主營產(chǎn)品: 微納加工技術(shù)服務(wù)|真空鍍膜技術(shù)服務(wù)|紫外光刻技術(shù)服務(wù)|材料刻蝕技術(shù)服務(wù)
激光微納加工是利用激光束對材料進行高精度去除、沉積和形貌控制的技術(shù)。這一技術(shù)具有非接觸式加工、加工精度高、熱影響小和易于實現(xiàn)自動化等優(yōu)點。激...
氧化物靶材也是常用的靶材種類之一。它們通常能夠形成透明的薄膜，因此普遍應(yīng)用于光學(xué)鍍膜領(lǐng)域。常見的氧化物靶材包括氧化鋁、二氧化硅、氧化鎂、氧化...
磁控濺射制備薄膜應(yīng)用于哪些領(lǐng)域？在航空航天領(lǐng)域，磁控濺射技術(shù)被普遍應(yīng)用于制備耐磨、耐腐蝕、抗刮傷等功能薄膜，提高航空航天器件的性能和使用壽命...
石墨烯微納加工，作為二維材料領(lǐng)域的重要分支，正以其獨特的電學(xué)、力學(xué)及熱學(xué)性能，在電子器件、能源存儲及生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域展現(xiàn)出普遍的應(yīng)用前景。通過...
廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺，面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域，致力于打造***的公益性、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù)，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。
