不會碎裂。但厚度100微米以內的芯片,因為芯片本省已經非常脆弱了,芯片面積稍大時,頂針頂升,芯片受頂針的力和膜的粘力的相互作用,很容易就碎裂了。所以對于厚度100微米以內的薄芯片,迫切需要新的頂升方式從粘性膜上剝離。技術實現要素:本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種新型的空氣頂針式芯片膜上分離裝置,能夠對厚度在100毫米以下的芯片進行剝離,而不會損傷芯片。本發(fā)明通過如下方式解決該技術問題:一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置,包括真空吸頭,所述真空吸頭的頂壁上設有中心孔與環(huán)繞所述中心孔布置的吸氣孔,其特征在于:還包括設于所述中心孔中的頂升頭以及能夠驅動所述頂升頭頂壁高出所述真空吸頭的頂壁的升降驅動機構,所述頂升頭的頂壁上設有凹腔,所述頂升頭具有連通所述凹腔的進氣機構。使用時,將真空吸頭置于粘性膜正下方,通過真空吸頭吸住粘性膜的底面,頂升頭上升,進氣機構對凹腔內充氣,使凹腔處的粘性膜開始凸起,芯片與粘性膜逐漸分離,從而使位于芯片上方的吸嘴可以順利將芯片吸走。采用這樣剝離方式,不會有傳統(tǒng)鋼制頂針受力集中的問題,能夠對厚度為100微米以下的芯片進行剝離而不會損傷芯片,相比現有技術有了***的進步。多年以來,成功開發(fā)了幾十余種各類的試驗儀器。無錫頂針詞
一般A4紙即可)※測試資料儲存于硬碟(每一筆資料皆可儲存,不限次數)※測試條件皆由電腦畫面設定(含測試行程、速度、次數、空壓、暫停時間等等)※檢驗報表抬頭內容可隨時修改(中英文皆可)※檢驗報表可自動產生,不須再作輸入?!鶛z驗報表可轉換為Excel等文書報表格式。南添SA品牌汽車按鍵開關荷重位移曲線儀跟同行比較之優(yōu)點:1、06年申請專利。2、曲線圖報表,文字報表可由客戶指定抬頭及LOGO;3、自動生成EXCEL,自動生成CPK;4、荷重傳感器荷重力多層保護,以更有效的保護易損貴重件荷重元,傳感器可以過載500%。具體頂針探針荷重行程阻抗試驗機技術規(guī)格及參數或需求更多產品可來電查詢或登錄公司購買SA品牌微克南添儀器的試驗機,全球客戶送貨上門,售后人員**當面培訓,直到學會為止。試驗機校準不設任何密碼,可以自主校驗,保質期過后可以自主找其他供貨商維修。試驗機硬件驅動,系統(tǒng)備份,解決客戶的后顧之憂。插拔力試驗機,荷重曲線儀計量精度優(yōu)于,整機保修兩年,傳感器在保修范圍內。湖州金頂針關鍵詞:頂針阻抗彈力試驗機探針阻抗彈力試驗機頂針探針荷重行程阻抗試驗機東莞市微克檢測設備有限公司。
本發(fā)明涉及半導體制造領域,尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術:在半導體芯片的制作過程中,整個晶圓制作完成后,首先需要把晶圓貼到粘性膜上,進行劃片,把晶圓切割成一顆顆單獨芯片,之后需要把單獨的芯片從粘性膜上取下來,轉入托盤,料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中,因為膜有粘性,直接用吸嘴從膜上吸取,真空力無法克服膜的粘力,取不下來。需要把芯片從膜上頂起來,使芯片的大部分與膜脫離,只剩下很下的部分還和膜粘著,這樣吸嘴從上面吸取芯片,所需要克服的粘力就很小了,就可以很順利的把芯片吸走了?,F有的把芯片從膜上頂升,讓芯片和膜剝離的方法,主要是頂針的方法,芯片頂升時,頂升座用真空吸附住膜,從芯片的正下方,頂起一根或多根,頂針前端磨細,針尖做成圓弧,保證既可以減少接觸面積,又不會頂破膜。頂針頂升時,因為周邊的膜被真空吸附在下面的頂升座上,只有頂針冒出把芯片頂升,芯片周邊的膜會從芯片上剝離開,只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片,這樣膜的粘力就很弱了,上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法,可以對應厚度超過100微米的芯片,厚的芯片,剛性比較好,頂針頂升時。
市場上有那么多頂針,“頂針夫人的頂針特別之處在哪?”,“手縫一定要用頂針嗎?”,“手工壓線一定要用頂針嗎?”,“必需要兩個嗎?”,“金銀頂針比塑料的或不銹鋼的有何區(qū)別?”,“為什么這么貴?”,“頂針價格是多少?”,“怎么試大小呢?”,“怎樣購買頂針夫人的頂針呢?”。這些是交流群里問得**多的問題。現在我就來一一解答上述問題:1.頂針夫人的頂針特別之處在哪里?市場上有許多頂針,從中國傳統(tǒng)的到日本花樣翻新的和韓國自制的。(國內市場還沒有看到西方更多各種各樣的。市場上的不同于中國傳統(tǒng)銅或鋁頂針,及韓國傳統(tǒng)布制頂針的所謂日本頂針-除了其傳統(tǒng)的sashiko用頂針(與我國的傳統(tǒng)頂針大同小異,佩戴部位不同)-幾乎全是西方傳統(tǒng)頂針的翻版。無論是什么顏色或材質制成的,傳統(tǒng)頂針的基本功能都是一樣的:保護手指的擋針牌!用法是縫幾針后,用其頂住針的眼部,將手縫針向前推,以免針眼部位向后戳進手指。。?!皳踽樑啤本统闪怂许斸樀幕咎攸c。頂針夫人的頂針有兩種:一個是(老式銀頂針-指甲處開放)適用于單針縫。另一個是新式的壓線**(亦可美式拼布連針縫)-這個頂針2006年獲得國際專利。對于一版有多個探針(頂針)的產品,我司可以實現全自動測試。
