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323-***氣孔,324-貫通孔,325-擋圈,330-真空吸頭,332-吸氣孔,333-中心孔,334-殼筒,335-蓋板,336-凸耳,337-限位凹腔,338-限位孔,340-第三伺服電機(jī),341-凸輪,342-定位盤,350-傳感器,351-感應(yīng)凹槽,360-支架,370-電磁閥,380-坦克鏈,400-頂升頭,410-頂桿,411-凸起端頭,412-氣管接頭,413-第二氣道,414-第二氣孔,420-彈簧,430-導(dǎo)套,440-限位彈簧,441-限位塊,442-導(dǎo)桿,443-凸臺(tái),444-臺(tái)階,445-讓位凹口,446-限位柱,500-頂塊,510-連接塊,511-容置腔,512-密封圈,513-滑槽,514-定位桿,515-連接孔,520-底部,530-中部,540-頂部,541-凹腔,550-第三氣道,560-圈形磁鐵。具體實(shí)施方式以下通過具體實(shí)施例來對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步闡述:如圖1和圖4所示的空氣頂針式芯片膜上分離裝置,包括xy平面運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、真空吸頭330、設(shè)于真空吸頭330內(nèi)的頂升頭400、控制頂升頭400升降的升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及控制頂升頭400充放氣的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)。如圖1和圖4所示,xy平面運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括橫向直線導(dǎo)軌100、縱向直線導(dǎo)軌200。主要試驗(yàn)機(jī)有荷重-位移曲線機(jī)、全自動(dòng)插拔力試驗(yàn)機(jī)、三軸按鍵開關(guān)荷重位移曲線儀,電腦全自動(dòng)扭力試驗(yàn)機(jī)。南京排氣頂針
帽蓋100與帽體200的安裝方式不同;具體的,帽體200的頂面設(shè)有安裝槽600,安裝槽600位于帽體200頂面中部,主要通過安裝塊120卡于安裝槽600的開槽位置來使帽蓋100固定在帽體200上,帽蓋100邊緣處設(shè)有配合安裝槽600使用的安裝塊120,用以更好的可拆卸安裝在帽體200上,安裝塊120的形狀不做具體限制,當(dāng)然在其他實(shí)施例中也可以不按此設(shè)置;安裝槽600靠近帽體200的外壁設(shè)有45度倒角210,倒角210的一邊與安裝塊120的上表面接觸,避免貼膜400與帽蓋100接觸時(shí),在帽體200內(nèi)真空吸附的作用下,芯片500與帽體200的90度拐角處直接接觸導(dǎo)致的破損。實(shí)施例三:本實(shí)施例與實(shí)施例一大體一致,如圖6所示,主要區(qū)別點(diǎn)在于,帽蓋100與帽體200的安裝方式不同;具體的,帽體200的頂面設(shè)有安裝槽600,安裝槽600位于帽體200頂面中部,主要通過帽蓋100本身的彈性形變來使帽蓋100夾持固定在帽體200上,帽蓋100邊緣處設(shè)有配合安裝槽600使用的安裝塊120,用以更好的可拆卸安裝在帽體200上,安裝塊120的形狀不做具體限制;安裝槽600靠近帽體200的外壁設(shè)有45度倒角210,倒角210的一邊與安裝塊120的下表面接觸,避免貼膜400與帽蓋100接觸時(shí),在帽體200內(nèi)真空吸附的作用下。溫州氣頂針該頂桿410與支撐筒320的貫通孔324內(nèi)壁間設(shè)有密封圈,由此實(shí)現(xiàn)支撐筒320與頂桿410間的氣密。
