本發(fā)明的第二個(gè)實(shí)施例：和***實(shí)施例相比之下，第二實(shí)施例的特點(diǎn)是在中心點(diǎn)o處增加了封閉的熱環(huán)5。實(shí)際如圖5所示，所有加熱片中心的自由端與封閉的熱環(huán)5固定連接；對(duì)于熱環(huán)5的形狀可以是橢圓形構(gòu)造，為了確保電阻阻值的一致，加熱片需固定到橢圓形熱環(huán)5軸對(duì)稱位置。但是，如果所述熱環(huán)5的形狀是圓形，則熱環(huán)5只需等間距分布即可。進(jìn)一步地，所述加熱片的數(shù)目是兩組，包括：***加熱片6和第二加熱片7；所述***加熱片6的***迂回端61和第二加熱片7的第二迂回端71彼此縱橫組成曲折的留置區(qū)8。所述中心點(diǎn)o設(shè)有熱環(huán)5且熱環(huán)5與兩組加熱片連通的自由端分別通過***電極91和第二電極92的與電源連接。固定到環(huán)形或圓形的熱環(huán)5的加熱片不僅可以安定加熱片的間距，同時(shí)還可以限制加熱板的總體構(gòu)造，不會(huì)讓局部變形影響總體；進(jìn)而化解了疑問一；而總體的環(huán)形熱環(huán)5可以不需要在加熱板中心安裝電源，可以保證加熱板中心的熱源溫度平穩(wěn)，同時(shí)結(jié)合實(shí)際推行例一，也可以化解技術(shù)疑問二和技術(shù)疑問三。為了保證測(cè)控精度，采用紅外線溫度測(cè)控模塊作為溫度測(cè)控模塊。MSA FACTORYPA2012-FC-PCC20A加熱板說明書

    控制模塊在溫度穩(wěn)定階段的精度值為℃。其中，控制模塊在冷卻降溫階段精度值為℃。本發(fā)明的有益效果與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明使得各個(gè)分區(qū)之間的溫度差一直處在合理范圍內(nèi)，使得熱盤溫度均勻，滿足了高精度晶圓的加工需求。還可以提高升溫速率，不用擔(dān)心熱盤溫度不均勻而損壞晶圓，**終達(dá)到了縮短晶圓加工時(shí)間，提高產(chǎn)量的目的。附圖說明圖1是本發(fā)明的實(shí)施例1的模塊圖。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本發(fā)明，但不能用來限制本發(fā)明的范圍。實(shí)施例1：如圖1所示，晶圓加熱裝置包括控制模塊和多分區(qū)熱盤，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可根據(jù)實(shí)際需求，將熱盤分成若干個(gè)分區(qū)，為了方便說明，本實(shí)施例將多分區(qū)熱盤分為***分區(qū)和第二分區(qū)。***分區(qū)包括***加熱模塊和***溫度檢測(cè)模塊，***溫度檢測(cè)模塊用于檢測(cè)***分區(qū)的溫度值，并將檢測(cè)到的***分區(qū)溫度值發(fā)送給控制模塊，***加熱模塊用于加熱***分區(qū)；第二分區(qū)包括第二加熱模塊和第二溫度檢測(cè)模塊，第二溫度檢測(cè)模塊用于檢測(cè)第二分區(qū)的溫度值，并將檢測(cè)到的第二分區(qū)溫度值發(fā)送給控制模塊，第二加熱模塊用于加熱第二分區(qū)；在本實(shí)施例中。廣州PA8010-CC-PCC20A加熱板陶瓷加熱板的用途有哪些？

    每組加熱片的形狀均是拱形包抄著由中心點(diǎn)o向外拓展；相鄰兩組加熱片包抄的拐點(diǎn)彼此錯(cuò)開，每組加熱片的自由端分別連結(jié)電源的兩極。其中，加熱片的數(shù)目可以是如圖4所示為兩組，包括：***加熱片6和第二加熱片7；所述***加熱片6的***迂回端61和第二加熱片7的第二迂回端71彼此縱橫組成曲折的留置區(qū)8。本發(fā)明的***個(gè)實(shí)施例：如圖4所示，所述每組加熱片為單獨(dú)設(shè)立彼此分離，座落中心點(diǎn)o附近的加熱片的自由端連結(jié)著相同電極，***熱弧片60和第二熱弧片70分別與***加熱片6和第二加熱片7連結(jié)。在該實(shí)行例中，由于多組加熱片是單獨(dú)設(shè)立的，因此當(dāng)加熱片受熱后，其自身可以具足夠大的延展空間，不會(huì)影響總體的變形，從而化解了技術(shù)疑問一；而中心對(duì)稱設(shè)立的多組加熱片可以合理擺設(shè)加熱片的電極，如圖4所示，在中心對(duì)稱的外邊沿可以設(shè)立相同的電極，而中心點(diǎn)o的附近連通相同的另一個(gè)電極，這種長距離分布，可以防范電源短路，進(jìn)而化解了技術(shù)疑問二。同時(shí)，為了確保加熱的平穩(wěn)，中心對(duì)稱的加熱片可以很好的通過錯(cuò)位，讓相鄰兩組加熱片之間的留置區(qū)8布置的更合理，而這種合理的相距可以避免圖3所示的，兩組加熱片附近的加熱片變形等，進(jìn)而化解了技術(shù)疑問三。

