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設(shè)于所述頂升頭中且連通所述凹腔與所述第二氣道的第三氣道。從而能夠通過(guò)氣管接頭實(shí)現(xiàn)對(duì)凹腔的充放氣。作為本發(fā)明的推薦實(shí)施方式,所述進(jìn)氣機(jī)構(gòu)還包括與所述氣管接頭相連的電磁閥。從而能夠通過(guò)電磁閥控制氣管接頭的充放氣。本發(fā)明采用空氣頂針的模式,替換傳統(tǒng)的鋼制頂針,不會(huì)有受力集中的問(wèn)題,能夠?qū)穸葹?00微米以下的芯片進(jìn)行剝離,而不會(huì)損傷芯片,相比現(xiàn)有技術(shù)取得了***的進(jìn)步。附圖說(shuō)明下面結(jié)合圖片來(lái)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步的說(shuō)明:圖1為本發(fā)明的立體視圖;圖2為本發(fā)明中a部分的局部放大圖;圖3為本發(fā)明的側(cè)視圖;圖4為本發(fā)明的b-b面剖視圖;圖5為本發(fā)明中b部分的局部放大圖;圖6為本發(fā)明中c部分的局部放大圖;圖7為本發(fā)明中支撐筒的剖視圖;圖8為本發(fā)明中真空吸頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)視圖;圖9為本發(fā)明中蓋板的底面視圖;圖10為定位盤處于初始零點(diǎn)時(shí)的工作視圖;圖11為定位盤處于預(yù)定角度a時(shí)的工作視圖;其中:100-橫向直線導(dǎo)軌,101-***軌道,102-***伺服電機(jī),103-***絲杠,104-***滑塊,200-縱向直線導(dǎo)軌,201-第二軌道,202-第二伺服電機(jī),203-第二絲杠,204-第二滑塊,310-基座,311-底板,312-豎板,313-頂板,314-通孔,320-支撐筒,321-氣嘴,322-***氣道。汕頭鎢鋼引導(dǎo)頂針多年以來(lái),成功開(kāi)發(fā)了幾十余種各類的試驗(yàn)儀器。
帽蓋100與帽體200的安裝方式不同;具體的,帽體200的頂面設(shè)有安裝槽600,安裝槽600位于帽體200頂面中部,主要通過(guò)安裝塊120卡于安裝槽600的開(kāi)槽位置來(lái)使帽蓋100固定在帽體200上,帽蓋100邊緣處設(shè)有配合安裝槽600使用的安裝塊120,用以更好的可拆卸安裝在帽體200上,安裝塊120的形狀不做具體限制,當(dāng)然在其他實(shí)施例中也可以不按此設(shè)置;安裝槽600靠近帽體200的外壁設(shè)有45度倒角210,倒角210的一邊與安裝塊120的上表面接觸,避免貼膜400與帽蓋100接觸時(shí),在帽體200內(nèi)真空吸附的作用下,芯片500與帽體200的90度拐角處直接接觸導(dǎo)致的破損。實(shí)施例三:本實(shí)施例與實(shí)施例一大體一致,如圖6所示,主要區(qū)別點(diǎn)在于,帽蓋100與帽體200的安裝方式不同;具體的,帽體200的頂面設(shè)有安裝槽600,安裝槽600位于帽體200頂面中部,主要通過(guò)帽蓋100本身的彈性形變來(lái)使帽蓋100夾持固定在帽體200上,帽蓋100邊緣處設(shè)有配合安裝槽600使用的安裝塊120,用以更好的可拆卸安裝在帽體200上,安裝塊120的形狀不做具體限制;安裝槽600靠近帽體200的外壁設(shè)有45度倒角210,倒角210的一邊與安裝塊120的下表面接觸,避免貼膜400與帽蓋100接觸時(shí),在帽體200內(nèi)真空吸附的作用下。
不會(huì)碎裂。但厚度100微米以內(nèi)的芯片,因?yàn)樾酒臼∫呀?jīng)非常脆弱了,芯片面積稍大時(shí),頂針頂升,芯片受頂針的力和膜的粘力的相互作用,很容易就碎裂了。所以對(duì)于厚度100微米以內(nèi)的薄芯片,迫切需要新的頂升方式從粘性膜上剝離。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種新型的空氣頂針式芯片膜上分離裝置,能夠?qū)穸仍?00毫米以下的芯片進(jìn)行剝離,而不會(huì)損傷芯片。本發(fā)明通過(guò)如下方式解決該技術(shù)問(wèn)題:一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置,包括真空吸頭,所述真空吸頭的頂壁上設(shè)有中心孔與環(huán)繞所述中心孔布置的吸氣孔,其特征在于:還包括設(shè)于所述中心孔中的頂升頭以及能夠驅(qū)動(dòng)所述頂升頭頂壁高出所述真空吸頭的頂壁的升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述頂升頭的頂壁上設(shè)有凹腔,所述頂升頭具有連通所述凹腔的進(jìn)氣機(jī)構(gòu)。