11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔凈室參數(shù)和服務功能。11.5.2工藝設備安裝時，現(xiàn)場的凈化空調系統(tǒng)應已連續(xù)運行24h以上；現(xiàn)場除正常照明外，應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設備的提升、牽引或定位的**設備在進人潔凈室安裝現(xiàn)場前，應徹底清潔，并應檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進入潔凈環(huán)境的材料。11.5.4設備安裝時應妥善保護墻壁與地面，設備的軟膠輪應予包裹，避免在地面拖磨。開洞作業(yè)不應劃傷或污染所在表面。設備安裝位置穿越不同潔凈級別區(qū)域時，穿越處縫隙應用柔性材料填充、密封，并應裝飾處理。無塵室是現(xiàn)代科技發(fā)展中的重要支撐，為各個領域的創(chuàng)新和進步提供了穩(wěn)固的基礎。安徽塵埃粒子無塵室檢測技術好

空氣由空調箱經(jīng)風管與超凈間內之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間，并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本，超凈間之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高超凈間等級。缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉再***，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。江蘇口罩生產(chǎn)車間環(huán)境無塵室檢測分析單向流和非單向流組合的氣流。

4.1.2潔凈廠房凈化空調系統(tǒng)的新風口與城市交通干道之間的距離（相鄰側邊沿）宜大于50m。當潔凈廠房與交通干道之間設有城市綠化帶時，可根據(jù)具體條件適當減少，但不得小于25m。4.1.3對于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現(xiàn)有振源和模擬振源的影響，并應與容許振動值比較分析后確定。4.1.4廠區(qū)總平面布置時，應按潔凈生產(chǎn)、非潔凈生產(chǎn)、輔助生產(chǎn)、公用動力系統(tǒng)和辦公、生活等功能區(qū)合理布局。潔凈廠房宜根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和各種功能區(qū)的要求，按組合式、大體量的綜合性廠房布置。4.1.5潔凈廠房周圍及其周邊的道路面層，應選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。

應檢查產(chǎn)品合格證、出廠檢驗報告，其中應有效率、阻力和掃描檢漏的實測數(shù)據(jù)，不得以過濾器所屬類別定義數(shù)據(jù)代替。2應進行外觀檢查，內容應包括有無損壞;各種尺寸是否符合設計要求;框架有無毛刺和銹斑(金屬框);帶風機的風機安裝是否可靠，轉動是否正常;帶裝飾網(wǎng)或阻漏層的，裝飾網(wǎng)或阻漏層是否完好、繃緊。應檢查產(chǎn)品合格證、出廠檢驗報告，其中應有效率、阻力和掃描檢漏的實測數(shù)據(jù)，不得以過濾器所屬類別定義數(shù)據(jù)代替。2應進行外觀檢查，內容應包括有無損壞;各種尺寸是否符合設計要求;框架有無毛刺和銹斑(金屬框);帶風機的風機安裝是否可靠，轉動是否正常;帶裝飾網(wǎng)或阻漏層的，裝飾網(wǎng)或阻漏層是否完好、繃緊。潔凈室被污染后,凈化空調系統(tǒng)開始運行至恢復到穩(wěn)定的規(guī)定室內潔凈度等級的時間。

E.5.1無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應符合下列要求：1室內空氣溫度和相對濕度測定之前，空調凈化系統(tǒng)應已連續(xù)運行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數(shù)字式溫濕度計；濕度的檢測可采用通風式干濕球溫度計、數(shù)字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點傳感器等。根據(jù)溫濕度的波動范圍，應選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的極小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測儀表的極小刻度不宜高于2%。測點為房間中間一點，應在溫濕度讀數(shù)穩(wěn)定后記錄。測完室內溫濕度后，還應同時測出室外溫濕度。無塵室的設計充分考慮了環(huán)境污染的來源。安徽半導體凈化車間無塵室檢測目的

無塵室是一種完全封閉、密封的房間，它的主要目的是控制空氣中的塵埃顆粒數(shù)量。安徽塵埃粒子無塵室檢測技術好

1一級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應采用導靜電型。導靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應大于100V,靜電半衰期不應大于0.1s;2二級防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應為1X10°~1X109Ω,摩擦起電電壓不應大于200V,靜電半衰期不應大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應大于300V;3三級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應符合本條第2 款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應大于1000V。安徽塵埃粒子無塵室檢測技術好