    晶圓加熱盤一般是用于承載、加熱晶圓的圓盤，所以也有人稱它為晶圓加熱器。因?yàn)槭褂铆h(huán)境特殊，制作半導(dǎo)體晶圓托盤的材料需要具備許多條件：耐高溫能力強(qiáng)、耐磨性能高……，因?yàn)槭怯糜诟邷丨h(huán)境下，導(dǎo)熱系數(shù)也是越高越好。金屬的耐溫性沒有非金屬材料好，非金屬導(dǎo)熱性沒有金屬強(qiáng)，但是由于金屬在高溫下會(huì)融化，便只能從非金屬材料中尋找導(dǎo)熱性強(qiáng)的材料。終于在工業(yè)陶瓷中找到了較為合適的材料——氮化鋁陶瓷。氮化鋁的化學(xué)式為AlN，化學(xué)組成AI約占，N約占。它的粉體為一般是白色或灰白色，單晶狀態(tài)下則是無色透明的，常壓下的升華分解溫度達(dá)到2450℃。氮化鋁陶瓷導(dǎo)熱率在170~210W/()之間，而單晶體更可高達(dá)275W/()以上。熱導(dǎo)率高(＞170W/m·K)，接近BeO和SiC；熱膨脹系數(shù)(×10-6℃)與Si(×10-6℃)和GaAs(6×10-6℃)匹配；各種電性能(介電常數(shù)、介質(zhì)損耗、體電阻率、介電強(qiáng)度)優(yōu)良；機(jī)械性能好，抗折強(qiáng)度高于Al2O3和BeO陶瓷，可以常壓燒結(jié)。 加熱器支撐圓盤、研磨盤，晶圓加熱器設(shè)置在加熱器支撐圓盤和研磨盤之間。

    本發(fā)明涉及鍋爐加熱技術(shù)領(lǐng)域，主要涉及一種電磁感應(yīng)加熱單元結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)：當(dāng)前電鍋爐通過電加熱器對(duì)通過供水管流入的冷水進(jìn)行加熱，加熱的水用于供暖或作為生活用水使用。根據(jù)水的加熱方法鍋爐可分為供熱水鍋爐和蓄熱水鍋爐。該鍋爐因不易發(fā)生、不易泄漏有害氣體、噪音小而普遍使用。近年來，隨著油價(jià)的上漲，電鍋爐因取暖費(fèi)用低而備受人們關(guān)注。目前國內(nèi)電阻式、電磁式、電極式等各種電加熱技術(shù)都在鍋爐加熱領(lǐng)域得到了***運(yùn)用。國內(nèi)低壓電磁加熱技術(shù)應(yīng)用較為普遍，其電磁加熱原理是通過電子線路板組成部分產(chǎn)生交變磁場(chǎng)，當(dāng)用含鐵質(zhì)容器放置在上面時(shí)，容器表面即切割交變磁力線而在容器底部金屬部分產(chǎn)生交變的電流(即渦流)，渦流使容器底部的鐵原子高速無規(guī)則運(yùn)動(dòng)，原子相互碰撞、摩擦而產(chǎn)生熱能。從而起到加熱物品的效果。因?yàn)槭氰F制容器自身發(fā)熱，所以熱轉(zhuǎn)化率特別高。但該項(xiàng)技術(shù)大多數(shù)應(yīng)用在家庭電器上，電壓技術(shù)參數(shù)局限于220～380vac，功率等級(jí)*幾十千瓦，無法實(shí)現(xiàn)大型化從而滿足工業(yè)蒸汽及城市集中采暖等領(lǐng)域使用?，F(xiàn)有電鍋爐的加熱裝置是在一個(gè)加熱桶內(nèi)設(shè)置線圈式或串聯(lián)式加熱器后注入冷水進(jìn)行加熱，或者層疊多個(gè)桶并在每個(gè)桶內(nèi)設(shè)置多個(gè)加熱器。導(dǎo)致國內(nèi)對(duì)氮化鋁陶瓷加熱盤的需求變得緊張起來。PA3003-PCC10A加熱板價(jià)格多少

而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。MSA FACTORYPA2012-FC-PCC20A加熱板說明書

我們公司主要產(chǎn)品有溫控器，冷水機(jī)，儀器，無塵室用品等產(chǎn)品，產(chǎn)品投入市場(chǎng)以來，以高性價(jià)比獲取到機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)內(nèi)客戶的認(rèn)可與支持。我們以機(jī)械及行業(yè)設(shè)備內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)提供售前及售后服務(wù)，始終把客戶的需求放在重要的位置，竭力滿足客戶的個(gè)性化要求的貿(mào)易型公司。更豐富的產(chǎn)品溫控器，冷水機(jī)，儀器，無塵室用品及更完善的服務(wù)為客戶創(chuàng)造價(jià)值；我們秉著持續(xù)改進(jìn)產(chǎn)品為宗旨，不知疲倦的精神服務(wù)于廣大客戶。上海九展緊跟市場(chǎng)需求，提升產(chǎn)品質(zhì)量，竭誠為新老用戶提供高質(zhì)量的產(chǎn)品及服務(wù)，確保用戶滿意。MSA FACTORYPA2012-FC-PCC20A加熱板說明書

上海九展自動(dòng)化技術(shù)有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中，一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取，不斷制造創(chuàng)新的市場(chǎng)高度，多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，在上海市等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中始終保持良好的商業(yè)口碑，成績讓我們喜悅，但不會(huì)讓我們止步，殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志，和諧溫馨的工作環(huán)境，富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新，勇于進(jìn)取的無限潛力，上海九展自動(dòng)化供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績而沾沾自喜，相反的是面對(duì)競(jìng)爭越來越激烈的市場(chǎng)氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備，要不畏困難，激流勇進(jìn)，以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！