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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-04-19

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在半導(dǎo)體晶圓封裝前期工作中,劃片刀(dicingblade)是用來(lái)切割晶圓,是制造芯片的重要工具,它對(duì)于芯片的質(zhì)量和壽命有直接的影響。劃片刀在半導(dǎo)體封裝工藝中的使用如下圖所示:隨著芯片的小型化、大容量化、以及高效化,芯片的結(jié)構(gòu)越來(lái)越復(fù)雜,芯片之間的有效空間越來(lái)越小,因而其切割的空間也越來(lái)越窄。這對(duì)于精密切割晶圓的劃片刀的技術(shù)要求越來(lái)越高。目前切割晶圓有兩種方法:一種是激光切割,另一種是機(jī)械切割,即劃片刀切割,而后者是當(dāng)前切割晶圓的主力。其原因是:(1)激光切割不能使用大功率以免產(chǎn)生熱影響區(qū)(HAZ)破壞芯片;(2)激光切割設(shè)備非常昂貴(一般在100萬(wàn)美元/臺(tái)以上);(3)激光切割不能做到一次切透(因?yàn)镠AZ問(wèn)題),因而第二次切割還是用劃片刀來(lái)只終完成;所以劃片刀會(huì)在相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)間內(nèi),是半導(dǎo)體封裝工藝中不可缺少的材料之一。廣東質(zhì)量半導(dǎo)體晶舟盒好選擇。

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