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帽蓋100與帽體200的安裝方式不同;具體的,帽體200的頂面設(shè)有安裝槽600,安裝槽600位于帽體200頂面中部,主要通過安裝塊120卡于安裝槽600的開槽位置來使帽蓋100固定在帽體200上,帽蓋100邊緣處設(shè)有配合安裝槽600使用的安裝塊120,用以更好的可拆卸安裝在帽體200上,安裝塊120的形狀不做具體限制,當(dāng)然在其他實(shí)施例中也可以不按此設(shè)置;安裝槽600靠近帽體200的外壁設(shè)有45度倒角210,倒角210的一邊與安裝塊120的上表面接觸,避免貼膜400與帽蓋100接觸時(shí),在帽體200內(nèi)真空吸附的作用下,芯片500與帽體200的90度拐角處直接接觸導(dǎo)致的破損。實(shí)施例三:本實(shí)施例與實(shí)施例一大體一致,如圖6所示,主要區(qū)別點(diǎn)在于,帽蓋100與帽體200的安裝方式不同;具體的,帽體200的頂面設(shè)有安裝槽600,安裝槽600位于帽體200頂面中部,主要通過帽蓋100本身的彈性形變來使帽蓋100夾持固定在帽體200上,帽蓋100邊緣處設(shè)有配合安裝槽600使用的安裝塊120,用以更好的可拆卸安裝在帽體200上,安裝塊120的形狀不做具體限制;安裝槽600靠近帽體200的外壁設(shè)有45度倒角210,倒角210的一邊與安裝塊120的下表面接觸,避免貼膜400與帽蓋100接觸時(shí),在帽體200內(nèi)真空吸附的作用下。具體頂針探針阻抗彈力試驗(yàn)機(jī)技術(shù)規(guī)格及參數(shù)或需求更多產(chǎn)品可來電查詢。杭州頂針批發(fā)
323-***氣孔,324-貫通孔,325-擋圈,330-真空吸頭,332-吸氣孔,333-中心孔,334-殼筒,335-蓋板,336-凸耳,337-限位凹腔,338-限位孔,340-第三伺服電機(jī),341-凸輪,342-定位盤,350-傳感器,351-感應(yīng)凹槽,360-支架,370-電磁閥,380-坦克鏈,400-頂升頭,410-頂桿,411-凸起端頭,412-氣管接頭,413-第二氣道,414-第二氣孔,420-彈簧,430-導(dǎo)套,440-限位彈簧,441-限位塊,442-導(dǎo)桿,443-凸臺(tái),444-臺(tái)階,445-讓位凹口,446-限位柱,500-頂塊,510-連接塊,511-容置腔,512-密封圈,513-滑槽,514-定位桿,515-連接孔,520-底部,530-中部,540-頂部,541-凹腔,550-第三氣道,560-圈形磁鐵。具體實(shí)施方式以下通過具體實(shí)施例來對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步闡述:如圖1和圖4所示的空氣頂針式芯片膜上分離裝置,包括xy平面運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、真空吸頭330、設(shè)于真空吸頭330內(nèi)的頂升頭400、控制頂升頭400升降的升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及控制頂升頭400充放氣的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)。如圖1和圖4所示,xy平面運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括橫向直線導(dǎo)軌100、縱向直線導(dǎo)軌200。上海頂針定制價(jià)格彈力太小或太大、接觸電阻太大、行程不符合要求都會(huì)對(duì)測(cè)試產(chǎn)生影響。所以就需要對(duì)此些數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測(cè)。