使用時(shí),將真空吸頭置于粘性膜正下方,通過(guò)真空吸頭吸住粘性膜的底面,頂升頭上升,進(jìn)氣機(jī)構(gòu)對(duì)凹腔內(nèi)充氣,使凹腔處的粘性膜開(kāi)始凸起,芯片與粘性膜逐漸分離,從而使位于芯片上方的吸嘴可以順利將芯片吸走。采用這樣剝離方式,不會(huì)有傳統(tǒng)鋼制頂針受力集中的問(wèn)題,能夠?qū)穸葹?00微米以下的芯片進(jìn)行剝離而不會(huì)損傷芯片,相比現(xiàn)有技術(shù)有了***的進(jìn)步。以上就是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu),工作時(shí),首先,將真空吸頭330移動(dòng)到放置有芯片的粘性膜下方。
本實(shí)用新型涉及裝片裝置,具體而言,涉及一種球面頂針帽。背景技術(shù):芯片裝片過(guò)程中,需要頂針帽吸附放置有芯片的貼片膜,頂針帽的帽體內(nèi)部設(shè)置有頂針,用于將需要吸取的芯片頂出一定距離以便于芯片被吸取。傳統(tǒng)的頂針帽的帽蓋分為兩種:一種為帶有環(huán)形溝槽的帽蓋,另一種為平面帶孔帽蓋,但對(duì)于這兩種帽蓋面對(duì)貼膜粘性較大時(shí)均需要頂針用較大的頂出高度來(lái)提供足夠的能量使芯片和貼膜分離,但是當(dāng)出現(xiàn)較大的頂出高度時(shí),相鄰的芯片之間易發(fā)生碰撞造成芯片邊緣崩裂;再者,對(duì)于芯片尺寸較大時(shí)或貼膜粘性不穩(wěn)定時(shí),芯片不易拾取,勉強(qiáng)拾取時(shí),芯片發(fā)生旋轉(zhuǎn)或移位,造成芯片懸掛,為了穩(wěn)定的拾取芯片,不得不降低速度,損失機(jī)器產(chǎn)能。公開(kāi)號(hào)為cnu的中國(guó)實(shí)用新型**,具體公開(kāi)了一種裝片機(jī)頂針,其帽蓋為光滑平面結(jié)構(gòu),當(dāng)貼膜粘度較大時(shí)或者芯片尺寸較大時(shí),不能有效的使芯片與底部貼膜分離。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的目的在于提供一種球面頂針帽,通過(guò)改變傳統(tǒng)帽蓋的結(jié)構(gòu)使頂針帽能有效的分離芯片和底部貼膜。本實(shí)用新型的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種球面頂針帽,包括用于容置頂針的帽體,帽體一端設(shè)有帽蓋,帽蓋為球缺且其球冠頂點(diǎn)凸出于帽體。關(guān)鍵詞:頂針阻抗彈力試驗(yàn)機(jī)探針阻抗彈力試驗(yàn)機(jī)頂針探針荷重行程阻抗試驗(yàn)機(jī)東莞市微克檢測(cè)設(shè)備有限公司。南通頂針推薦廠家
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芯片500與帽體200的90度拐角處直接接觸導(dǎo)致的破損。實(shí)施例四:本實(shí)施例與實(shí)施例一大體一致;主要區(qū)別點(diǎn)在于,如圖7所示,球缺形帽蓋100的頂部為平面且該平面平行于球缺底面,具體的,該平面的為直徑為r的圓形,直徑為r的平面覆蓋了**內(nèi)部的兩圈通孔110,保證中間通孔110出現(xiàn)頂針300時(shí),外圈通孔110對(duì)貼膜400有持久的吸附力。當(dāng)頂部通孔110吸附芯片500時(shí),由于芯片500不能彎曲,所以當(dāng)實(shí)施例一中的球缺形帽蓋100為塑性材料制作而成時(shí),帽蓋100對(duì)于芯片500之間有相對(duì)間隙,達(dá)不到**好的吸附效果;直徑為r的平面增大了帽蓋頂部對(duì)貼膜400的接觸面,變相增大了與芯片500之間的接觸面,減小了上述的相對(duì)間隙,增大了吸附力,更有利于配合頂針向上頂,使芯片與貼膜分離。需要說(shuō)明的是,實(shí)施例一至三中的球缺形帽蓋100為彈性材料制作而成時(shí),帽蓋100在頂部可輕微變形也能有效地保證與貼膜400的接觸面積,減小相對(duì)間隙,增大了吸附力,有利于配合頂針向上頂,使芯片與貼膜分離。以上所述*為本實(shí)用新型的推薦實(shí)施例而已,并不用于限制本實(shí)用新型,對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō),本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等。沖孔機(jī)頂針推薦廠家
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