來越嚴(yán)格，對(duì)違規(guī)行為加大了懲罰力度，從而使行業(yè)發(fā)展更加有序化。因此，未來幾年中國電子級(jí)氫氟酸行業(yè)發(fā)展前景可觀。之，中國電子級(jí)氫氟酸行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模正在不斷擴(kuò)大，未來幾年市場(chǎng)規(guī)模將會(huì)有所增長，中國電子級(jí)氫...

氫氟酸是現(xiàn)代氟化工的基礎(chǔ)，是整個(gè)氟化工產(chǎn)業(yè)鏈的起點(diǎn)，是制取元素氟、各種含氟制冷劑、含氟新材料、無機(jī)氟化鹽和有機(jī)氟化物等的基本原料。據(jù)了解，2020年世界無水氟化氫產(chǎn)能大約在370萬噸，中國無水氟化氫產(chǎn)能占全球的67%，是一大生產(chǎn)國。自然界中含氟礦物質(zhì)多達(dá)一百多種，但目前作為生產(chǎn)氫氟酸的原料能加以利用的只限于螢石和磷礦石兩種。其中螢石是氟元素的較主要來源，能夠提取制備氟元素及其各種化合物，約94%的氫氟酸來源于螢石精礦。螢石是一種可以提煉大量氟元素礦物，因此普遍用作現(xiàn)代工業(yè)的重要礦物原料，且具有相當(dāng)?shù)牟豢商娲?。氫氟酸可以用于清洗玻璃和金屬表面。電子?jí)氫氟酸多少錢各國標(biāo)準(zhǔn)中所采用的原理是一致，對(duì)...

泄漏應(yīng)急處理：泄漏：迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū)，并進(jìn)行隔離，嚴(yán)格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防酸堿工作服。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源，防止進(jìn)入下水道、排洪溝等限制性空間。小量泄露：用砂土、干燥石灰或蘇打灰混合。也可用大量水沖洗，洗水稀釋后放入廢水系統(tǒng)。大量泄露：構(gòu)筑圍堤或挖坑收容；用泵轉(zhuǎn)移至槽車或?qū)I(yè)收集器內(nèi)，回收或運(yùn)至廢物處理場(chǎng)所處置。滅火方法：燃燒性：不燃。滅火劑：霧狀水、泡沫。滅火注意事項(xiàng)：消防人員必須佩戴氧氣呼吸器、穿全身防護(hù)服。食入：1、若患者即將喪失意識(shí)、已經(jīng)失去意識(shí)或痙攣，勿經(jīng)口喂食任何東西。2、用冷水徹底漱口。3、切勿催吐。4、讓患者喝下240...

氫氟酸是氟化氫氣體的水溶液,為無色透明至淡顏色發(fā)煙液體。有泛酸性氣味。分子式 HF-H2O。相對(duì)密度 1.15～1.18。沸點(diǎn) 112.2℃。氫氟酸是一種劇毒和強(qiáng)腐蝕性的物質(zhì)。其本身易揮發(fā)并且能與水完全互溶而引起強(qiáng)烈腐蝕。氫氟酸對(duì)金屬材料的腐蝕現(xiàn)象主要有：(一)均勻腐蝕：氫氟酸對(duì)金屬材料的腐蝕是電化學(xué)腐蝕。其腐蝕是按電化學(xué)過程進(jìn)行，即陽極產(chǎn)生金屬溶解(均勻腐蝕)，陰極析出氫。(二)氫鼓泡和氫脆。氫氟酸介質(zhì)與碳鋼接觸生成氟化鐵和氫原子： Fe+2HF→FeF2+H2　 氟化鐵是一種致密的銹蝕物，附在金屬表面形成一種保護(hù)膜，使氟化氫的擴(kuò)散速度降低。對(duì)設(shè)備起到保護(hù)作用。但當(dāng)介質(zhì)溫度超過65℃時(shí)，該層...