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術(shù):在半導(dǎo)體芯片的制作過程中,整個(gè)晶圓制作完成后,首先需要把晶圓貼到粘性膜上,進(jìn)行劃片,把晶圓切割成一顆顆單獨(dú)芯片,之后需要把單獨(dú)的芯片從粘性膜上取下來,轉(zhuǎn)入托盤,料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中,因?yàn)槟び姓承?,直接用吸嘴從膜上吸取,真空力無法克服膜的粘力,取不下來。需要把芯片從膜上頂起來,使芯片的大部分與膜脫離,只剩下很下的部分還和膜粘著,這樣吸嘴從上面吸取芯片,所需要克服的粘力就很小了,就可以很順利的把芯片吸走了?,F(xiàn)有的把芯片從膜上頂升,讓芯片和膜剝離的方法,主要是頂針的方法,芯片頂升時(shí),頂升座用真空吸附住膜,從芯片的正下方,頂起一根或多根,頂針前端磨細(xì),針尖做成圓弧,保證既可以減少接觸面積,又不會(huì)頂破膜。頂針頂升時(shí),因?yàn)橹苓叺哪け徽婵瘴皆谙旅娴捻斏?,只有頂針冒出把芯片頂升,芯片周邊的膜?huì)從芯片上剝離開,只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片,這樣膜的粘力就很弱了,上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法,可以對(duì)應(yīng)厚度超過100微米的芯片,厚的芯片,剛性比較好,頂針頂升時(shí)。
中國(guó)供應(yīng)商>浙江品牌>浙江電子五金材料品牌>浙江彈簧頂針連接器共找到2條"彈簧頂針連接器"報(bào)價(jià)信息省份不限浙江您還可以找頂針蛇形彈簧聯(lián)軸器彈簧頂針彈簧連接器頂針連接器彈簧針連接器天線頂針連接器彈簧充電頂針氣動(dòng)頂針頂針規(guī)格頂針電池連接器鍍金彈簧頂針彈簧pcb連接器彈簧頂針導(dǎo)電連接器更多屬性默認(rèn)熱度1/1浙江不限1/1供應(yīng):頂針連接器(電池針6號(hào))型號(hào)頂針連接器(電池針6號(hào))特性耐高溫,接觸性好規(guī)格尺寸(mm)四連*間距*高*針徑用途適用于無線電主板接插件材質(zhì)全針黃鍍金,間格部鐵氟龍加工定制是主營(yíng)產(chǎn)品:電子五金材料連接器慈溪市勝山鎮(zhèn)仲意電訊廠所在地:浙江慈溪市在線詢價(jià)供應(yīng):頂針連接器針(電池針6號(hào))型號(hào)頂針連接器針(電池針6號(hào))特性耐高溫,接觸性好規(guī)格尺寸(mm)四連*間距*高*針徑用途適用于無線電主板接插件材質(zhì)全針黃鍍金。為更好服務(wù)長(zhǎng)三角客戶,于2006年末在蘇州設(shè)立辦事處。
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探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)簡(jiǎn)介:探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)適用于各種頂針、探針、按鍵、開關(guān)之荷重-行程-阻抗曲線測(cè)試。測(cè)試產(chǎn)品力值行程的同時(shí)可以測(cè)試接觸電阻。頂針探針一般行程零點(diǎn)幾毫米的時(shí)候力值才20克左右,力值小,行程精度高所以對(duì)試驗(yàn)機(jī)要求較高。另外頂針探針的接觸電阻在幾毫歐以內(nèi),對(duì)測(cè)頭以及測(cè)試底板表面處理要求高。我司此款試驗(yàn)機(jī)測(cè)試頂針探針荷重行程的同時(shí)可以測(cè)試其接觸電阻。探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)我司有兩款,一款是單軸的,適合抽檢測(cè)試,工程分析測(cè)試。另外一款是三軸的適合整版頂針探針的荷重行程測(cè)試,同時(shí)顯示出接觸電阻。此機(jī)器還可以測(cè)試壽命測(cè)試。可以設(shè)定打擊多少次以后就進(jìn)行壽命測(cè)試。目前我司試驗(yàn)機(jī)技術(shù)先進(jìn):DSP數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),工業(yè)以太網(wǎng)傳輸數(shù)據(jù),采樣速率高達(dá)27kHZ,***抗干擾能力。探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)特點(diǎn):量測(cè)曲線圖由電腦記憶,可隨時(shí)放大、縮小,一張A4紙可任意指定放置N個(gè)曲線圖。測(cè)定專桉可輸入上、下限規(guī)格值,測(cè)定結(jié)果可自動(dòng)判定OK或NO??奢斎霚y(cè)定行程及荷重,電腦自動(dòng)控制。荷重單位顯示N、Ib、gf、kgf可自由切換電腦直接列印及儲(chǔ)存荷重-行程曲線圖、檢查報(bào)表。(不需要方格紙。杭州頂針批發(fā)
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