探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)簡(jiǎn)介:探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)適用于各種頂針、探針、按鍵、開關(guān)之荷重-行程-阻抗曲線測(cè)試。測(cè)試產(chǎn)品力值行程的同時(shí)可以測(cè)試接觸電阻。頂針探針一般行程零點(diǎn)幾毫米的時(shí)候力值才20克左右,力值小,行程精度高所以對(duì)試驗(yàn)機(jī)要求較高。另外頂針探針的接觸電阻在幾毫歐以內(nèi),對(duì)測(cè)頭以及測(cè)試底板表面處理要求高。我司此款試驗(yàn)機(jī)測(cè)試頂針探針荷重行程的同時(shí)可以測(cè)試其接觸電阻。探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)我司有兩款,一款是單軸的,適合抽檢測(cè)試,工程分析測(cè)試。另外一款是三軸的適合整版頂針探針的荷重行程測(cè)試,同時(shí)顯示出接觸電阻。此機(jī)器還可以測(cè)試壽命測(cè)試??梢栽O(shè)定打擊多少次以后就進(jìn)行壽命測(cè)試。目前我司試驗(yàn)機(jī)技術(shù)先進(jìn):DSP數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),工業(yè)以太網(wǎng)傳輸數(shù)據(jù),采樣速率高達(dá)27kHZ,***抗干擾能力。探針頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)特點(diǎn):量測(cè)曲線圖由電腦記憶,可隨時(shí)放大、縮小,一張A4紙可任意指定放置N個(gè)曲線圖。測(cè)定專桉可輸入上、下限規(guī)格值,測(cè)定結(jié)果可自動(dòng)判定OK或NO??奢斎霚y(cè)定行程及荷重,電腦自動(dòng)控制。荷重單位顯示N、Ib、gf、kgf可自由切換電腦直接列印及儲(chǔ)存荷重-行程曲線圖、檢查報(bào)表。(不需要方格紙。
是一款很好的頂針探針試驗(yàn)機(jī)器。在測(cè)試頭與底部測(cè)試夾具都需要精細(xì)處理,以便能保證測(cè)試細(xì)小的接觸電阻。頂針探針阻抗荷重行程試驗(yàn)機(jī)特點(diǎn):※可以測(cè)試頂針的微小接觸阻抗、同時(shí)能測(cè)試出頂針的荷重行程曲線※量測(cè)曲線圖由電腦記憶,可隨時(shí)放大、縮小,一張A4紙可任意指定放置N個(gè)曲線圖?!鶞y(cè)定專桉可輸入上、下限規(guī)格值,測(cè)定結(jié)果可自動(dòng)判定OK或NO?!奢斎霚y(cè)定行程及荷重,電腦自動(dòng)控制。※荷重單位顯示N、Ib、gf、kgf可自由切換※電腦直接列印及儲(chǔ)存荷重-行程曲線圖、檢查報(bào)表。(不需要方格紙,一般A4紙即可)※測(cè)試資料儲(chǔ)存于硬碟(每一筆資料皆可儲(chǔ)存,不限次數(shù))※測(cè)試條件皆由電腦畫面設(shè)定(含測(cè)試行程、速度、次數(shù)、空壓、暫停時(shí)間等等)※檢驗(yàn)報(bào)表抬頭內(nèi)容可隨時(shí)修改(中英文皆可)※檢驗(yàn)報(bào)表可自動(dòng)產(chǎn)生,不須再作輸入?!鶛z驗(yàn)報(bào)表可轉(zhuǎn)換為Excel等文書報(bào)表格式。南添SA品牌汽車按鍵開關(guān)荷重位移曲線儀跟同行比較之優(yōu)點(diǎn):1、06年申請(qǐng)**。2、曲線圖報(bào)表,文字報(bào)表可由客戶指定抬頭及LOGO;3、自動(dòng)生成EXCEL,自動(dòng)生成CPK;4、荷重傳感器荷重力多層保護(hù),以更有效的保護(hù)易損貴重件荷重元,傳感器可以過載500%。通過電腦設(shè)定儲(chǔ)存數(shù)據(jù),是一款很好的頂針探針試驗(yàn)機(jī)器。
頂針探針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)規(guī)格:測(cè)試荷重種類;2kgf、500gf(任選1個(gè))**小顯示荷重:**大測(cè)試行程:100mm**小顯示行程:()測(cè)定速度范圍:1-300mm/min(可以達(dá)600mm/min)傳動(dòng)機(jī)構(gòu):滾珠螺桿采樣速率:27KHZ目前我司試驗(yàn)機(jī)技術(shù)先進(jìn):DSP數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),工業(yè)以太網(wǎng)傳輸數(shù)據(jù),采樣速率高達(dá)27kHZ,***抗干擾能力。頂針探針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)簡(jiǎn)介:此款試驗(yàn)機(jī)為測(cè)試頂針探針量身定制,頂針和探針力值、行程、接觸電阻為三個(gè)主要測(cè)試指標(biāo)。