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來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-10-13

1.氧化物:一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化鈦TiO2,二氧化鋯ZrO2,二氧化鉿HfO2,一氧化鈦TiO,五氧化三鈦Ti3O5,五氧化二鈮Nb2O5,五氧化二鉭Ta2O5,氧化釔Y2O3,氧化鋅ZnO等高純氧化物鍍膜材料。2.氟化物:氟化釹NbF3,氟化鋇BaF2,氟化鈰CeF3,氟化鎂MgF2,氟化鑭LaF3,氟化釔YF3,氟化鐿YbF3,氟化鉺ErF3等高純氟化物。3.其它化合物:硫化鋅ZnS,硒化鋅ZnSe,氮化鈦TiN,碳化硅SiC,鈦酸鑭LaTiO3,鈦酸鋇BaTiO3,鈦酸鍶SrTiO3,鈦酸鐠PrTiO3,硫化鎘CdS等真空鍍膜材料。4.金屬鍍膜材料:高純鋁Al,高純銅Cu,高純鈦Ti,高純硅Si,高純金Au,高純銀Ag,高純銦In,高純鎂Mg,高純鋅Zn,高純鉑Pt,高純鍺Ge,高純鎳Ni,高純金Au,金鍺合金AuGe,金鎳合金AuNi,鎳鉻合金NiCr,鈦鋁合金TiAl,銅銦鎵合金CuInGa,銅銦鎵硒合金CuInGaSe,鋅鋁合金ZnAl,鋁硅合金AlSi等金屬鍍膜材料。江蘇真空鍍膜機(jī)報(bào)價(jià)找哪家?口碑好真空鍍膜機(jī)廠家

真空鍍膜設(shè)備的相關(guān)特性是什么呢?真空鍍膜設(shè)備可以為社會提供什么幫助呢?真空鍍膜設(shè)備對于環(huán)境的保護(hù)可以起到什么作用呢?1.真空鍍膜設(shè)備沉積材料:可沉積鋁、鈦、鋯等濕法電鍍無法沉積的低電位金屬,通以反應(yīng)氣體和合金靶材更是可以沉積從合金到陶瓷甚至是金剛石的涂層,而且可以根據(jù)需要設(shè)計(jì)涂層體系.2.真空鍍膜設(shè)備節(jié)約金屬材料:由于真空涂層的附著力、致密度、硬度、耐腐蝕性能等相當(dāng)優(yōu)良,沉積的鍍層可以遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于常規(guī)濕法電鍍鍍層,達(dá)到節(jié)約的目的.3.真空鍍膜設(shè)備無環(huán)境污染:由于所有鍍層材料都是在真空環(huán)境下通過等離子體沉積在工件表面,沒有溶液污染,所以對環(huán)境的危害相當(dāng)小.山東自動真空鍍膜機(jī)上海真空鍍膜機(jī)價(jià)格咨詢,歡迎致電無錫光潤!

因此真空鍍膜機(jī)鍍膜時(shí),膜層的好壞,氣體啟著關(guān)鍵性的作用,是鍍膜環(huán)節(jié)不可或缺的一步。PVD鍍膜涂層常用置配:彩色系膜層和常規(guī)色膜層較大的區(qū)別就是C值和H值,所以可以說,黑色也是彩色系膜層。鋯+氮?dú)猓狐S綠調(diào)金黃色鋯+甲烷:深淺黑色鋯+氧氣:白色、透明膜鋯+氮?dú)猓淄椋航鹕?、仿玫瑰金鉻+甲烷:深淺黑色鉻+氮?dú)猓簻\黑色鉻+氮?dú)猓淄椋恒y灰色鉻+氧氣:輕黃色、紫色、綠色SUS+氧氣:紫色SUS+氮?dú)猓核{(lán)色SUS+甲烷:亮黑色SUS+甲烷+氮?dú)猓核{(lán)黑色

