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在集成電路可靠性測(cè)試內(nèi)，晶圓級(jí)別檢測(cè)的主要作用是進(jìn)行特載流子注入檢測(cè)。利用變焦費(fèi)米能級(jí)與實(shí)際量進(jìn)行熱載流子檢測(cè)。在集成電路構(gòu)件內(nèi)，利用過源電壓遺漏出現(xiàn)的載流子漏電極限，主要因?yàn)樵谳^大電場(chǎng)強(qiáng)度遺漏四周，載流子流入較大電場(chǎng)范圍下，高能能量子就會(huì)轉(zhuǎn)到熱載流子。同...

近年來，半導(dǎo)體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石和兵家必爭(zhēng)之地成為本輪貿(mào)易戰(zhàn)的焦點(diǎn)。2019年，中美摩擦、日韓半導(dǎo)體材料爭(zhēng)端對(duì)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局也帶來了較大的影響。在自主可控發(fā)展策略指導(dǎo)下、在資本與相關(guān)配套政策扶植下，中國(guó)大陸正在也必將成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)擴(kuò)張寶地，未來幾年...

“精確度”是探測(cè)儀器基本的指針，涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個(gè)層面。首先，必須能穩(wěn)定、精確地探測(cè)到小型墊片，載臺(tái)系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動(dòng)晶圓托盤，并在晶圓移動(dòng)的過程中準(zhǔn)確地將晶圓和晶圓對(duì)位；其次，必須具備動(dòng)態(tài)監(jiān)控機(jī)制，確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定...

探針臺(tái)工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件，所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小，使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3℃，濕度≤70%，無有害氣體的環(huán)境中，...

手動(dòng)探針臺(tái)應(yīng)用領(lǐng)域：Failureanalysis集成電路失效分析；Waferlevelreliability晶元可靠性認(rèn)證；Devicecharacterization元器件特性量測(cè)；Processmodeling塑性過程測(cè)試(材料特性分析)；ICProce...

X系列探針臺(tái)：1、基板采用鑄件為基準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)，使運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性得到提升，底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。2、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)采用的是日系高剛性、高精密的導(dǎo)軌和絲桿；反饋檢測(cè)系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進(jìn)口運(yùn)動(dòng)控制卡與電機(jī)形成整個(gè)閉環(huán)的反饋檢測(cè)，以保證實(shí)現(xiàn)高...

盡管半導(dǎo)體測(cè)試探針國(guó)產(chǎn)化迫在眉睫，但從技術(shù)的角度來看，要想替代進(jìn)口產(chǎn)品卻并不容易。業(yè)內(nèi)人士指出，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體測(cè)試探針還只能用于要求不高的測(cè)試需求，比如可靠性測(cè)試國(guó)產(chǎn)探針可以替代很多，但功能性測(cè)試和性能測(cè)試還有待突破。彈簧測(cè)試探針主要的技術(shù)是精微加工和組裝能力，涉...

探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復(fù)雜，包括微電路的完整功能測(cè)試?？梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允...

硅光芯片耦合測(cè)試系統(tǒng)應(yīng)用到硅光芯片，我們一起來了解硅光芯片的重要性。為什么未來需要硅光芯片，這是由于隨著5G時(shí)代的到來，芯片對(duì)傳輸速率和穩(wěn)定性要求更高，硅光芯片相比傳統(tǒng)硅芯的性能更好，在通信器件的高級(jí)市場(chǎng)上，硅光芯片的作用更加明顯。未來人們對(duì)流量的速度要求比較...

探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析，抽查測(cè)試等用途。探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上，...

晶圓探針器是用于測(cè)試集成電路的機(jī)器（自動(dòng)測(cè)試設(shè)備）。對(duì)于電氣測(cè)試，一組稱為探針卡的微觀觸點(diǎn)或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢?，同時(shí)真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動(dòng)到電接觸狀態(tài)。當(dāng)一個(gè)管芯（或管芯陣列）經(jīng)過電氣測(cè)試后，探針臺(tái)將晶片移動(dòng)到下一個(gè)管芯（或管芯），下一個(gè)測(cè)試就可...

探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來，在進(jìn)入后序工序前予以剔除，極大降低器件的制造成本。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)需要使用測(cè)試儀和探針...

光學(xué)平板采用好的鋁材制造。與鋼材相比，鋁材硬重比大，有一定的抗振性，溫度傳導(dǎo)性好，不良環(huán)境中溫度形變小，陽極氧化后美觀，耐磨，但是鋁材的剛性較差，無法承載較大的重量。因此一般用于承載較小的系統(tǒng)種。而且不宜懸空支撐。隨著眾多研究機(jī)構(gòu)對(duì)光學(xué)平臺(tái)質(zhì)量要求的不斷提高和...

