6.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修,應(yīng)選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應(yīng)大于50,材料的煙密度等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)滿足使用功能的要求,且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔,并應(yīng)減少凹凸面,2當(dāng)采用踢腳時,踢腳不宜突出墻面。潔凈廠房中主要以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的井式管廊,用于安裝輔助設(shè)備和公用動力設(shè)施以及管線等。照度無塵室檢測周期
1.1潔凈室建筑裝飾工程施工應(yīng)在主體結(jié)構(gòu)、屋面防水工程4.和**護(hù)結(jié)構(gòu)驗收完成后進(jìn)行。4.1.2潔凈室建筑裝飾施工應(yīng)與其他工種制定明確的施工協(xié)作計劃和施工程序。4.1.3潔凈室的建筑裝飾材料除應(yīng)滿足隔熱、隔聲、防振、防蟲、防腐、防火、防靜電等要求外,尚應(yīng)保證潔凈室的氣密性和裝飾表面不產(chǎn)塵、不吸塵、不積塵,并應(yīng)易清洗。4.1.4潔凈室不應(yīng)使用木材和石膏板作為表面裝飾材料。隱蔽使用的木材應(yīng)經(jīng)充分干燥并作防潮防腐和防火處理,石膏板應(yīng)為防水石膏板。4.1.5潔凈室建筑裝飾工程施工應(yīng)實(shí)行施工現(xiàn)場封閉清潔管理,在潔凈施工區(qū)內(nèi)進(jìn)行粉塵作業(yè)時,應(yīng)采取有效防止粉塵擴(kuò)散的措施。安徽無塵室檢測值得推薦指潔凈室(區(qū))在生產(chǎn)操作全部結(jié)束,生產(chǎn)操作人員撤離現(xiàn)場并經(jīng)過20 min自凈后。
E.2.1靜壓差的測定應(yīng)在所有房間的門關(guān)閉時進(jìn)行,有排風(fēng)時,應(yīng)在比較大排風(fēng)量條件下進(jìn)行,并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差,直至測出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境(或向室外開口的房間)之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優(yōu)于5級的單向流潔凈室,還應(yīng)測定在門開啟狀態(tài)下,離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。E.2.3有不可關(guān)閉的開口與鄰室相通的潔凈室,還應(yīng)測定開口處的流速和流向。E.2.1靜壓差的測定應(yīng)在所有房間的門關(guān)閉時進(jìn)行,有排風(fēng)時,應(yīng)在比較大排風(fēng)量條件下進(jìn)行,并宜從平面上極里面的房間依次向外測定相鄰相通房間的壓差,直至測出潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)、室外環(huán)境(或向室外開口的房間)之間的壓差。E.2.2對于潔凈度5級或優(yōu)于5級的單向流潔凈室,還應(yīng)測定在門開啟狀態(tài)下,離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。E.2.3有不可關(guān)閉的開口與鄰室相通的潔凈室,還應(yīng)測定開口處的流速和流向。
12.3.1防火卷簾安裝應(yīng)符合下列規(guī)定:1防火卷簾洞口上端至頂棚之間應(yīng)采用防火墻、不燃或難燃材料封堵。當(dāng)采用不燃或難燃材料封堵時,其耐火極限應(yīng)不低于防火卷簾的耐火極限。如防火卷簾采用水幕保護(hù),其封堵材料亦應(yīng)采用水幕保護(hù)。2鋼質(zhì)卷簾的簾板應(yīng)平直,裝配成卷簾后,不應(yīng)存在孔洞或縫隙。3防火防煙卷簾的導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)置的防煙裝置的材料應(yīng)為不燃或難燃材料。防煙裝置與簾面應(yīng)均勻緊密貼合,其貼合面長度不應(yīng)小于導(dǎo)軌長度的80%。4用于疏散通道上的防火卷簾,其兩側(cè)應(yīng)安裝由感煙、感溫火災(zāi)探測器組成的火災(zāi)探測器組合。12.3.2防火門和防火窗的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定:1安裝在防火門和防火窗上的合頁、插銷等五金配件應(yīng)是經(jīng)相關(guān)檢測機(jī)構(gòu)檢驗合格的產(chǎn)品。2防火門的開啟角度不應(yīng)小于90°,并應(yīng)具有在發(fā)生火災(zāi)時能迅速關(guān)閉的功能。無塵室極主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度。
6.2.1氣體系統(tǒng)管道材質(zhì)及附件,應(yīng)按設(shè)計要求選配,如設(shè)計未作明確要求,選用時應(yīng)與潔凈室潔凈度級別和輸送氣體性質(zhì)相適應(yīng),并應(yīng)符合下列規(guī)定:1應(yīng)使用無縫管材。2管材內(nèi)表面吸附、解吸氣體的作用小。3管材內(nèi)表面應(yīng)光滑、耐磨損。4應(yīng)具有良好的抗腐蝕性能。5管材金屬組織在焊接處理時不應(yīng)發(fā)生變化。6負(fù)壓管道不宜采用普通碳鋼管。6.2.2所用管材應(yīng)放在室內(nèi)保管,不得重疊碼放。管道應(yīng)無裂紋、縮孔、夾渣、起瘤、折疊、重皮、銹斑、表面損傷等缺陷。管道應(yīng)平直、圓滑。6.2.3成品管外包裝和相應(yīng)管端頭的管帽、堵頭等密封措施應(yīng)有效、無破損。指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8~15m(除工藝特殊要求外)的區(qū)域。江蘇氣流無塵室檢測技術(shù)好
無塵室是現(xiàn)代科技發(fā)展中的重要支撐,為各個領(lǐng)域的創(chuàng)新和進(jìn)步提供了穩(wěn)固的基礎(chǔ)。照度無塵室檢測周期
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與超凈間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入超凈間,并由超凈間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本,超凈間之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高超凈間等級。缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再***,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時相當(dāng)長一段時間。照度無塵室檢測周期