電子級(jí)氫氟酸的生產(chǎn)壁壘在于對(duì)金屬離子含量的高標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體中的金屬離 子雜質(zhì)會(huì)影響半導(dǎo)體中少子的壽命、表面的導(dǎo)電性、門氧化物的完整性和穩(wěn)定性 等參數(shù)，且金屬離子雜質(zhì)在高溫下或電場(chǎng)下會(huì)向半導(dǎo)體本體擴(kuò)散或在表面擴(kuò)大分 布，導(dǎo)致半導(dǎo)體性能下降，因此氫氟酸對(duì)其中的金屬離子含量有比較嚴(yán)格的要求， 且適用的晶圓半徑越大，制程越好，對(duì)金屬離子含量的要求越高。半導(dǎo)體用的氫 氟酸所有單項(xiàng)金屬雜質(zhì)的質(zhì)量分?jǐn)?shù)≤0.1μg/L，對(duì)應(yīng) SEMI 為 G4 以上等級(jí)的氫氟 酸，對(duì)應(yīng)國內(nèi)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)則是 UP-SS 及以上等級(jí)的氫氟酸。對(duì)于現(xiàn)在國際上主流的 12 寸晶圓，其制造過程中需要金屬離子含量低于 0.0001μg/L，對(duì)...

在使用、儲(chǔ)存、處置氫氟酸時(shí)，首先需要了解該物質(zhì)的理化特性、健康危害性以及安全處置與防護(hù)措施等。在工作場(chǎng)所職業(yè)接觸和發(fā)生意外泄漏事故等情況時(shí)，都可能發(fā)生暴露接觸導(dǎo)致的健康和環(huán)境污染危害。個(gè)人應(yīng)當(dāng)采取的防護(hù)措施也因適用的場(chǎng)所和情景不同而異。一、氫氟酸的GHS危險(xiǎn)性分類.中文名稱：氫氟酸,英文名稱：Hydrofluoric acidCAS登記號(hào)： 7664-39-3根據(jù)歐盟對(duì)氫氟酸GHS 危險(xiǎn)性分類和標(biāo)簽要求。其主要危害性為：（1）急性毒性 ：類別1（經(jīng)皮膚）或類別2（經(jīng)口和吸入）。其危害說明：H300+H310+H330: 如果吞咽、與皮膚接觸或吸入致命。（2）皮膚腐蝕性：類別1A 。其危害說明：...

氟化工是指產(chǎn)品分子結(jié)構(gòu)中含氟元素的化工子行業(yè)，是我國具有特色資源的優(yōu)勢(shì)產(chǎn)業(yè)，產(chǎn)業(yè)水平在國際上具有較高的地位。同時(shí)也為發(fā)展優(yōu)越制造業(yè)、環(huán)保、新能源、新材料等其他戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)提供重要輔助材料。近年來，隨著技術(shù)進(jìn)步和需求的增長，氟產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域開始從傳統(tǒng)行業(yè)向電子、能源、環(huán)保、生物醫(yī)藥等新領(lǐng)域滲透。在新能源領(lǐng)域，氟化工產(chǎn)品現(xiàn)已成為鋰離子電池、燃料電池、太陽能電池、風(fēng)能、核能等新能源領(lǐng)域的關(guān)鍵材料之一。據(jù)中國化工報(bào)統(tǒng)計(jì)，目前我國氟化工相關(guān)企業(yè)約1000家，近年來我國氟化工基礎(chǔ)及通用產(chǎn)品產(chǎn)量占全球的55%以上，現(xiàn)已成為世界較大的氟化工產(chǎn)品生產(chǎn)國及消費(fèi)國，年產(chǎn)值超過600億元，產(chǎn)業(yè)年增速在15%以上。伴隨未...