我司此款機(jī)器可以同時(shí)測(cè)試頂針的荷重-位移-電阻曲線,同時(shí)也可以測(cè)試頂針的壽命測(cè)試。通過電腦設(shè)定儲(chǔ)存數(shù)據(jù),是一款很好的頂針探針試驗(yàn)機(jī)器。在測(cè)試頭與底部測(cè)試夾具都需要精細(xì)處理,以便能保證測(cè)試細(xì)小的接觸電阻。頂針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)特點(diǎn):※可以測(cè)試頂針的微小接觸阻抗、同時(shí)能測(cè)試出頂針的荷重行程曲線※量測(cè)曲線圖由電腦記憶,可隨時(shí)放大、縮小,一張A4紙可任意指定放置N個(gè)曲線圖?!鶞y(cè)定專桉可輸入上、下限規(guī)格值,測(cè)定結(jié)果可自動(dòng)判定OK或NO?!奢斎?*大測(cè)定行程及荷重,電腦自動(dòng)控制?!芍貑挝伙@示N、Ib、gf、kgf可自由切換※電腦直接列印及儲(chǔ)存荷重-行程曲線圖、檢查報(bào)表。(不需要方格紙。試驗(yàn)機(jī)校準(zhǔn)不設(shè)任何密碼,可以自主校驗(yàn),保質(zhì)期過后可以自主找其他供貨商維修。江蘇頂針詩句
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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術(shù):在半導(dǎo)體芯片的制作過程中,整個(gè)晶圓制作完成后,首先需要把晶圓貼到粘性膜上,進(jìn)行劃片,把晶圓切割成一顆顆單獨(dú)芯片,之后需要把單獨(dú)的芯片從粘性膜上取下來,轉(zhuǎn)入托盤,料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中,因?yàn)槟び姓承?,直接用吸嘴從膜上吸取,真空力無法克服膜的粘力,取不下來。需要把芯片從膜上頂起來,使芯片的大部分與膜脫離,只剩下很下的部分還和膜粘著,這樣吸嘴從上面吸取芯片,所需要克服的粘力就很小了,就可以很順利的把芯片吸走了。現(xiàn)有的把芯片從膜上頂升,讓芯片和膜剝離的方法,主要是頂針的方法,芯片頂升時(shí),頂升座用真空吸附住膜,從芯片的正下方,頂起一根或多根,頂針前端磨細(xì),針尖做成圓弧,保證既可以減少接觸面積,又不會(huì)頂破膜。頂針頂升時(shí),因?yàn)橹苓叺哪け徽婵瘴皆谙旅娴捻斏?,只有頂針冒出把芯片頂升,芯片周邊的膜?huì)從芯片上剝離開,只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片,這樣膜的粘力就很弱了,上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法,可以對(duì)應(yīng)厚度超過100微米的芯片,厚的芯片,剛性比較好,頂針頂升時(shí)。南京排氣頂針
蘇州昕昀科技有限公司一直專注于 蘇州昕昀科技有限公司成立于2017-03-07,法定代表人為楊麗,注冊(cè)資本為200萬元人民幣,統(tǒng)一社會(huì)信用代碼為91320508MA1NH6YU0L,企業(yè)地址位于蘇州市區(qū)金獅河沿45號(hào)2號(hào)樓312室,所屬行業(yè)為研究和試驗(yàn)發(fā)展,經(jīng)營范圍包含:工業(yè)技術(shù)研發(fā);銷售:發(fā)光二極管材料,燈具,電子元器件,電線電纜,防靜電產(chǎn)品,無塵室耗材,檢測(cè)儀器設(shè)備,量具,工裝夾具,機(jī)電產(chǎn)品,橡膠制品,包裝材料,勞保用品,辦公用品。(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng))。蘇州昕昀科技有限公司目前的經(jīng)營狀態(tài)為存續(xù)(在營、開業(yè)、在冊(cè))。,是一家五金、工具的企業(yè),擁有自己**的技術(shù)體系。目前我公司在職員工以90后為主,是一個(gè)有活力有能力有創(chuàng)新精神的團(tuán)隊(duì)。公司業(yè)務(wù)范圍主要包括:沖頭,非標(biāo)件,襯套等。公司奉行顧客至上、質(zhì)量為本的經(jīng)營宗旨,深受客戶好評(píng)。一直以來公司堅(jiān)持以客戶為中心、沖頭,非標(biāo)件,襯套市場(chǎng)為導(dǎo)向,重信譽(yù),保質(zhì)量,想客戶之所想,急用戶之所急,全力以赴滿足客戶的一切需要。