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D.3.2靜壓差測(cè)試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì),儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個(gè)潔凈室(區(qū))時(shí),應(yīng)從極里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開始,并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。D.3.3已安裝的空氣過(guò)濾器泄漏測(cè)試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子,粒子濃度應(yīng)大于3.5×10'P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20~30mm處,并應(yīng)以5~20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描。非單向流潔凈室有幾個(gè)共同的特點(diǎn):終端過(guò)濾器(高效或亞高效)盡量接近潔凈室。浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
8.1.1潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設(shè)應(yīng)符合下列規(guī)定:1潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無(wú)關(guān)的房間。2干管應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。3易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道應(yīng)明敷。4當(dāng)易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)時(shí),必須采取可靠的濃度檢測(cè)報(bào)警、通風(fēng)措施。8.1.2潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定。8.1.3工業(yè)管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:1應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì),合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。2在滿足生產(chǎn)工藝的條件下,管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。3應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。4管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口和取樣口。8.1.4工業(yè)管道穿過(guò)潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施。8.1.5可燃?xì)怏w管道、氧氣管道的末端或比較高點(diǎn)均應(yīng)設(shè)置放散管。放散管引至室外應(yīng)高出屋脊1m,并應(yīng)有防雨、防雜物侵入的措施。
浙江壓差潔凈室檢測(cè)方法工業(yè)管道穿過(guò)潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫。
5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速,以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***,集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時(shí)間就會(huì)提升一代產(chǎn)品;以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn);微型計(jì)算機(jī)的迅速發(fā)展,使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此,電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要,從潔凈廠房的規(guī)劃開始,對(duì)于電子工廠、潔凈廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。
5.2.2人員進(jìn)出、材料出入、產(chǎn)品運(yùn)送及設(shè)備、工具搬運(yùn)的頻繁交錯(cuò),不但會(huì)彼此干擾、易發(fā)生混雜、降低生產(chǎn)效率,并可能會(huì)使?jié)崈羰?區(qū))的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此,在工藝布局時(shí),應(yīng)充分考慮人員、物料設(shè)備,有各自的出入口。人員入口處的凈化設(shè)施包括單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、氣閘室等,具體選用何種形式,需根據(jù)潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)、人員數(shù)量、未來(lái)發(fā)展需求等確定。物料凈化設(shè)施包括貨物吹淋室、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等,一般可根據(jù)物料種類、包裝方式和潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)等確定。定期檢測(cè)潔凈度,確保空氣質(zhì)量的穩(wěn)定。
15.3.2有微振動(dòng)控制要求的潔凈室(區(qū)),其建筑結(jié)構(gòu)的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列規(guī)定:1建筑物基礎(chǔ)宜置于動(dòng)力性能良好的地基土上,且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度;2應(yīng)設(shè)置**的建筑結(jié)構(gòu)微振動(dòng)控制體系,并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔;3主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動(dòng)控制的要求,適當(dāng)加大梁、柱、墻、基礎(chǔ)等截面尺寸。15.3.3有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備和管道,宜采取主動(dòng)隔振措施,并應(yīng)符合下列要求.1宜采用隔振臺(tái)(座);2應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿鳎?通往潔凈室(區(qū))的管道,宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。中效或高中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段。浙江壓差潔凈室檢測(cè)方法
管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口和取樣口。浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
1管道連接應(yīng)采用焊接,熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。2不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊,以對(duì)接焊或承接焊連接;高純氣體管道宜采用內(nèi)壁***痕的對(duì)接焊。8.3.2管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當(dāng)采用軟管連接時(shí)宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應(yīng)符合下列規(guī)定:1螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)根據(jù)輸送物料性質(zhì)、設(shè)計(jì)工況選擇,宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應(yīng)按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定,宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應(yīng)根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構(gòu)造。冷管道保溫后的外表面溫度不應(yīng)低于環(huán)境的**溫度。保溫層外表面應(yīng)采用不產(chǎn)生塵粒、微生物的材料,并應(yīng)平整、光潔,宜采用金屬外殼保護(hù)。浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)