氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周?chē)h(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過(guò)氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。氦檢儀噴氦法檢測(cè)靈敏度高，可精確定位。浙江移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時(shí)需注意哪些問(wèn)題？1、氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際的檢漏靈敏度比理論計(jì)算值低，一是由于所噴出的氦氣流是散開(kāi)的，故摻有一定數(shù)量的空氣，使氦氣的濃度有所降低。二是噴出的氣流的方向不可能完全對(duì)準(zhǔn)漏孔的方向，此外、在凹缺處所存在的空氣會(huì)使得進(jìn)入漏孔的氦氣濃度降低。2、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由近處向遠(yuǎn)離檢漏儀處逐點(diǎn)進(jìn)行噴氦檢查。3、檢出的大漏孔要經(jīng)修補(bǔ)后再去找小漏孔。4、當(dāng)存在兩個(gè)相距很近的可疑的漏孔點(diǎn)時(shí)，應(yīng)先把一個(gè)點(diǎn)蓋住，再對(duì)另一點(diǎn)進(jìn)行噴氦。5、當(dāng)噴在某一點(diǎn)時(shí)，如果，檢漏儀上的顯示有變化，其上升速度很慢且顯示值不穩(wěn)定表示鄰近其它地方有很大漏孔。杭州無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀單位氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進(jìn)行檢漏。

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子，在室內(nèi)來(lái)回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。

氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度，但平常實(shí)際使用時(shí)其靈敏度是低于該參數(shù)的，稱(chēng)之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過(guò)程中，氦檢儀的檢漏方法也較多，有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式，可結(jié)合實(shí)際情況靈活運(yùn)用。如較簡(jiǎn)單常用的噴吹法，與鹵素氦檢儀的真空法類(lèi)似，將被檢件抽真空，調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通，隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣，如果存在漏洞，噴吹一定時(shí)間后，氦檢儀即可發(fā)出信號(hào)。掌握和了解氦檢儀常見(jiàn)故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開(kāi)展以及設(shè)備的保養(yǎng)。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。對(duì)產(chǎn)品檢漏前首先要對(duì)工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解，了解有哪些漏源，才能快，準(zhǔn)，狠的完成檢漏。氦檢儀為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。溫州進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)格

氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過(guò)濾網(wǎng)、更換過(guò)濾器。浙江移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦檢儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏：調(diào)節(jié)閥又名控制閥，在現(xiàn)代化工廠的自動(dòng)控制中，調(diào)節(jié)閥起著十分重要的作用，如果調(diào)節(jié)閥有漏，將會(huì)嚴(yán)重影響設(shè)備運(yùn)行，進(jìn)而降低整體的生產(chǎn)效率。氦檢儀成功應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥中的氣路管道檢漏,經(jīng)過(guò)檢漏后的調(diào)節(jié)閥普遍應(yīng)用于電廠、生物制藥、化工等行業(yè)。調(diào)節(jié)閥檢漏，閥門(mén)氣密性測(cè)試方案是向閥門(mén)內(nèi)充入設(shè)定壓力的氦氣，如在被檢測(cè)處如閥桿等，用氦檢儀正壓法檢測(cè)，正壓法檢測(cè)的精度可充分滿(mǎn)足氣密性檢測(cè)要求。氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進(jìn)行檢漏,檢漏標(biāo)準(zhǔn)是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同時(shí)需要提供快速,清潔的檢漏環(huán)境.采用氦檢儀正壓法模式,即在密封的氣體管路中充入一定量的氦氣,然后進(jìn)行檢漏.氦檢儀同時(shí)擁有兩種檢漏模式真空模式及正壓模式，可根據(jù)客戶(hù)不同需求，選擇不同的檢漏方法。浙江移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀定制

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