本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體芯片的制作過程中，整個晶圓制作完成后，首先需要把晶圓貼到粘性膜上，進行劃片，把晶圓切割成一顆顆單獨芯片，之后需要把單獨的芯片從粘性膜上取下來，轉(zhuǎn)入托盤，料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中，因為膜有粘性，直接用吸嘴從膜上吸取，真空力無法克服膜的粘力，取不下來。需要把芯片從膜上頂起來，使芯片的大部分與膜脫離，只剩下很下的部分還和膜粘著，這樣吸嘴從上面吸取芯片，所需要克服的粘力就很小了，就可以很順利的把芯片吸走了?，F(xiàn)有的把芯片從膜上頂升，讓芯片和膜剝離的方法，主要是頂針的方法，芯片頂升時，頂升座用真空吸附住膜，從芯片的正下方，頂起一根或多根，頂針前端磨細，針尖做成圓弧，保證既可以減少接觸面積，又不會頂破膜。頂針頂升時，因為周邊的膜被真空吸附在下面的頂升座上，只有頂針冒出把芯片頂升，芯片周邊的膜會從芯片上剝離開，只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片，這樣膜的粘力就很弱了，上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法，可以對應(yīng)厚度超過100微米的芯片，厚的芯片，剛性比較好，頂針頂升時。頂針探針是通過自身的彈性接觸面以及力度來保證與電子產(chǎn)品的有效接觸。湖州納米陶瓷頂針

    中國供應(yīng)商>浙江品牌>浙江電子五金材料品牌>浙江彈簧頂針連接器共找到2條"彈簧頂針連接器"報價信息省份不限浙江您還可以找頂針蛇形彈簧聯(lián)軸器彈簧頂針彈簧連接器頂針連接器彈簧針連接器天線頂針連接器彈簧充電頂針氣動頂針頂針規(guī)格頂針電池連接器鍍金彈簧頂針彈簧pcb連接器彈簧頂針導(dǎo)電連接器更多屬性默認熱度1/1浙江不限1/1供應(yīng):頂針連接器(電池針6號)型號頂針連接器(電池針6號)特性耐高溫,接觸性好規(guī)格尺寸(mm)四連*間距*高*針徑用途適用于無線電主板接插件材質(zhì)全針黃鍍金,間格部鐵氟龍加工定制是主營產(chǎn)品：電子五金材料連接器慈溪市勝山鎮(zhèn)仲意電訊廠所在地：浙江慈溪市在線詢價供應(yīng):頂針連接器針(電池針6號)型號頂針連接器針(電池針6號)特性耐高溫,接觸性好規(guī)格尺寸(mm)四連*間距*高*針徑用途適用于無線電主板接插件材質(zhì)全針黃鍍金。無錫頂針工廠通過電腦設(shè)定儲存數(shù)據(jù)，是一款很好的頂針探針試驗機器。

    按鍵開關(guān)荷重曲線機，連接器插拔力試驗機經(jīng)過我司所有員工多年的努力，國內(nèi)市場占有率達80%,功能強大、性能可靠、走在同行業(yè)的前沿。2009年開始批量供貨給集團客戶使用，2010年開始公司業(yè)績已遍布全球，2012年成功出口到日韓市場，中國臺灣市場以及歐美市場。2013年我司自主研發(fā)出具有國際先進技術(shù)的采集卡，為我司產(chǎn)品的更新?lián)Q代奠定了堅實的基礎(chǔ)。面對同行的挑戰(zhàn)，我們微克人堅信：產(chǎn)品可以復(fù)制，品質(zhì)無法超越！16年我司的插拔力試驗機程序和荷重位移曲線儀程序已成功獲得程序著作權(quán)。公司主要專業(yè)客戶有：橡塑、汽車零部件、連接器、端子、接插件、線束、按鍵、開關(guān)、彈簧、轉(zhuǎn)軸等廠家。綜合性客戶有：汽車行業(yè)、手機、電腦、家用電器、醫(yī)療、研究所、機電、通訊設(shè)備等廠家。還有與許多**航天工廠合作一些大型的步入式恒溫恒濕試驗房，高低溫試驗箱等。對于對應(yīng)每個專業(yè)或行業(yè)的品牌客戶本公司都與其合作過，國內(nèi)國際**客戶不勝枚舉。我司專業(yè)的力學(xué)試驗機除了標準的拉力試驗機，剝離力試驗機，材料試驗機以外還有針對連接器、端子、按鍵、旋鈕等的一些專業(yè)性檢測設(shè)備如插拔力，按鍵荷重曲線儀，扭力試驗機，彈簧拉壓試驗機。另外我司也配套生產(chǎn)模擬環(huán)境試驗箱。