具體頂針探針阻抗彈力試驗機技術規(guī)格及參數或需求更多產品可來電查詢或登錄公司購買SA品牌微克南添儀器的試驗機,全球客戶送貨上門,售后人員**當面培訓,直到學會為止。試驗機校準不設任何密碼,可以自主校驗,保質期過后可以自主找其他供貨商維修。試驗機硬件驅動,系統(tǒng)備份,解決客戶的后顧之憂。插拔力試驗機,荷重曲線儀計量精度優(yōu)于,整機保修兩年,傳感器在保修范圍內。關鍵詞:頂針阻抗彈力試驗機探針阻抗彈力試驗機頂針探針荷重行程阻抗試驗機東莞市微克檢測設備有限公司精細的儀器,保證正確的測試結果;前列技術與完美售后,足以讓同行與客戶信服!這就是微克人做事做人做遵循的原則!主要為**精密力學檢測試驗機研發(fā)生產,高低溫環(huán)境箱生產,信賴性檢測設備生產。2006年成功申請多項國家力學**試驗機。為更好服務長三角客戶,于2006年末在蘇州設立辦事處。本公司是集產品研發(fā)、生產、銷售為一體的高科技企業(yè)。公司主要產品有:力學檢測儀器、中英文工控組態(tài)軟件、力量傳感器,阻抗模塊,數據采集卡等等。主要試驗機有按鍵荷重-位移曲線機(**產品)、全自動插拔力試驗機(**產品)、三軸按鍵開關荷重位移曲線儀(**產品),電腦全自動扭力試驗機。采用這樣的結構,使進氣機構的氣路與真空吸頭330的氣路相對穩(wěn)定。無錫軟頂針
不會因為對凹腔541進行充放氣操作影響真空吸頭330的運行。無錫頂針詞
323-***氣孔,324-貫通孔,325-擋圈,330-真空吸頭,332-吸氣孔,333-中心孔,334-殼筒,335-蓋板,336-凸耳,337-限位凹腔,338-限位孔,340-第三伺服電機,341-凸輪,342-定位盤,350-傳感器,351-感應凹槽,360-支架,370-電磁閥,380-坦克鏈,400-頂升頭,410-頂桿,411-凸起端頭,412-氣管接頭,413-第二氣道,414-第二氣孔,420-彈簧,430-導套,440-限位彈簧,441-限位塊,442-導桿,443-凸臺,444-臺階,445-讓位凹口,446-限位柱,500-頂塊,510-連接塊,511-容置腔,512-密封圈,513-滑槽,514-定位桿,515-連接孔,520-底部,530-中部,540-頂部,541-凹腔,550-第三氣道,560-圈形磁鐵。具體實施方式以下通過具體實施例來對本發(fā)明進行進一步闡述:如圖1和圖4所示的空氣頂針式芯片膜上分離裝置,包括xy平面運動機構、真空吸頭330、設于真空吸頭330內的頂升頭400、控制頂升頭400升降的升降驅動機構以及控制頂升頭400充放氣的進氣機構。如圖1和圖4所示,xy平面運動機構包括橫向直線導軌100、縱向直線導軌200。無錫頂針詞
蘇州昕昀科技有限公司位于蘇州市區(qū)金獅河沿45號2號樓312室,是一家專業(yè)的 蘇州昕昀科技有限公司成立于2017-03-07,法定代表人為楊麗,注冊資本為200萬元人民幣,統(tǒng)一社會信用代碼為91320508MA1NH6YU0L,企業(yè)地址位于蘇州市區(qū)金獅河沿45號2號樓312室,所屬行業(yè)為研究和試驗發(fā)展,經營范圍包含:工業(yè)技術研發(fā);銷售:發(fā)光二極管材料,燈具,電子元器件,電線電纜,防靜電產品,無塵室耗材,檢測儀器設備,量具,工裝夾具,機電產品,橡膠制品,包裝材料,勞保用品,辦公用品。(依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動)。蘇州昕昀科技有限公司目前的經營狀態(tài)為存續(xù)(在營、開業(yè)、在冊)。公司。在昕昀科技近多年發(fā)展歷史,公司旗下現有品牌昕昀等。公司不僅*提供專業(yè)的 蘇州昕昀科技有限公司成立于2017-03-07,法定代表人為楊麗,注冊資本為200萬元人民幣,統(tǒng)一社會信用代碼為91320508MA1NH6YU0L,企業(yè)地址位于蘇州市區(qū)金獅河沿45號2號樓312室,所屬行業(yè)為研究和試驗發(fā)展,經營范圍包含:工業(yè)技術研發(fā);銷售:發(fā)光二極管材料,燈具,電子元器件,電線電纜,防靜電產品,無塵室耗材,檢測儀器設備,量具,工裝夾具,機電產品,橡膠制品,包裝材料,勞保用品,辦公用品。(依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動)。蘇州昕昀科技有限公司目前的經營狀態(tài)為存續(xù)(在營、開業(yè)、在冊)。,同時還建立了完善的售后服務體系,為客戶提供良好的產品和服務。誠實、守信是對企業(yè)的經營要求,也是我們做人的基本準則。公司致力于打造***的沖頭,非標件,襯套。