光學領(lǐng)域上面較成功的應用科學研究主要集中在兩個方面:一是基于MOEMS的新型顯示、投影設(shè)備，主要研究如何通過反射面的物理運動來進行光的空間調(diào)制，典型標識為數(shù)字微鏡陣列芯片和光柵光閥。

二是通信系統(tǒng)，主要研究通過微鏡的物理運動來控制光路發(fā)生預期的改變，較成功的有光開關(guān)調(diào)制器、光濾波器及復用器等光通信器件。MOEMS是綜合性和學科交叉性很強的高新技術(shù)，開展這個領(lǐng)域的科學技術(shù)研究，可以帶動大量的新概念的功能器件開發(fā)。 MEMS的主要材料是什么？新型MEMS微納米加工服務

MEMS制作工藝-太赫茲特性：

1.相干性由于它是由相千電流驅(qū)動的電偶極子振蕩產(chǎn)生，或又相千的激光脈沖通過非線性光學頻率差頻產(chǎn)生，因此有很好的相干性。THz的相干測量技術(shù)能夠直接測量電場振幅和相位，從而方便提取檢測樣品的折射率，吸收系數(shù)等。

2.低能性:THz光子的能量只有10^-3量級，遠小于X射線的10^3量級，不易破壞被檢測的物質(zhì)，適合于生物大分子與活性物質(zhì)結(jié)構(gòu)的研究。

3.穿透性:THz輻射對于很多非極性物質(zhì)，如塑料，紙箱，布料等包裝材料有很強的穿透能力，在環(huán)境控制與安全方面能有效發(fā)揮作用

4.吸收性:大多數(shù)極性分子對THz有強烈的吸收作用，可以用來進行醫(yī)療診斷與產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)控

5.瞬態(tài)性:相比于傳統(tǒng)電磁波與光波，THz典型脈寬在皮秒量級，通過光電取樣測量技術(shù)，能夠有效抑制背景輻射噪聲的干擾，在小于3THz時信噪比達10人4:1。

6.寬帶性:THz脈沖光源通常包含諾千個周期的電磁振蕩，!單個脈沖頻寬可以覆蓋從GHz至幾+THz的范圍，便于在大的范圍內(nèi)分析物質(zhì)的光譜信息。 個性化MEMS微納米加工之柔性電極定制以PI為特色的柔性電子在太赫茲超表面器件上的應用很廣。

MEMS組合慣性傳感器不是一種新的MEMS傳感器類型，而是指加速度傳感器、陀螺儀、磁傳感器等的組合，利用各種慣性傳感器的特性，立體運動的檢測。組合慣性傳感器的一個被廣為熟悉的應用領(lǐng)域就是慣性導航，比如飛機/導彈飛行控制、姿態(tài)控制、偏航阻尼等控制應用、以及中程導彈制導、慣性GPS導航等制導應用。

慣性傳感器分為兩大類：一類是角速率陀螺；另一類是線加速度計。角速率陀螺又分為：機械式干式﹑液浮﹑半液浮﹑氣浮角速率陀螺；撓性角速率陀螺；MEMS硅﹑石英角速率陀螺（含半球諧振角速率陀螺等）；光纖角速率陀螺；激光角速率陀螺等。線加速度計又分為：機械式線加速度計；撓性線加速度計；MEMS硅﹑石英線加速度計（含壓阻﹑壓電線加速度計）；石英撓性線加速度計等。

MEMS制作工藝-太赫茲超導混頻陣列的MEMS體硅集成天線與封裝技術(shù)：

  太赫茲波是天文探測領(lǐng)域的重要波段，太赫茲波探測對提升人類認知宇宙的能力有重要意義。太赫茲超導混頻接收機是具有代表性的高靈敏天文探測設(shè)備。天線及混頻芯片封裝是太赫茲接收前端系統(tǒng)的關(guān)鍵組件。當前，太赫茲超導接收機多采用單獨的金屬喇叭天線和金屬封裝，很難進行高集成度陣列擴展。大規(guī)模太赫茲陣列接收機發(fā)展很大程度受到天線及芯片封裝技術(shù)的制約。課題擬研究基于MEMS體硅工藝技術(shù)的適合大規(guī)模太赫茲超導接收陣列應用的0.4THz以上頻段高性能集成波紋喇叭天線，及該天線與超導混頻芯片一體化封裝。通過電磁場理論分析、電磁場數(shù)值建模與仿真、低溫超導實驗驗證等手段， MEMS技術(shù)的主要分類有哪些？

MEMS繼電器與開關(guān)。其優(yōu)勢是體積?。芏雀撸捎梦⒐に嚺恐圃鞆亩档统杀荆?，速度快，有望取代帶部分傳統(tǒng)電磁式繼電器，并且可以直接與集成電路IC集成，極大地提高產(chǎn)品可靠性。其尺寸微小，接近于固態(tài)開關(guān)，而電路通斷采用與機械接觸（也有部分產(chǎn)品采用其他通斷方式），其優(yōu)勢劣勢基本上介于固態(tài)開關(guān)與傳統(tǒng)機械開關(guān)之間。MEMS繼電器與開關(guān)一般含有一個可移動懸臂梁，主要采用靜電致動原理，當提高觸點兩端電壓時，吸引力增加，引起懸臂梁向另一個觸電移動，當移動至總行程的1/3時，開關(guān)將自動吸合（稱之為pullin現(xiàn)象）。pullin現(xiàn)象在宏觀世界同樣存在，但是通過計算可以得知所需的閾值電壓高得離譜，所以我們?nèi)粘Ｖ袔缀醪粫吹?。MEMS傳感器行業(yè)為國內(nèi)企業(yè)追趕提供了契機。山東MEMS微納米加工的傳感器

MEMS的加速傳感器是什么？新型MEMS微納米加工服務

高精度姿態(tài)/軌道測量新方法并研制了MEMS磁敏感器、MIMU慣性微系統(tǒng)、MEMS太陽敏感器、納\皮型星敏感器等空間微系統(tǒng)，相關(guān)成果填補了多項國內(nèi)空白，已在探月工程、高分專項等國家重大工程以及國內(nèi)外百余顆型號衛(wèi)星中得到應用推廣，并實現(xiàn)了出口歐、美、日等國。在我國率先開展了微納航天器的技術(shù)創(chuàng)新與工程實踐，將三軸穩(wěn)定方式用于25kg以下的微小衛(wèi)星，成功研制并運行了國內(nèi)納型衛(wèi)星NS-1衛(wèi)星，也是當時世界上在軌飛行的“輪控三軸穩(wěn)定衛(wèi)星”（2004年）。2015年研制并發(fā)射了NS-2（10公斤量級）MEMS技術(shù)試驗衛(wèi)星，成功開展了基于MEMS的空間微型化器組件試驗研究。NS-2衛(wèi)星的有效載荷包括納型星敏感器、低功耗MEMS太陽敏感器、硅基MEMS陀螺、MEMS石英音叉陀螺、MEMS磁強計、北斗-II/GPS接收機等自主研發(fā)的MEMS器件及微系統(tǒng)。同時還成功研制并發(fā)射皮型ZJ-1（100克量級）MEMS技術(shù)試驗衛(wèi)星，采用單板集成的綜合電子系統(tǒng)，搭載試驗商用微型CMOS相機，MEMS磁強計、新型商用電子元器件。新型MEMS微納米加工服務