生產(chǎn)雕花玻璃過程所依據(jù)的化學(xué)原理是:由于Si—F鍵的鍵能大于Si—O鍵的鍵能，因此，氫氟酸中的F與玻璃中的Si能夠形成性能更為穩(wěn)定的Si—F鍵，迫使SiO2中的Si—O鍵斷裂，生成具有揮發(fā)性能的四氟化硅氣體（SiF4)，并放出熱量，該反應(yīng)在常溫下便可進(jìn)行。其化學(xué)反應(yīng)方程式為：SiO2+4HF=SiF4（氣體）+2H2O。那氫氟酸到底是什么呢？氫氟酸是氟化氫氣體的水溶液，為無色透明至淡黃色冒煙液體，具有刺激性氣味。氫氟酸較明顯的特點(diǎn)是腐蝕性非常強(qiáng)，它能和大多數(shù)金屬、非金屬發(fā)生反應(yīng)。此外，氫氟酸還對(duì)硅的化合物具有強(qiáng)腐蝕性，將氟化氫氣體溶于水得到的氫氟酸溶液可用于雕刻玻璃，因?yàn)闅浞峥梢耘c玻璃的主要...

氟化氫鋼瓶貯存于陰涼、通風(fēng)、室內(nèi)溫度不超過40℃的倉庫內(nèi)。嚴(yán)禁煙火，遠(yuǎn)離火種、熱源，防止陽光直射和雨淋；氣瓶應(yīng)載有安全保護(hù)帽，直立存放并固定。倉庫內(nèi)設(shè)置泄漏檢測(cè)報(bào)警裝置，備有止漏及緊急處理裝置（如自動(dòng)噴淋裝置等），定期檢查，做好記錄。在有氧存在時(shí)，銅很快被HF腐蝕，但無氧化劑時(shí)，則不會(huì)反應(yīng)；某些合金如蒙乃爾合金對(duì)HF有很好的抗腐蝕性，但不銹鋼的抗腐蝕性很差，在溫度不太高時(shí)，碳鋼也具有足夠的耐蝕能力。氟化氫不可燃，但與一些物質(zhì)（如鈉、氧化鈣、硝酸甲酯、氯酸鈉等）混合接觸時(shí)有危險(xiǎn)性在電子工業(yè)中，無水氟化氫用于電解合成三氟化氮的原料，半導(dǎo)體制造工藝中的刻蝕劑等。在使用氫氟酸時(shí)必須避免暴露于長時(shí)間高溫...

操作注意事項(xiàng)：密閉操作，注意通風(fēng)。操作盡可能機(jī)械化、自動(dòng)化。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴自吸過濾式防毒面具（全面罩），穿橡膠耐酸堿服，戴橡膠耐酸堿手套。防止蒸氣泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與堿類、活性金屬粉末、玻璃制品接觸。搬運(yùn)時(shí)要輕裝輕卸，防止包裝及容器損壞。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。倒空的容器可能殘留有害物。儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不超過30℃，相對(duì)濕度不超過85%。保持容器密封。應(yīng)與堿類、活性金屬粉末、玻璃制品分開存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備和合適的收容材料。監(jiān)測(cè)方法：離子選擇性電極法；氟試劑－鑭鹽比色法。氫氟酸的...

目前工業(yè)級(jí)氫氟酸較主要的下游應(yīng)用是氟烷烴，主要對(duì)應(yīng)制冷劑，下游對(duì)應(yīng)冰箱、空調(diào)、冰柜、汽車等，近年來下游需求較為平穩(wěn)。目前主流的晶體六氟磷酸鋰合成方式利用工業(yè)級(jí)無水氟化氫&五氯化磷&氟化鋰為關(guān)鍵原材料，單噸消耗無水氟化氫約在1.1-1.4噸，加上PVDF、FEC等產(chǎn)品，預(yù)計(jì)單GWh氫氟酸需求在200噸左右，2030年氫氟酸需求100萬噸以上。用于制造氟化鈉、氟化鋁、六氟的化鈾、氟碳化合物、冰晶石等無機(jī)及有機(jī)氟化物。有機(jī)合成工業(yè)中用作聚合、縮合及烷基化的促進(jìn)劑。石油化工中用作催化劑。也用于玻璃儀表、器皿及鏡子的刻花、刻字，非鐵金屬及不銹鋼酸洗，金屬鑄件除砂，磨砂燈泡處理。還用來制造殺蟲劑、殺細(xì)菌劑...

