本發(fā)明涉及半導體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種空氣頂針式芯片膜上分離裝置。背景技術(shù)：在半導體芯片的制作過程中，整個晶圓制作完成后，首先需要把晶圓貼到粘性膜上，進行劃片，把晶圓切割成一顆顆單獨芯片，之后需要把單獨的芯片從粘性膜上取下來，轉(zhuǎn)入托盤，料帶或者直接貼裝在基板上。從粘性膜上吸取芯片的過程中，因為膜有粘性，直接用吸嘴從膜上吸取，真空力無法克服膜的粘力，取不下來。需要把芯片從膜上頂起來，使芯片的大部分與膜脫離，只剩下很下的部分還和膜粘著，這樣吸嘴從上面吸取芯片，所需要克服的粘力就很小了，就可以很順利的把芯片吸走了?，F(xiàn)有的把芯片從膜上頂升，讓芯片和膜剝離的方法，主要是頂針的方法，芯片頂升時，頂升座用真空吸附住膜，從芯片的正下方，頂起一根或多根，頂針前端磨細，針尖做成圓弧，保證既可以減少接觸面積，又不會頂破膜。頂針頂升時，因為周邊的膜被真空吸附在下面的頂升座上，只有頂針冒出把芯片頂升，芯片周邊的膜會從芯片上剝離開，只剩下頂針處還有很小面積的膜還接觸著芯片，這樣膜的粘力就很弱了，上面的真空吸嘴就可以把芯片吸走了。頂針的方法，可以對應厚度超過100微米的芯片，厚的芯片，剛性比較好，頂針頂升時。對于細小頂針的測試我司也有豐富的經(jīng)驗微克檢測設備限公司結(jié)合市場上客戶需要。武漢頂針工廠

    導桿442頂端固定于頂塊500上方的限位塊441中。導桿442的外壁為光滑表面，以使頂塊500能夠順滑的在導桿442上滑動。限位彈簧440套接于導桿442上，其兩端分別與頂塊500與限位塊441相抵，以使頂塊500與限位塊441在沒有外力作用時能夠維持撐開狀態(tài)。如圖6與圖8所示，限位塊441的兩側(cè)具有和殼筒335的凸耳336間形成間隙的讓位凹口445，限位塊411的頂壁**具有外徑略小于蓋板335限位凹腔337的凸臺443，凸臺443的**具有供頂塊500頂部540伸出的開孔。限位塊441位于凸臺443外的頂壁上還設有凸出頂壁的臺階444與限位柱446。該限位柱446在頂升頭400活動的過程中始終插于蓋板335的限位孔338中，以對頂升頭400進行限位，避免其自旋，當限位塊441頂面與蓋板335底面相抵時，由于讓位凹口445與臺階444的存在，限位塊441與蓋板335間能夠形成間隙，使真空吸頭330的氣路能保持通暢。頂升頭400的運動方式如下：運行時，升降驅(qū)動機構(gòu)帶動頂升頭400上升，使限位塊411頂部的凸臺443與蓋板335底部的限位凹腔337相抵，實現(xiàn)限位，隨后頂升頭400繼續(xù)上升，頂塊500克服限位彈簧440的彈力沿著導桿442上升，使頂塊500的頂部520穿過限位塊411上的開孔并從蓋板335的中心孔333處穿出。如圖1、圖3、圖5與圖6所示。K型抽芽頂針品牌哪家好所以對頂針探針的一些測試指標就有所要求。

    設于所述頂升頭中且連通所述凹腔與所述第二氣道的第三氣道。從而能夠通過氣管接頭實現(xiàn)對凹腔的充放氣。作為本發(fā)明的推薦實施方式，所述進氣機構(gòu)還包括與所述氣管接頭相連的電磁閥。從而能夠通過電磁閥控制氣管接頭的充放氣。本發(fā)明采用空氣頂針的模式，替換傳統(tǒng)的鋼制頂針，不會有受力集中的問題，能夠?qū)穸葹?00微米以下的芯片進行剝離，而不會損傷芯片，相比現(xiàn)有技術(shù)取得了***的進步。附圖說明下面結(jié)合圖片來對本發(fā)明進行進一步的說明：圖1為本發(fā)明的立體視圖；圖2為本發(fā)明中a部分的局部放大圖；圖3為本發(fā)明的側(cè)視圖；圖4為本發(fā)明的b-b面剖視圖；圖5為本發(fā)明中b部分的局部放大圖；圖6為本發(fā)明中c部分的局部放大圖；圖7為本發(fā)明中支撐筒的剖視圖；圖8為本發(fā)明中真空吸頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)視圖；圖9為本發(fā)明中蓋板的底面視圖；圖10為定位盤處于初始零點時的工作視圖；圖11為定位盤處于預定角度a時的工作視圖；其中：100-橫向直線導軌，101-***軌道，102-***伺服電機，103-***絲杠，104-***滑塊，200-縱向直線導軌，201-第二軌道，202-第二伺服電機，203-第二絲杠，204-第二滑塊，310-基座，311-底板，312-豎板，313-頂板，314-通孔，320-支撐筒，321-氣嘴，322-***氣道。

