本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體芯片的制作過(guò)程中，整個(gè)晶圓制作完成后，首先需要把晶圓貼到粘性膜上，進(jìn)行劃片，把晶圓切割成一顆顆單獨(dú)芯片，之后需要把單獨(dú)的芯片從粘性膜上取下來(lái)，轉(zhuǎn)入托盤，料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過(guò)程中，因?yàn)槟び姓承裕苯佑梦鞆哪ど衔?，真空力無(wú)法克服膜的粘力，取不下來(lái)。需要把芯片從膜上頂起來(lái)，使芯片的大部分與膜脫離，只剩下很下的部分還和膜粘著，這樣吸嘴從上面吸取芯片，所需要克服的粘力就很小了，就可以很順利的把芯片吸走了。現(xiàn)有的把芯片從膜上頂升，讓芯片和膜剝離的方法，主要是頂針的方法，芯片頂升時(shí)，頂升座用真空吸附住膜，從芯片的正下方，頂起一根或多根，頂針前端磨細(xì)，針尖做成圓弧，保證既可以減少接觸面積，又不會(huì)頂破膜。頂針頂升時(shí)，因?yàn)橹苓叺哪け徽婵瘴皆谙旅娴捻斏?，只有頂針冒出把芯片頂升，芯片周邊的膜?huì)從芯片上剝離開(kāi)，只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片，這樣膜的粘力就很弱了，上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法，可以對(duì)應(yīng)厚度超過(guò)100微米的芯片，厚的芯片，剛性比較好，頂針頂升時(shí)。我司此款機(jī)器可以同時(shí)測(cè)試頂針的荷重-位移-電阻曲線，同時(shí)也可以測(cè)試頂針的壽命測(cè)試。常州金頂針

    該升降裝置包括第三伺服電機(jī)340、凸輪341、半圓狀的定位盤342與傳感器350。第三伺服電機(jī)340固定于豎板312外側(cè)，其電機(jī)軸穿過(guò)豎板312上的開(kāi)孔伸入基座310里側(cè)，凸輪341與定位盤342依次套設(shè)于電機(jī)軸上。凸輪341與頂桿410的凸起端頭411相抵。從而能夠通過(guò)第三伺服電機(jī)340的旋轉(zhuǎn)，依次驅(qū)動(dòng)凸輪341、頂桿410、連接塊510，帶動(dòng)頂塊500的升降。傳感器350安裝于豎板312上，傳感器350中間設(shè)有一道感應(yīng)凹槽351，定位盤342能夠在旋轉(zhuǎn)時(shí)穿過(guò)該感應(yīng)凹槽351，被傳感器350感應(yīng)。通過(guò)傳感器350感應(yīng)定位盤342，使該升降裝置能夠初始化頂升頭400的初始位置，并且能夠精確控制頂升頭400的頂升高度，例如圖10、圖11所示，傳感器350感應(yīng)到定位盤342的直徑邊緣342a作為起始零點(diǎn)，通過(guò)感應(yīng)定位盤342旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度a控制頂升頭400的頂升高度。如圖3、圖5與圖6所示，該頂桿410的凸起端頭411上設(shè)有氣管接頭412、該頂桿410內(nèi)具有連通氣管接頭412的第二氣道413，第二氣道413連通位于頂桿410頂部的第二氣孔414。如圖6所示，該連接塊510中具有豎直貫孔，該豎直貫孔分別連通第二氣孔414與圈形磁鐵560的中心孔。如圖6所示，該頂塊500內(nèi)具有連通方形凹腔541與圈形磁鐵560中心孔的第三氣道550。溫州頂針紋關(guān)鍵詞：頂針阻抗彈力試驗(yàn)機(jī)探針阻抗彈力試驗(yàn)機(jī)頂針探針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)東莞市微克檢測(cè)設(shè)備有限公司。

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本公司研制的試驗(yàn)儀器主要適用于：連接器、端子、接插件、線束、汽車、硅膠按鍵。常州金頂針

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