6.2.3潔凈廠房?jī)?nèi)防火分區(qū)的劃分,應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。丙類(lèi)生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室(區(qū)),在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后,其每個(gè)防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。6.2.4潔凈室的上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層和潔凈生產(chǎn)層,當(dāng)按其構(gòu)造特點(diǎn)和用途作為同一防火分區(qū)時(shí),上下技術(shù)夾層的面積可不計(jì)人防火分區(qū)的建筑面積,但應(yīng)分別采取相應(yīng)的消防措施。6.2.5潔凈室的頂棚和墻板、技術(shù)豎井井壁的材質(zhì)選擇,應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。由HEPA或ULPA與風(fēng)機(jī)組合在一起,構(gòu)成自身可提供動(dòng)力的末端空氣凈化的裝置。浙江過(guò)濾器無(wú)塵室檢測(cè)值得推薦
12.3.1防火卷簾安裝應(yīng)符合下列規(guī)定:1防火卷簾洞口上端至頂棚之間應(yīng)采用防火墻、不燃或難燃材料封堵。當(dāng)采用不燃或難燃材料封堵時(shí),其耐火極限應(yīng)不低于防火卷簾的耐火極限。如防火卷簾采用水幕保護(hù),其封堵材料亦應(yīng)采用水幕保護(hù)。2鋼質(zhì)卷簾的簾板應(yīng)平直,裝配成卷簾后,不應(yīng)存在孔洞或縫隙。3防火防煙卷簾的導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)置的防煙裝置的材料應(yīng)為不燃或難燃材料。防煙裝置與簾面應(yīng)均勻緊密貼合,其貼合面長(zhǎng)度不應(yīng)小于導(dǎo)軌長(zhǎng)度的80%。4用于疏散通道上的防火卷簾,其兩側(cè)應(yīng)安裝由感煙、感溫火災(zāi)探測(cè)器組成的火災(zāi)探測(cè)器組合。12.3.2防火門(mén)和防火窗的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定:1安裝在防火門(mén)和防火窗上的合頁(yè)、插銷(xiāo)等五金配件應(yīng)是經(jīng)相關(guān)檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品。2防火門(mén)的開(kāi)啟角度不應(yīng)小于90°,并應(yīng)具有在發(fā)生火災(zāi)時(shí)能迅速關(guān)閉的功能。壓差無(wú)塵室檢測(cè)服務(wù)無(wú)塵室通常用于制藥、電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。
7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時(shí),宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較,采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與超凈間內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入超凈間,并由超凈間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級(jí)1,000-100,000級(jí)。優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本,超凈間之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺(tái),提高超凈間等級(jí)。缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再***,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間??臻g內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制??梢允情_(kāi)放式或封閉式。
無(wú)塵室凈化關(guān)鍵功效取決于的操縱商品(如硅集成ic等)所觸碰之空氣的潔凈度等級(jí)日及溫度濕度,使商品能在一個(gè)優(yōu)良之自然環(huán)境室內(nèi)空間中生產(chǎn)制造、生產(chǎn)制造,此室內(nèi)空間大家稱(chēng)作潔凈凈化室。無(wú)塵室架構(gòu)一般可分成三種:不銹鋼板鋁方通、噴漆鐵鋁方通及其鋁合金型材,頂端及能用不銹鋼板、噴漆冷塑鋼扣板、抗靜電網(wǎng)格圖簾及亞克力有機(jī)玻璃板等原材料。周邊一般全是選用抗靜電網(wǎng)格圖簾或者有機(jī)玻璃板,排風(fēng)部用均選用FFU的清潔排風(fēng)模塊。指潔凈室(區(qū))在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已安裝完畢且功能完備的情況下,潔凈室(區(qū))內(nèi)沒(méi)有生產(chǎn)人員的狀態(tài)。醫(yī)療器具無(wú)塵室檢測(cè)誠(chéng)信推薦
潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)。浙江過(guò)濾器無(wú)塵室檢測(cè)值得推薦
1一級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V,靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s;2二級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門(mén)和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門(mén)的表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為1X10°~1X109Ω,摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V,靜電半衰期不應(yīng)大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V;3三級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門(mén)等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應(yīng)符合本條第2 款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門(mén)等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V。浙江過(guò)濾器無(wú)塵室檢測(cè)值得推薦