就我國氫氟酸產(chǎn)能區(qū)域分布情況而言，目前我國氫氟酸產(chǎn)能分布在全國各省份，與螢石生產(chǎn)企業(yè)分布相似，以江西、福建、浙江、內(nèi)蒙古為主，分別占比達(dá)19%、16%、13%和18%。全球高純度氫氟酸的生產(chǎn)技術(shù)和供給主要被Stella、、森田化學(xué)等日企所掌握，由于行業(yè)壁壘高，技術(shù)工藝難以突破，我國電子級(jí)氫氟酸行業(yè)起步較晚。近年來，國內(nèi)氟化氫行業(yè)發(fā)展也將更多重心轉(zhuǎn)向高純度氫氟酸上。2015年前我國氫氟酸產(chǎn)能基本保持在220萬噸左右，隨“供給側(cè)改變”低端產(chǎn)能陸續(xù)淘汰出清，市場(chǎng)集中度有所提高，隨著行業(yè)回暖，產(chǎn)能有所回升，目前國內(nèi)氫氟酸單家企業(yè)年產(chǎn)能多為3萬-7萬噸/年，行業(yè)中小裝置居多、較為分散，以浙江公司15萬噸...

由于氫氟酸溶解氧化物的能力，它在鋁和鈾的提純中起著重要作用。氫氟酸也用來蝕刻玻璃，可以雕刻圖案、標(biāo)注刻度和文字；半導(dǎo)體工業(yè)使用它來除去硅表面的氧化物，在煉油廠中它可以用作異丁烷和正丁烯的烷基化反應(yīng)的催化劑，除去不銹鋼表面的含氧雜質(zhì)的“浸酸”過程中也會(huì)用到氫氟酸。氫氟酸也用于多種含氟有機(jī)物的合成，比如Teflon（聚四氟乙烯）還有氟利昂一類的致冷劑。氫氟酸和熔融氫氧化鈉都能用于微絲表面玻璃包覆層的去除，室溫下氫氟酸去除厚度為10 μm的玻璃包覆層的時(shí)間大約為150s，熔融氫氧化鈉大約需要10 s；玻璃的成分和結(jié)構(gòu)是影響玻璃包覆純銅微絲耐腐蝕性能的重要因素。采用熔融紡絲法制備了玻璃包覆純銅微絲，對(duì)...

濃度低時(shí)因形成氫鍵具有弱酸性，但濃時(shí)（5mol/L以上）會(huì)發(fā)生自偶電離，此時(shí)氫氟酸就是酸性很強(qiáng)的酸了。液態(tài)氟化氫是酸性很強(qiáng)的酸，酸度與無水硫酸相當(dāng)，但較氟磺酸弱。 [3] 腐蝕性強(qiáng)，對(duì)牙、骨損害較嚴(yán)重。對(duì)硅的化合物有強(qiáng)腐蝕性。應(yīng)在密閉的塑料瓶內(nèi)保存。用HF（氟化氫）溶于水而得。用于雕刻玻璃、清洗鑄件上的殘砂、控制發(fā)酵、電拋光和清洗腐蝕半導(dǎo)體硅片（與HNO3的混酸）。因?yàn)闅湓雍头娱g結(jié)合的能力相對(duì)較強(qiáng)，使得氫氟酸在水中不能完全電離。氫氟酸能夠溶解很多其他酸都不能溶解的玻璃（主要成分：二氧化硅），生成氣態(tài)的四氟化硅反應(yīng)方程式如下：SiO2(s)+4HF(aq)=SiF4(g)↑+2H2O(l)...

