C.1.1檢測(cè)目的檢測(cè)的目的是確認(rèn)過(guò)濾系統(tǒng)安裝正確，使用過(guò)程中無(wú)滲漏發(fā)生，不要將已裝過(guò)濾器系統(tǒng)的檢漏與過(guò)濾器出廠時(shí)的效率檢測(cè)混為一談，過(guò)濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過(guò)檢漏雨測(cè)試。此項(xiàng)檢測(cè)用于驗(yàn)證過(guò)濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏；確認(rèn)過(guò)濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計(jì)潔凈度。C.1.2檢測(cè)過(guò)程檢測(cè)中，在過(guò)濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠，在下風(fēng)向緊靠過(guò)濾器的安裝框架的地方掃描，或在風(fēng)管中的過(guò)濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過(guò)濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個(gè)過(guò)濾系統(tǒng)。已裝過(guò)濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行，且該項(xiàng)檢測(cè)是在新建潔凈室調(diào)試時(shí)，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測(cè)時(shí)，或更換了末端過(guò)濾器之后進(jìn)行。在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時(shí)盡可能把相同級(jí)別的潔凈房間布置在一起。浙江國(guó)內(nèi)潔凈室檢測(cè)頻率

1近年來(lái)，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱，潔凈空氣通過(guò)FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實(shí)際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過(guò)活動(dòng)地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實(shí)際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。浙江潔凈設(shè)備3Q驗(yàn)證潔凈室檢測(cè)哪家好以前常稱為亂流型潔凈室，室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動(dòng)。

15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)應(yīng)分階段進(jìn)行，應(yīng)包括設(shè)計(jì)、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動(dòng)測(cè)試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計(jì)、動(dòng)力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計(jì)等。15.1.2設(shè)計(jì)有微振控制要求的潔凈廠房時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1總平面布置時(shí)，應(yīng)核實(shí)相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對(duì)精密設(shè)備、儀器的振動(dòng)影響；2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)；3對(duì)設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動(dòng)影響的動(dòng)力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測(cè)試確認(rèn)受到周圍振動(dòng)影響時(shí)，應(yīng)采取被動(dòng)隔振措施。

4.4.3~4.4.6控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)上的原因而難以做到時(shí)，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切，必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國(guó)內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房中，不少潔凈室將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi)，潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來(lái)源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部?jī)艋O(shè)備運(yùn)行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施，不合理的設(shè)計(jì)方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲。潔凈室等級(jí)劃分世界各國(guó)均有自定規(guī)格。

近年來(lái)，國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)、建造的潔凈廠房，一般是根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或潔凈廠房的布局情況按相鄰潔凈室（區(qū)）的潔凈度等級(jí)確定潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)，還有一些潔凈廠房雖然沒(méi)有對(duì)潔凈工作服更衣室、潔凈工作服洗滌室提出空氣潔凈度等級(jí)要求，但室內(nèi)采用高效空氣過(guò)濾送風(fēng)系統(tǒng)，或?qū)崈羰覂?nèi)的凈化空氣部分地引人更衣室、潔凈工作服洗滌室。為此，本次修訂時(shí)對(duì)潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)宜低于相鄰潔凈區(qū)1級(jí)~2級(jí)和“潔凈服洗滌室的空氣潔凈度等級(jí)不宜低于8級(jí)”的規(guī)定取消，修改為將更衣室與潔凈工作服洗滌室對(duì)空氣凈化要求的相關(guān)內(nèi)容的規(guī)定合并在一條內(nèi)：“宜根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和相鄰潔凈室（區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)確定”。不再規(guī)定具體的“等級(jí)”或“等級(jí)范圍”。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa。上海手術(shù)室潔凈室檢測(cè)

無(wú)菌室，亦稱為凈化室或潔凈室，是一種專門設(shè)計(jì)用于控制環(huán)境污染的封閉空間。浙江國(guó)內(nèi)潔凈室檢測(cè)頻率

4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房?jī)?nèi)常有多種氣體、液體供應(yīng)管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)管和局部排風(fēng)管等，管線交叉復(fù)雜。因此，在進(jìn)行管線綜合布置時(shí)，必須在平面和標(biāo)高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調(diào)試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對(duì)國(guó)內(nèi)已建成的潔凈廠房調(diào)研中，了解到為布置各種管道和高效過(guò)濾器等一般均設(shè)置了技術(shù)夾層或技術(shù)夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術(shù)夾層設(shè)計(jì)得過(guò)高是不經(jīng)濟(jì)的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯(cuò)的。因此，在進(jìn)行管線綜合布置設(shè)計(jì)和確定技術(shù)夾層層高時(shí)，應(yīng)進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，做到技術(shù)上可靠，經(jīng)濟(jì)上合理。浙江國(guó)內(nèi)潔凈室檢測(cè)頻率