    蘇州菲唐檢測設備有限公司是一家專業(yè)從事環(huán)境檢測設備、力學檢測設備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售服務的****，公司以科技進步為先導，以市場需求為基礎，注重高素質(zhì)專業(yè)人才的引進與培養(yǎng)。蘇州菲唐秉持著“敬業(yè)、團體、創(chuàng)新”的企業(yè)精神，逐步形成了**的技術(shù)**。研制好的產(chǎn)品，提供好的服務。監(jiān)于『質(zhì)量管理』是國際性產(chǎn)品的必然性，菲唐專業(yè)制造環(huán)境試驗設備。多年以來，成功開發(fā)了幾十余種各類的試驗儀器。本公司研制的試驗儀器主要適用于：連接器、端子、接插件、線束、汽車、硅膠按鍵、計算機電腦、手機、電子、橡膠、塑料、鞋業(yè)、造紙包裝業(yè)、機械五金業(yè)、建材業(yè)、電線電纜。公司主營產(chǎn)品：連接器插拔力試驗機、按鍵開關(guān)荷重行程手感導通試驗機、全自動扭力試驗機、彈簧拉壓力試驗機試驗機、信賴性檢測設備、包裝檢測設備、高低溫試驗箱、高低溫濕熱試驗箱、高低溫濕熱交變試驗箱、高低溫沖擊試驗箱、冷熱沖擊試驗箱、恒溫恒濕試驗箱、步入式恒溫恒濕試驗箱、可程式恒溫恒濕試驗箱、積架式恒溫恒濕試驗箱、復合型恒溫恒濕試驗箱、應力篩選型恒溫恒濕試驗箱、熱循環(huán)試驗箱、冷熱沖擊試驗箱、應力篩選型冷熱沖擊箱、高低溫低氣壓試驗機、PCT飽和加速壽命試驗機、QUV紫外光老。試驗機校準不設任何密碼，可以自主校驗，保質(zhì)期過后可以自主找其他供貨商維修。

    該升降驅(qū)動機構(gòu)包括設于c形基座310上的升降裝置、穿設于支撐筒320中的貫通孔324內(nèi)的頂桿410以及用于連接頂桿410與頂塊500的連接塊510。如圖5與圖7所示，頂桿410上由上至下依次套設有導套430與彈簧420，導套430與位于貫通孔324頂部的阻擋部325相抵，彈簧420與位于頂桿410底部的凸起端頭411相抵。頂桿410底部的凸起端頭411穿過基座310上的通孔314伸入基座310中。頂桿410的頂端穿出阻擋部325伸入真空吸頭330的殼筒334內(nèi)。如圖6所示，連接塊510置于殼筒334內(nèi)，連接塊510的底面上具有容置腔511，頂桿410頂端伸入該容置腔511內(nèi)，連接塊510的外壁上設有滑槽513，該滑槽513內(nèi)布置有定位桿514，定位桿514插設于支撐筒320頂壁上的定位插孔內(nèi)，以此來避免連接塊510發(fā)生轉(zhuǎn)動。連接塊510的外壁上還設有連通容置腔511的連接孔515，通過穿入連接孔515并與頂桿410外壁相抵的螺栓實現(xiàn)頂桿410與連接塊510的連接固定。為便于組裝與拆卸，連接塊510與頂塊500間的連接方式如圖6所示：頂塊500的底面上設有放置腔，放置腔內(nèi)設有圈形磁鐵560，連接塊510吸附于該圈形磁鐵560上。使連接塊510與頂塊500間能夠方便的通過磁力進行裝配與分離。如圖1和圖5所示。2006年成功申請多項國家力學試驗機。湖州納米頂針

對于一版有多個探針（頂針）的產(chǎn)品，我司可以實現(xiàn)全自動測試。武漢頂針工廠

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