操作注意事項(xiàng)：密閉操作，注意通風(fēng)。操作盡可能機(jī)械化、自動(dòng)化。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴自吸過濾式防毒面具（全面罩），穿橡膠耐酸堿服，戴橡膠耐酸堿手套。防止蒸氣泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與堿類、活性金屬粉末、玻璃制品接觸。搬運(yùn)時(shí)要輕裝輕卸，防止包裝及容器損壞。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。倒空的容器可能殘留有害物。儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不超過30℃，相對(duì)濕度不超過85%。保持容器密封。應(yīng)與堿類、活性金屬粉末、玻璃制品分開存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備和合適的收容材料。監(jiān)測(cè)方法：離子選擇性電極法；氟試劑－鑭鹽比色法。氫氟酸的...

操作注意事項(xiàng)：密閉操作，注意通風(fēng)。操作盡可能機(jī)械化、自動(dòng)化。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴自吸過濾式防毒面具（全面罩），穿橡膠耐酸堿服，戴橡膠耐酸堿手套。防止蒸氣泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與堿類、活性金屬粉末、玻璃制品接觸。搬運(yùn)時(shí)要輕裝輕卸，防止包裝及容器損壞。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。倒空的容器可能殘留有害物。儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不超過30℃，相對(duì)濕度不超過85%。保持容器密封。應(yīng)與堿類、活性金屬粉末、玻璃制品分開存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備和合適的收容材料。監(jiān)測(cè)方法：離子選擇性電極法；氟試劑－鑭鹽比色法。在處理含...

操作注意事項(xiàng)：密閉操作，注意通風(fēng)。操作盡可能機(jī)械化、自動(dòng)化。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴自吸過濾式防毒面具（全面罩），穿橡膠耐酸堿服，戴橡膠耐酸堿手套。防止蒸氣泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與堿類、活性金屬粉末、玻璃制品接觸。搬運(yùn)時(shí)要輕裝輕卸，防止包裝及容器損壞。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。倒空的容器可能殘留有害物。儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不超過30℃，相對(duì)濕度不超過85%。保持容器密封。應(yīng)與堿類、活性金屬粉末、玻璃制品分開存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備和合適的收容材料。監(jiān)測(cè)方法：離子選擇性電極法；氟試劑－鑭鹽比色法。氫氟酸可...

電子級(jí)氫氟酸的生產(chǎn)壁壘在于對(duì)金屬離子含量的高標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體中的金屬離 子雜質(zhì)會(huì)影響半導(dǎo)體中少子的壽命、表面的導(dǎo)電性、門氧化物的完整性和穩(wěn)定性 等參數(shù)，且金屬離子雜質(zhì)在高溫下或電場(chǎng)下會(huì)向半導(dǎo)體本體擴(kuò)散或在表面擴(kuò)大分 布，導(dǎo)致半導(dǎo)體性能下降，因此氫氟酸對(duì)其中的金屬離子含量有比較嚴(yán)格的要求， 且適用的晶圓半徑越大，制程越好，對(duì)金屬離子含量的要求越高。半導(dǎo)體用的氫 氟酸所有單項(xiàng)金屬雜質(zhì)的質(zhì)量分?jǐn)?shù)≤0.1μg/L，對(duì)應(yīng) SEMI 為 G4 以上等級(jí)的氫氟 酸，對(duì)應(yīng)國內(nèi)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)則是 UP-SS 及以上等級(jí)的氫氟酸。對(duì)于現(xiàn)在國際上主流的 12 寸晶圓，其制造過程中需要金屬離子含量低于 0.0001μg/L，對(duì)...