    芯片上方的真空吸嘴和頂升頭400同步向上移動，頂升頭400伸出至高出頂壁約2mm左右后，停止上升，緊接著在真空吸嘴繼續(xù)上升的同時，打開與氣管接頭412連接的電磁閥370，向方形凹腔541內(nèi)充氣，從而使得粘性膜對應(yīng)在凹腔541上的區(qū)域形成向上突起的鼓包，這時，芯片四周邊緣就會與粘性膜分離，隨著凸起越來越高，芯片的邊緣開始脫離，脫離部分越來越多，直到芯片與膜之間只有一小部分粘連，粘力很小，這時再驅(qū)動真空吸嘴將芯片吸走。***，將凹腔541中的氣體排出并驅(qū)動頂升頭400下降并停止真空吸頭抽真空，使整個裝置還原到初始狀態(tài)后通過移動粘性膜使下個芯片與頂升頭400的凹腔541對準，以進行下一輪芯片與膜的剝離。本發(fā)明采用空氣頂針的模式，替換傳統(tǒng)的鋼制頂針，不會有受力集中的問題，能夠?qū)穸葹?00微米以下的芯片進行剝離，而不會損傷芯片，相比現(xiàn)有技術(shù)取得了***的進步。但是，本技術(shù)領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員應(yīng)當認識到，以上的實施例*是用說明本發(fā)明，而并非用作為對本發(fā)明的限定，只要在本發(fā)明的實質(zhì)精神范圍內(nèi)，對以上所述實施例的變化、變型都將落在本發(fā)明的權(quán)利要求書范圍內(nèi)。采用這樣的結(jié)構(gòu)，使進氣機構(gòu)的氣路與真空吸頭330的氣路相對穩(wěn)定。

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目前中國的實體經(jīng)濟由于用人成本的增加。湖州納米陶瓷頂針

    作為本發(fā)明的一種推薦實施方式，還包括c形基座，所述基座包括設(shè)于所述第二滑塊上的底板、連接于底板一端的豎板以及連接于所述豎板頂端與所述底板相對布置的頂板，所述頂板上設(shè)有支撐筒，所述真空吸頭連接于所述支撐筒上。采用這樣的結(jié)構(gòu)能夠避免升降驅(qū)動機構(gòu)與支撐筒間的安裝***。作為本發(fā)明的一種推薦實施方式，所述支撐筒的外壁上設(shè)有氣嘴，所述支撐筒內(nèi)設(shè)有連通所述真空吸頭與所述氣嘴的***氣道。能夠通過氣嘴進行抽氣來控制真空吸頭對粘性膜進行吸附。作為本發(fā)明的一種推薦實施方式，所述升降驅(qū)動機構(gòu)包括設(shè)于所述豎板上的升降裝置以及設(shè)于所述支撐筒中的頂桿，所述頂桿頂部與所述頂升頭相連，所述升降裝置能夠驅(qū)動所述頂桿帶動所述真空吸頭進行升降。作為本發(fā)明的一種推薦實施方式，所述升降裝置包括安裝于所述豎板上的第三伺服電機，所述第三伺服電機具有伸至所述頂板下方的電機軸，所述電機軸上設(shè)有凸輪，所述頂桿底端穿過頂板上的通孔與所述凸輪相抵。采用這樣的結(jié)構(gòu)，能夠通過凸輪的轉(zhuǎn)動來控制頂升頭的升降。作為本發(fā)明的推薦實施方式，所述進氣機構(gòu)包括設(shè)于頂桿上的氣管接頭、設(shè)于所述頂桿中且連通所述氣管接頭的第二氣道。湖州納米陶瓷頂針

蘇州昕昀科技有限公司一直專注于 蘇州昕昀科技有限公司成立于2017-03-07，法定代表人為楊麗，注冊資本為200萬元人民幣，統(tǒng)一社會信用代碼為91320508MA1NH6YU0L，企業(yè)地址位于蘇州市區(qū)金獅河沿45號2號樓312室，所屬行業(yè)為研究和試驗發(fā)展，經(jīng)營范圍包含：工業(yè)技術(shù)研發(fā)；銷售：發(fā)光二極管材料，燈具，電子元器件，電線電纜，防靜電產(chǎn)品，無塵室耗材，檢測儀器設(shè)備，量具，工裝夾具，機電產(chǎn)品，橡膠制品，包裝材料，勞保用品，辦公用品。（依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動）。蘇州昕昀科技有限公司目前的經(jīng)營狀態(tài)為存續(xù)（在營、開業(yè)、在冊）。，是一家五金、工具的企業(yè)，擁有自己**的技術(shù)體系。目前我公司在職員工以90后為主，是一個有活力有能力有創(chuàng)新精神的團隊。公司以誠信為本，業(yè)務(wù)領(lǐng)域涵蓋沖頭，非標件，襯套，我們本著對客戶負責，對員工負責，更是對公司發(fā)展負責的態(tài)度，爭取做到讓每位客戶滿意。一直以來公司堅持以客戶為中心、沖頭，非標件，襯套市場為導(dǎo)向，重信譽，保質(zhì)量，想客戶之所想，急用戶之所急，全力以赴滿足客戶的一切需要。