探針臺(tái)是半導(dǎo)體（包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器）行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一，其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺(tái)用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶...

探針臺(tái)為研究和工程實(shí)驗(yàn)室在測(cè)試運(yùn)行期間移動(dòng)通過多個(gè)溫度點(diǎn)時(shí)，提供前所未有的自動(dòng)化水平。這種新技術(shù)使探針系統(tǒng)能夠感知，學(xué)習(xí)和反應(yīng)以多溫度和特征的極其復(fù)雜的環(huán)境。隨著集成電路產(chǎn)品不斷進(jìn)入汽車應(yīng)用等更高發(fā)熱量的環(huán)境，在越來越寬的溫度范圍內(nèi)表征器件性能和耐用性變得越來...

平臺(tái)阻尼需要進(jìn)行各種測(cè)試，對(duì)其厚度/面積的比值進(jìn)行優(yōu)化。更大面積的平臺(tái)（邊長(zhǎng)至少為10英尺或3米）具有厚度為12.2英寸（310毫米）的標(biāo)準(zhǔn)厚度，這樣可以提高穩(wěn)定性。對(duì)于更小面積的平臺(tái)，厚度可以是8.3英寸（210毫米）或12.2英寸（310毫米），也可定制更...

不同用途的實(shí)驗(yàn)室，光學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)臺(tái)面選擇不一樣，化學(xué)實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目，經(jīng)常要用到酸、堿、有機(jī)溶劑等各類化學(xué)藥品，所以，一般要求實(shí)驗(yàn)臺(tái)臺(tái)面材質(zhì)要耐腐蝕，另外對(duì)于某些高溫化學(xué)實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)室臺(tái)面需要耐高溫。1、陶瓷臺(tái)面：陶瓷臺(tái)面板優(yōu)點(diǎn)是耐高溫，耐腐蝕，絕緣、耐磨度...

用顯微鏡對(duì)圖像進(jìn)行高度放大的成像系統(tǒng)，顯微鏡和照像物鏡共同決定了相紙上每點(diǎn)的圖像。如果，在曝光過程中光學(xué)系統(tǒng)的每一部分(照明系統(tǒng)、樣品、顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)、成像光學(xué)系統(tǒng)和相紙平面)都精確地一同移動(dòng)，不存在相對(duì)位移，成像也會(huì)很清晰。如果樣品相對(duì)物鏡產(chǎn)生了運(yùn)動(dòng)，則像就...

隨著時(shí)間的延續(xù)，不規(guī)則溫度變化會(huì)造成漸漸的結(jié)構(gòu)彎曲。減小溫度效應(yīng)的關(guān)鍵在于控制環(huán)境減少溫度變化。例如，避免在平臺(tái)下放置散熱設(shè)備，隔絕熱源設(shè)備和硬件，如光源、火焰等。良好的熱傳導(dǎo)性可起到作用，然而，在極端特殊的應(yīng)用中，選用不隨溫度變化而改變外形尺寸的特殊材料是必...

密封平臺(tái)顯微鏡設(shè)備用戶應(yīng)采取接觸固定的方法并予以充分的保護(hù),要確保加工面與玻璃的接觸面積大于5mm，而不應(yīng)是所有光學(xué)平臺(tái)顯微鏡本身就不能再進(jìn)行其他的玻璃保護(hù)處理。用戶一方面要保護(hù)好產(chǎn)品,一方面要保證安全拿人開刀才是很危險(xiǎn)的事小尺寸全硬板狀的平板顯微鏡工作時(shí)應(yīng)該...

光學(xué)平臺(tái)的硬重比對(duì)于其共振頻率有著重要的影響。較高的硬重比可以提高平臺(tái)的共振頻率，從而降低其在外界影響下的振動(dòng)。而且在外力作用下，具有較高硬重比的平臺(tái)可以在小的重量下產(chǎn)生小的變形，增加系統(tǒng)內(nèi)部的剛性。內(nèi)部采用蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)的光學(xué)平臺(tái)可以充分的提高硬重比，達(dá)到提...

光學(xué)平臺(tái)實(shí)芯理化板：沒有特殊要求的普通物理實(shí)驗(yàn)臺(tái)可以使用實(shí)芯理化板來作為臺(tái)面，但是要注意保養(yǎng)，并且不可以使用尖利的物品劃擦，三聚氰胺板也可以作為普通物理實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)臺(tái)的臺(tái)面。光學(xué)平臺(tái)石材臺(tái)面板：針對(duì)一些高溫度、高壓力、高磨損的物理實(shí)驗(yàn)，石材類的物理實(shí)驗(yàn)臺(tái)面比較有...