氫氟酸液體通常是工業(yè)用于除銹或洗冷氣機(jī)使用，它較特殊的地方是不可存放在玻璃容器內(nèi)，必須以塑膠容器存放，具強(qiáng)烈腐蝕性，不但傷害皮膚，且非常容易侵蝕骨骼與肌肉，化學(xué)成分更會(huì)隨著血液進(jìn)入人體，危及生命，氫氟酸灼傷因初期皮膚沒有癥狀，易被誤認(rèn)為灼傷，錯(cuò)失防治時(shí)機(jī)，有些患者之后截肢。氫氟酸具有強(qiáng)烈的腐蝕性，能夠溶解很多其他酸液都不能溶解的玻璃，因此須儲(chǔ)存在塑料容器中。氫氟酸無色但有刺激性味道，腐蝕力如武俠小說中的“化骨水”，通常用于工業(yè)除銹或清洗，如半導(dǎo)體、主機(jī)板業(yè)、石化業(yè)、核電物質(zhì)及冷媒等行業(yè)及大學(xué)以上實(shí)驗(yàn)室，都必須特別注意它的高危險(xiǎn)性，某些工業(yè)用強(qiáng)力洗潔劑或除銹劑也含有氫氟酸，使用時(shí)須特別小心，避免...

目前，因各微電子生產(chǎn)企業(yè)對(duì)電子級(jí)氫氟酸要求的標(biāo)準(zhǔn)不同，可將其劃分為四個(gè)檔次：①低檔產(chǎn)品，用于>1.2μmIC工藝技術(shù)的制作；②中低檔產(chǎn)品，適用于0.8～1.2μmIC工藝技術(shù)的制作；③中優(yōu)越產(chǎn)品，適用于0.2～0.6μmIC工藝技術(shù)的制作；④優(yōu)越產(chǎn)品，適用于0.09～0.2μm和＜0.09μm IC工藝技術(shù)的制作。產(chǎn)品包裝方法：采用高密度聚乙烯（或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯）專業(yè)密封工藝制造塑料桶25公斤桶裝。高純水是生產(chǎn)電子氫氟酸中不可缺少的原料,也是包裝容器的清洗劑,其純度將直接影響到電子級(jí)氫氟酸的產(chǎn)品質(zhì)量。高純水的主要控制指標(biāo)是電阻率和固體顆粒,其他輔助指標(biāo)有可氧化的總碳...

目前，因各微電子生產(chǎn)企業(yè)對(duì)電子級(jí)氫氟酸要求的標(biāo)準(zhǔn)不同，可將其劃分為四個(gè)檔次：①低檔產(chǎn)品，用于>1.2μmIC工藝技術(shù)的制作；②中低檔產(chǎn)品，適用于0.8～1.2μmIC工藝技術(shù)的制作；③中優(yōu)越產(chǎn)品，適用于0.2～0.6μmIC工藝技術(shù)的制作；④優(yōu)越產(chǎn)品，適用于0.09～0.2μm和＜0.09μm IC工藝技術(shù)的制作。產(chǎn)品包裝方法：采用高密度聚乙烯（或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯）專業(yè)密封工藝制造塑料桶25公斤桶裝。高純水是生產(chǎn)電子氫氟酸中不可缺少的原料,也是包裝容器的清洗劑,其純度將直接影響到電子級(jí)氫氟酸的產(chǎn)品質(zhì)量。高純水的主要控制指標(biāo)是電阻率和固體顆粒,其他輔助指標(biāo)有可氧化的總碳...

泄漏應(yīng)急處理：泄漏：迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū)，并進(jìn)行隔離，嚴(yán)格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防酸堿工作服。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源，防止進(jìn)入下水道、排洪溝等限制性空間。小量泄露：用砂土、干燥石灰或蘇打灰混合。也可用大量水沖洗，洗水稀釋后放入廢水系統(tǒng)。大量泄露：構(gòu)筑圍堤或挖坑收容；用泵轉(zhuǎn)移至槽車或?qū)I(yè)收集器內(nèi)，回收或運(yùn)至廢物處理場(chǎng)所處置。滅火方法：燃燒性：不燃。滅火劑：霧狀水、泡沫。滅火注意事項(xiàng)：消防人員必須佩戴氧氣呼吸器、穿全身防護(hù)服。食入：1、若患者即將喪失意識(shí)、已經(jīng)失去意識(shí)或痙攣，勿經(jīng)口喂食任何東西。2、用冷水徹底漱口。3、切勿催吐。4、讓患者喝下240...