高頻離子源利用稀薄氣體中的高頻放電現(xiàn)象使氣體電離,一般用來產(chǎn)生低電荷態(tài)正離子,有時(shí)也從中引出負(fù)離子,作為負(fù)離子源使用。在高頻電場中,自由電子與氣體中的原子(或分子)碰撞,并使之電離。帶電粒子倍增的結(jié)果,形成無極放電,產(chǎn)生大量等離子體。高頻離子源的放電管一般用派勒克斯玻璃或石英管制作。高頻場可由管外螺線管線圈產(chǎn)生,也可由套在管外的環(huán)形電極產(chǎn)生。前者稱為電感耦合,后者稱為電容耦合高頻振蕩器頻率為10~10Hz,輸出功率在數(shù)百瓦以上。從高頻離子源中引出離子可有兩種方式。一種是在放電管頂端插入一根鎢絲作為正極,在放電管尾端裝一帶孔負(fù)電極,并把該孔做成管形,從中引出離子流。另一種方式是把正極做成帽形,裝在引出電極附近,而放電區(qū)則在它的另一側(cè)。不管采用哪種引出方式,金屬電極都要用石英或玻璃包起來,以減少離子在金屬表面的復(fù)合。在高頻放電區(qū)域中加有恒定磁場時(shí),由于共振現(xiàn)象可提高放電區(qū)域中的離子濃度。有時(shí),還在引出區(qū)域加非均勻磁場來改善引出。江蘇真空鍍膜機(jī)廠家,哪家專業(yè)?

加工真空鍍膜工藝襯底(基片)表面的清潔處理很重要。基片進(jìn)入鍍膜室前均應(yīng)進(jìn)行認(rèn)真的鍍前清潔處理,達(dá)到工件去油、去污和脫水的目的?;砻嫖廴緛碜粤慵诩庸?、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物;零件表面在潮濕空氣中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的氣體。真空鍍膜廠家這些污物基本上均可采用去油或化學(xué)清冼方法將其去掉。對經(jīng)過清洗處理的清潔表面,不能在大氣環(huán)境中存放,要用封閉容器或保潔柜貯存,以減小灰塵的沾污。用剛氧化的鋁容器貯存玻璃襯底,可使碳?xì)浠衔镎魵獾奈綔p至較小。因?yàn)檫@些容器優(yōu)先吸附碳?xì)浠衔?。對于高度不穩(wěn)定的、對水蒸氣敏感的表面,一般應(yīng)貯存在真空干燥箱中。鍍膜室內(nèi)的灰塵,設(shè)置清潔度高的工作間,保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對環(huán)境的基本要求??諝鉂穸却蟮牡貐^(qū),除鍍前要對基片、真空室內(nèi)各部件認(rèn)真清洗外,還要進(jìn)行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi),注意油擴(kuò)散泵返油,對加熱功率高的擴(kuò)散泵必須采取擋油措施。真空鍍膜機(jī)廠家哪家好?品質(zhì)真空鍍膜機(jī)排名靠前

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霍爾離子源霍爾離子源是陽極在一個(gè)強(qiáng)軸向磁場的協(xié)作下將工藝氣體等離子化。這個(gè)軸向磁場的強(qiáng)不平衡性將氣體離子分離并形成離子束。由于軸向磁場的作用太強(qiáng),霍爾離子源離子束需要補(bǔ)充電子以中和離子流。常見的中和源就是鎢絲(陰極)。霍爾離子源的特點(diǎn)是:1簡單耐用。2離子電流與氣體流量幾乎成比例,可獲得較大離子電流。3鎢絲一般橫跨在出口,收離子束沖擊很快會銷蝕,尤其對反應(yīng)氣體,一般十幾個(gè)小時(shí)就需更換。并且鎢絲還會有一定的污染。為解決鎢絲的缺點(diǎn)。有采用較長壽中和器的,如一個(gè)小的空心陰極源?;魻栯x子源可以說是應(yīng)用較廣的離子源。如Veece的MarkI和MarkII離子源。適用的如國產(chǎn)的大部分離子源。如果鍍耐磨裝飾膜,膜厚大,需要與機(jī)體結(jié)合力強(qiáng),而均勻性要求不高??捎没魻栯x子源。其離子電流大,且離子能級也高。如果是鍍光學(xué)膜,則主要要求離子電流能級集中,離子電流均勻性好。故建議用Kaufman或RF離子源,有條件的可采用ECR(電子回旋)或ICP(感應(yīng)耦合)離子源。另外,也要考慮到耗材,如用鎢絲的霍爾源在反應(yīng)氣體中十來個(gè)小時(shí)就燒斷了。而離子源如ICP離子源可在反應(yīng)氣體中連續(xù)工作幾百小時(shí)??诒谜婵斟兡C(jī)廠家

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