潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中,尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對(duì)無(wú)塵等級(jí)的要求比較高,因?yàn)楝F(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級(jí)的水準(zhǔn),隨便一?;覊m掉落在晶圓上都可能造成整個(gè)晶圓線路的毀損,甚至導(dǎo)致這個(gè)晶圓必須報(bào)廢。無(wú)塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無(wú)塵室與負(fù)壓無(wú)塵室。一般正壓無(wú)塵室比較常見(jiàn),就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力,這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。凡有試運(yùn)轉(zhuǎn)要求的設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的有關(guān)規(guī)定。浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測(cè)誠(chéng)信推薦
相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺(jué)舒適的適度范圍。濕度過(guò)高會(huì)使人覺(jué)得氣悶,而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺(jué)干燥,皮膚皸裂,呼吸道不適以及情感上的不快。高濕度實(shí)際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)50%時(shí),靜電荷開(kāi)始迅速消散,但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí),它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中,半導(dǎo)體潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。江蘇口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好工作設(shè)備布置時(shí)要留有一定的間隔,為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件。
(七)室內(nèi)噪聲1、儀器設(shè)備和環(huán)境儀器,設(shè)備測(cè)噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計(jì)溫度下。2、抽樣對(duì)有噪聲設(shè)計(jì)要求的各個(gè)場(chǎng)所分別測(cè)定。3、技術(shù)要求室內(nèi)噪聲級(jí)應(yīng)符合《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001的規(guī)定。在空態(tài)情況下,非單相流潔凈室不應(yīng)大于60dBA;單向流、混合流潔凈室不應(yīng)大于65dBA;潔凈室的噪聲頻譜限制各頻帶的聲壓級(jí)值不應(yīng)大于《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-2001表4.4.2的規(guī)定。4、操作過(guò)程及判定(1)測(cè)噪聲儀器為帶信頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)一般只測(cè)A聲級(jí)的數(shù)值。必要時(shí)測(cè)倍頻程聲壓級(jí)。(2)潔凈室面積在15m點(diǎn)采樣,除房間兩對(duì)角線相交的室中心位置外,另在房間四角對(duì)角線上對(duì)稱的選取4點(diǎn)。(3)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施日期。(4)被測(cè)試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點(diǎn)的特定編號(hào)及坐標(biāo)圖。(5)被測(cè)潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)、被測(cè)粒徑或沉降菌、浮游菌、被測(cè)潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、被測(cè)潔凈室的溫濕度、噪聲。(6)測(cè)試用的儀器的編號(hào)和標(biāo)定征書(shū)測(cè)試方法細(xì)則及測(cè)試中的特殊情況.(7)測(cè)試結(jié)果包括在采樣點(diǎn)坐標(biāo)圖上注明所測(cè)的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數(shù)。(8)對(duì)異常測(cè)試值進(jìn)行說(shuō)明及數(shù)據(jù)處理。
1.送風(fēng)量與排風(fēng)量如果是紊流潔凈室,那么就要測(cè)量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室,則要測(cè)量其風(fēng)速。2.各區(qū)之間的氣流控制為證明各區(qū)之間氣流運(yùn)動(dòng)方向正確,也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動(dòng),必須檢測(cè):2.1各區(qū)間的壓差正確;2.2門口處或墻、地板等處的開(kāi)口處氣流運(yùn)動(dòng)方向正確,即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動(dòng)。3.過(guò)濾器檢漏對(duì)高效過(guò)濾器及其外框要進(jìn)行檢驗(yàn),以保證懸浮污染物不會(huì)穿過(guò):3.1損壞了的過(guò)濾器;3.2過(guò)濾器與其外框間的縫隙;3.3過(guò)濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。4.隔離檢漏這項(xiàng)測(cè)試是為了證明懸浮污染物不穿過(guò)建筑材料侵入潔凈室。風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元(FFU)是一種空氣自凈裝置,可室內(nèi)吊頂安裝或放置在支架上,使局部級(jí)別達(dá)到百級(jí)。
風(fēng)量或風(fēng)速、室內(nèi)靜壓差、空氣潔凈度等級(jí)、換氣次數(shù)、室內(nèi)浮游菌和沉降菌、溫度和相對(duì)濕度、平均速度、速度不均勻度、噪聲、氣流流型、自凈時(shí)間、污染泄露、照度(照明)、甲醛、細(xì)菌濃度。1、醫(yī)院潔凈手術(shù)部:風(fēng)速、換氣次數(shù)、靜壓差、潔凈度級(jí)別、溫濕度、噪聲、照度、細(xì)菌濃度。2、醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房:空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量、氣流流型、溫度、相對(duì)濕度、照度、噪聲、自凈時(shí)間、已安裝過(guò)濾器泄漏、浮游菌、沉降菌。3、電子工業(yè)潔凈廠房:空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量、氣流流型、溫度、相對(duì)濕度、照度、噪聲、自凈時(shí)間。4、食品工業(yè)潔凈用房:定向氣流、靜壓差、潔凈度、空氣浮游菌、空氣沉降菌、噪聲、照度、溫度、相對(duì)濕度、自凈時(shí)間、甲醛、Ⅰ級(jí)工作區(qū)截面風(fēng)速、開(kāi)發(fā)的洞口風(fēng)速、新風(fēng)量。潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時(shí),宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè),以減少對(duì)室內(nèi)的污染。山東生物安全柜檢測(cè)誠(chéng)信推薦
蔚亞科技檢測(cè)技術(shù)嚴(yán)格按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格執(zhí)行。浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測(cè)誠(chéng)信推薦
1工藝平面布置應(yīng)合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)只布置必要的工藝設(shè)備,以及有空氣潔凈度等級(jí)要求的工序和工作室。2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下,對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房,空氣潔凈度等級(jí)相同的工序和工作室宜集中布置。3潔凈室內(nèi)對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè),易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。4應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線,并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。5不同空氣潔凈度等級(jí)房間之間聯(lián)系頻繁時(shí),宜設(shè)有防止污染的措施,如氣閘室、傳遞窗等。6應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料入口,物料傳遞路線應(yīng)極短,物料進(jìn)人潔凈室(區(qū))之前應(yīng)進(jìn)行清潔處理。浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測(cè)誠(chéng)信推薦