電子級(jí)氫氟酸的生產(chǎn)壁壘在于對(duì)金屬離子含量的高標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體中的金屬離 子雜質(zhì)會(huì)影響半導(dǎo)體中少子的壽命、表面的導(dǎo)電性、門氧化物的完整性和穩(wěn)定性 等參數(shù)，且金屬離子雜質(zhì)在高溫下或電場(chǎng)下會(huì)向半導(dǎo)體本體擴(kuò)散或在表面擴(kuò)大分 布，導(dǎo)致半導(dǎo)體性能下降，因此氫氟酸對(duì)其中的金屬離子含量有比較嚴(yán)格的要求， 且適用的晶圓半徑越大，制程越好，對(duì)金屬離子含量的要求越高。半導(dǎo)體用的氫 氟酸所有單項(xiàng)金屬雜質(zhì)的質(zhì)量分?jǐn)?shù)≤0.1μg/L，對(duì)應(yīng) SEMI 為 G4 以上等級(jí)的氫氟 酸，對(duì)應(yīng)國內(nèi)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)則是 UP-SS 及以上等級(jí)的氫氟酸。對(duì)于現(xiàn)在國際上主流的 12 寸晶圓，其制造過程中需要金屬離子含量低于 0.0001μg/L，對(duì)...

電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)方法的難點(diǎn)：1. 分析控制與產(chǎn)品檢測(cè)要求高。制備電子級(jí)氫氟酸所應(yīng)用的測(cè)試儀器如下: (1)電感耦合等離子高頻質(zhì)譜分析儀( ICP - MS)；(2)電感耦合等離子原子發(fā)射分析儀( ICP - AES)；(3)原子吸收分光光度計(jì)；(4)氧原子發(fā)生無焰原子吸收分析儀；(5)離子色譜分析儀；(6)激光散射液體微粒計(jì)數(shù)器；(7)水表面雜質(zhì)分析系統(tǒng)；(8)原子間力顯微鏡；(9)光學(xué)顯微鏡微粒計(jì)數(shù)器；(10)掃描電子顯微鏡；(11)光學(xué)膜厚測(cè)定和表面仿形儀；(12)表面張力測(cè)定儀；(13) 空氣中塵埃微粒測(cè)定儀；(14)水電阻率測(cè)定儀。2. 對(duì)水質(zhì)要求高，要求水的電阻率≥18.0MΩ·cm...

國內(nèi)生產(chǎn)的氟塑料，往往摻入碳酸鈣、二氧化硅、滑石粉等材料，這些物質(zhì)對(duì)氟化氫生產(chǎn)工藝帶來新的污染。還有就是塑料表面的光滑整潔度，也影響產(chǎn)品的質(zhì)量，這些往往是我國材料生產(chǎn)和加工的薄弱環(huán)節(jié)。再有，國外能夠生產(chǎn)噸級(jí)方桶和儲(chǔ)罐，方便儲(chǔ)運(yùn)氫氟酸，而國內(nèi)只能生產(chǎn)幾十升的容器。此外，高純氟化氫所用的分析測(cè)試儀器往往很貴，一般生產(chǎn)車間難以承擔(dān)。同時(shí)，制備過程中的原料質(zhì)量、人為因素、膜過濾、分析測(cè)試和灌裝等環(huán)節(jié)都會(huì)影響高純氟化氫的純度。因此要想提高我國高純氟化氫的生產(chǎn)水平和質(zhì)量，要求全產(chǎn)業(yè)鏈的提升，而不是每一個(gè)生產(chǎn)廠自己努力就能解決的問題。氫氟酸儲(chǔ)存或使用時(shí)必須禁止吸煙。河南55%氫氟酸購買氟化氫是一種無機(jī)酸，化...