光學(xué)平臺(tái)的硬重比對(duì)于其共振頻率有著重要的影響。較高的硬重比可以提高平臺(tái)的共振頻率，從而降低其在外界影響下的振動(dòng)。而且在外力作用下，具有較高硬重比的平臺(tái)可以在小的重量下產(chǎn)生小的變形，增加系統(tǒng)內(nèi)部的剛性。內(nèi)部采用蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)的光學(xué)平臺(tái)可以充分的提高硬重比，達(dá)到提...

光學(xué)平臺(tái)普遍運(yùn)用于光學(xué)、電子、精密機(jī)械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和無損檢測(cè)等領(lǐng)域，以及其他機(jī)械行業(yè)的精密試驗(yàn)儀器、設(shè)備振動(dòng)隔離的關(guān)鍵裝置中。隨著先進(jìn)的設(shè)備和工藝的發(fā)展，使納米量級(jí)的測(cè)量成為可能。例如，變相光學(xué)干涉儀測(cè)量物體的表面粗糙度，目前可以達(dá)到...

光學(xué)平臺(tái)，又稱光學(xué)面包板、光學(xué)桌面、科學(xué)桌面、實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，供水平、穩(wěn)定的臺(tái)面，一般平臺(tái)都需要進(jìn)行隔振等措施，保證其不受外界因素干擾，使科學(xué)實(shí)驗(yàn)正常進(jìn)行。光學(xué)平臺(tái)追求水平，首先加工的時(shí)候整個(gè)臺(tái)面是極平的。之后臺(tái)面置放與四個(gè)聯(lián)通的氣囊上，以保證臺(tái)面水平。臺(tái)面上布滿成...

不同用途的實(shí)驗(yàn)室，光學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)臺(tái)面選擇不一樣，化學(xué)實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目，經(jīng)常要用到酸、堿、有機(jī)溶劑等各類化學(xué)藥品，所以，一般要求實(shí)驗(yàn)臺(tái)臺(tái)面材質(zhì)要耐腐蝕，另外對(duì)于某些高溫化學(xué)實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)室臺(tái)面需要耐高溫。1、陶瓷臺(tái)面：陶瓷臺(tái)面板優(yōu)點(diǎn)是耐高溫，耐腐蝕，絕緣、耐磨度...

光學(xué)平臺(tái)主要的一個(gè)目標(biāo)是消除平臺(tái)上任意兩個(gè)以上部件之間的相對(duì)位移。光學(xué)平臺(tái)重要特性為其共振頻率。共振頻率和振幅是負(fù)相關(guān)的，因此共振頻率應(yīng)盡可能地增大，從而將振動(dòng)強(qiáng)度小化。平臺(tái)和面包板會(huì)在一個(gè)特定的頻率范圍內(nèi)發(fā)生振動(dòng)。為了改善性能，每種尺寸的平臺(tái)和面包板的阻尼效...

光學(xué)平臺(tái)重要的作用是提供動(dòng)態(tài)剛度，光路的穩(wěn)定性主要受桌面長(zhǎng)軸方向上點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的相對(duì)運(yùn)動(dòng)影響。這些相對(duì)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生于桌面上搭建的設(shè)備、空氣調(diào)節(jié)(HVAC)系統(tǒng)以及其他聲音來源。削減這些振動(dòng)的佳方案是在來源處即行隔絕，比如在設(shè)備與桌面間放置柔性墊、為排氣管增加擋板或使用隔...

光學(xué)平臺(tái)是提供一個(gè)水平、穩(wěn)定的臺(tái)面，供各種光學(xué)組件放置的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。一般平臺(tái)都需要進(jìn)行隔振等措施，保證其不受外界因素干擾，使科學(xué)實(shí)驗(yàn)正常進(jìn)行。它利用自身的隔振效果和固有頻率等特點(diǎn)，能有效避開環(huán)境振動(dòng)所產(chǎn)生的共振現(xiàn)象，控制振幅放大，減少振動(dòng)傳遞率，消除環(huán)境振動(dòng)對(duì)加...

目前精密光學(xué)儀器產(chǎn)品種類繁多,是為了在重復(fù)測(cè)量過程中對(duì)產(chǎn)品的每一步光路進(jìn)行精確計(jì)算,保證一切不可修改并可重復(fù)執(zhí)行的數(shù)據(jù)上報(bào)數(shù)據(jù)，精密光學(xué)儀器的工作原理主要是通過光學(xué)儀器的光學(xué)原理實(shí)現(xiàn)的。光學(xué)儀器經(jīng)受適當(dāng)?shù)姆瓷涔夂头瓷浣?獲得光路模擬圖像，這些圖像是光學(xué)儀器可讀...